一种特高压大电流可拆式探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种特高压大电流可拆式探针卡，属于探针卡领域，一种特高压大电流可拆式探针卡，包括基板，基板的顶部安装有探针卡本体，基板顶部的内侧设置有多个安装槽，安装槽的内侧和探针卡本体的底部设置有相互配合的卡合机构，卡合机构用于卡紧探针卡本体，卡合机构包括有倾斜弹性固定板，倾斜弹性固定板位于倾斜的一侧固定有第一卡块，探针卡本体的底部固定有与安装槽数量相同且位置对应的倾斜弹性卡板；它使得对探针卡本体的拆装不需要使用其他工具，较为方便，且这种方式的拆装下，能够规避探针卡本体出现因扭力而产生的裂纹，减少探针卡本体发生漏电的现象，从而保证了探针卡本体对晶圆测试的准确率。保证了探针卡本体对晶圆测试的准确率。保证了探针卡本体对晶圆测试的准确率。

【技术实现步骤摘要】
一种特高压大电流可拆式探针卡


[0001]本技术涉及探针卡领域，更具体地说，涉及一种特高压大电流可拆式探针卡。

技术介绍

[0002]探针卡为一种连接待测晶圆与电子测试系统，以进行晶圆测试的装置。探针卡在进行检测时，探针卡的接点须与待测晶圆的焊盘或凸块形成良好的电接触，令电子测试系统能发出的讯号，能确实的传递至待测晶圆，以进行待测晶圆的测试，在进行晶圆检测时，就需要针对不同种类的晶圆准备不同型号的探针卡，因此就需要对探针卡本体进行拆装；
[0003]现有的装置的探针卡本体一般是通过螺丝固定在基板上，在对其进行拆装时，往往需要另找螺丝刀进行操作，这种方式虽然较为牢固，但是拆装较为麻烦，不能够随时随手就对探针卡本体进行拆装，且在多次重复的拆装下，如果拧的力度较大，探针卡本体螺丝的周围就容易产生裂纹，造成探针卡本体损坏，进而使得探针卡本体发生漏电等现象，从而影响探针卡本体对晶圆测试的准确度。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种特高压大电流可拆式探针卡，它使得对探针卡本体的拆装不需要使用其他工具，较为方便，且这种方式的拆装下，能够规避探针卡本体出现因扭力而产生的裂纹，减少探针卡本体发生漏电的现象，从而保证了探针卡本体对晶圆测试的准确率。
[0006]2.技术方案
[0007]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0008]一种特高压大电流可拆式探针卡，包括基板，所述基板的顶部安装有探针卡本体，所述基板顶部的内侧设置有多个安装槽，所述安装槽的内侧和所述探针卡本体的底部设置有相互配合的卡合机构，所述卡合机构用于卡紧所述探针卡本体。
[0009]进一步的，所述卡合机构包括有倾斜弹性固定板，所述倾斜弹性固定板位于倾斜的一侧固定有第一卡块，所述探针卡本体的底部固定有与所述安装槽数量相同且位置对应的倾斜弹性卡板，每个所述倾斜弹性卡板靠近所述第一卡块的一侧均固定有与所述第一卡块相对应的第二卡块；
[0010]所述安装槽的内侧且位于所述倾斜弹性固定板和所述倾斜弹性卡板的两侧均设置有弹性阻碍组件，所述弹性阻碍组件用于对所述倾斜弹性卡板和所述第二卡块阻挡。
[0011]进一步的，所述弹性阻碍组件包括有弹性片，所述弹性片设置于所述倾斜弹性固定板和所述倾斜弹性卡板的两侧，两个所述弹性片相互靠近的一端均固定有阻挡板，所述阻挡板用于阻挡所述倾斜弹性卡板和所述第二卡块移动。
[0012]进一步的，所述阻挡板包括有阻挡片，所述阻挡片设置在所述阻挡板的下方，所述阻挡片与所述弹性片相连接，所述阻挡片的顶部设置有倾斜片，所述倾斜片向着远离所述
第二卡块的方向并向上倾斜，所述倾斜片的顶部固定有滑动片，且所述滑动片与所述基板滑动连接。
[0013]进一步的，所述倾斜弹性固定板的底部固定有防下压板，所述防下压板为横向设置。
[0014]进一步的，所述第一卡块和所述第二卡块相互靠近的一侧均设置有摩擦块。
[0015]3.有益效果
[0016]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0017]本方案通过探针卡本体下移，并带动倾斜弹性卡板和第二卡块下移，使得第二卡块能够与第一卡块相互卡接，当需要对探针卡本体进行拆卸时，可向左或向右移动探针卡本体，进而带动倾斜弹性卡板和第二卡块横向移动，进而使得第二卡块移动出第一卡块的卡接范围，并能够向上移动探针卡本体，进而带动倾斜弹性卡板和第二卡块上移，从而完成对探针卡本体的拆卸，通过这种设置，使得装置能够不需要使用螺丝就能够完成对探针卡本体的拆装，使得拆装不需要使用其他工具，较为方便，且这种方式的拆装下，能够规避探针卡本体出现因扭力而产生的裂纹，进而避免探针卡本体损坏，减少探针卡本体发生漏电的现象，从而保证了探针卡本体对晶圆测试的准确率。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为本实用基板、第二卡块和安装槽之间的结构示意图；
[0020]图3为本实用基板、安装槽和倾斜片之间的结构示意图；
[0021]图4为本实用倾斜片、弹性片和第一卡块之间的结构示意图；
[0022]图5为本实用倾斜弹性卡板、第一卡块和第二卡块之间的结构示意图；
[0023]图6为本实用图5中A处的剖视图；
[0024]图7为本实用滑动片、阻挡片和弹性片之间的结构示意图。
[0025]图中标号说明：
[0026]1、基板；2、探针卡本体；3、安装槽；4、倾斜弹性固定板；5、第一卡块；6、防下压板；7、倾斜弹性卡板；8、第二卡块；9、摩擦块；10、弹性片；11、阻挡片；12、倾斜片；13、滑动片。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]实施例：
[0029]请参阅图1
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7，一种特高压大电流可拆式探针卡，包括基板1，基板1的顶部安装有探针卡本体2，基板1顶部的内侧设置有多个安装槽3，安装槽3的内侧和探针卡本体2的底部设置有相互配合的卡合机构，卡合机构用于卡紧探针卡本体2。
[0030]参阅图4
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5，卡合机构包括有倾斜弹性固定板4，倾斜弹性固定板4位于倾斜的一侧固定有第一卡块5，探针卡本体2的底部固定有与安装槽3数量相同且位置对应的倾斜弹性
卡板7，每个倾斜弹性卡板7靠近第一卡块5的一侧均固定有与第一卡块5相对应的第二卡块8，第一卡块5和第二卡块8相互远离的一侧均设置有斜面，进而使得第二卡块8在下移时，与第一卡块5接触到之后，继续下移能够较为方便，在需要将探针卡本体2安装在基板1上时，将探针卡本体2底部的倾斜弹性卡板7和第二卡块8对准安装槽3，并向下移动探针卡本体2，使得倾斜弹性卡板7和第二卡块8下移，在第二卡块8下移至第一卡块5的底部时，可通过第一卡块5的阻挡，使得第二卡块8不能够向上移动，进而完成对探针卡本体2的安装；
[0031]安装槽3的内侧且位于倾斜弹性固定板4和倾斜弹性卡板7的两侧均设置有弹性阻碍组件，弹性阻碍组件用于对倾斜弹性卡板7和第二卡块8阻挡，倾斜弹性固定板4的底部固定有防下压板6，防下压板6为横向设置，通过防下压板6的设置，使得倾斜弹性卡板7和第二卡块8不会移动至太低，进而对倾斜弹性卡板7和第二卡块8起到阻挡的作用，第一卡块5和第二卡块8相互靠近的一侧均设置有摩擦块9，通过摩擦块9的设置，使得第一卡块5和第二卡块8之间的摩擦力增大，进而能够减小探针卡本体2左右晃动的幅度。
[0032]参阅图4和图7，弹性阻碍组件包括有弹性片10，弹性片10设置于倾斜弹性固定板4和倾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特高压大电流可拆式探针卡，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的顶部安装有探针卡本体(2)，所述基板(1)顶部的内侧设置有多个安装槽(3)，所述安装槽(3)的内侧和所述探针卡本体(2)的底部设置有相互配合的卡合机构，所述卡合机构用于卡紧所述探针卡本体(2)。2.根据权利要求1所述的一种特高压大电流可拆式探针卡，其特征在于：所述卡合机构包括有倾斜弹性固定板(4)，所述倾斜弹性固定板(4)位于倾斜的一侧固定有第一卡块(5)，所述探针卡本体(2)的底部固定有与所述安装槽(3)数量相同且位置对应的倾斜弹性卡板(7)，每个所述倾斜弹性卡板(7)靠近所述第一卡块(5)的一侧均固定有与所述第一卡块(5)相对应的第二卡块(8)；所述安装槽(3)的内侧且位于所述倾斜弹性固定板(4)和所述倾斜弹性卡板(7)的两侧均设置有弹性阻碍组件，所述弹性阻碍组件用于对所述倾斜弹性卡板(7)和所述第二卡块(8)阻挡。3.根据权利要求2所述的一种特高压大电流可拆式探针卡，其特征在于：所述弹性阻碍组件包括有弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：无锡普罗卡科技有限公司，
类型：新型
国别省市：