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本发明提供一种激光照射装置、信息处理方法和可读取地记录有程序的记录介质。激光照射装置包括激光光源，还包括进行可动零部件的故障预测的故障预测部，所述可动零部件在利用所述激光光源进行基板加工时被使用，所述故障预测部取得所述可动零部件动作时的物理...
该专利属于JSW阿克迪纳系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过JSW阿克迪纳系统有限公司授权不得商用。

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