大视场成像物镜制造技术

本发明专利技术提供一种大视场成像物镜，采用沿光束入射方向依次由光焦度为正、正、负、正的透镜组组成的双远心光学结构，物镜总长≤1100mm，适用于450

【技术实现步骤摘要】
大视场成像物镜


[0001]本专利技术涉及成像
，尤其涉及一种大视场成像物镜。

技术介绍

[0002]随着工业技术的发展，在生物、遗传、医疗、工业等检测领域，对检测精度、检测速度、检测尺寸的要求不断提高，所以对自动光学检测(AOI)设备及成像物镜的要求也越来越高，尤其是能够满足大工件、大视场、无畸变精密检测需求的成像物镜，从设计和制造上来说，都是非常困难的。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种大视场成像物镜，以实现大孔径、大视场、双远心系统的像差校正，提升物镜的分辨率，增加产率。
[0004]为达到上述目的，本专利技术提供一种大视场成像物镜，包括：沿光束入射方向依次设置有第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3及第四透镜组G4，其中，所述第一透镜组G1用于会聚大角度光束；所述第二透镜组G2用于对成像物镜的像差进行校正；所述第三透镜组G3用于对所述第一透镜组G1和所述第二透镜组G2所成的实像放大成虚像，实现高倍率，同时用于校正场曲；所述第四透镜组G4用于实现对由所述第三透镜组G3生成的虚像成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大视场成像物镜，其特征在于，包括：沿光束入射方向依次设置有第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3及第四透镜组G4，其中，所述第一透镜组G1用于会聚大角度光束；所述第二透镜组G2用于对成像物镜的像差进行校正；所述第三透镜组G3用于对所述第一透镜组G1和所述第二透镜组G2所成的实像放大成虚像，实现高倍率，同时用于校正场曲；所述第四透镜组G4用于实现对由所述第三透镜组G3生成的虚像成实像。2.根据权利要求1所述的大视场成像物镜，其特征在于，所述第一透镜组G1、所述第二透镜组G2及所述第四透镜组G4具有正光焦度，所述第三透镜组G3具有负光焦度。3.根据权利要求2所述的大视场成像物镜，其特征在于，所述第一透镜组G1、所述第二透镜组G2、所述第三透镜组G3及所述第四透镜组G4满足以下关系式：0.1<|f1/f2|<0.53<|f2/f3|<80.1<|f3/f4|<0.50.1<|f1/f4|<1其中，f1为所述第一透镜组G1的焦距，f2为所述第二透镜组G2的焦距，f3为所述第三透镜组G3的焦距，f4为所述第四透镜组G4的焦距。4.根据权利要求3所述的大视场成像物镜，其特征在于，所述第一透镜组G1至少由2片透镜构成，其中包括2片正透镜；所述第二透镜组G2至少由7片透镜构成，其中至少包括两个双胶合透镜或一个三胶合透镜组；所述第三透镜组G3至少由2片透镜构成，其中包括2片负透镜；所述第四透镜组G4至少由2片透镜构成，其中包括2片正透镜；其中，除两个所述双胶合透镜组和所述三胶合透镜组以外，其余透镜均为球面单透镜。5.根据权利要求4所述的大视场成像物镜，其特征在于，所述第一透镜组G1由2片透镜构成，沿光束入射方向依次为正透镜L1、正透镜L2；所述第二透镜组G2由9片透镜构成，沿光束入射方向依次为正透镜L3、透镜L4与透镜L5组成的具有负光焦度的双胶合透镜组G2
‑
1、正透镜L6、负透镜L7、透镜L8与透镜L9组成的具有负光焦度的双胶合透镜组G2
‑
2及透镜L10与透镜L11组成的具有正光焦度的双胶合透镜组G2
‑
3；所述第三透镜组G3由3片透镜构成，沿光束入射方向依次为由透镜L12与透镜L13组成的具有正光焦度的双胶合透镜组G3
‑
1及负透镜L14；所述第四透镜组G4由3片透镜构成，沿光束入射方向依次为负透镜L15、正透镜L16及正透镜L17。6.根据权利要求5所述的大视场成像物镜，其特征在于，所述透镜L4和所述透镜L8为负透镜，所述透镜L5、所述透镜L9及所述透镜L10为正透镜，所述透镜L11为正透镜或负透镜，所述透镜L12为正透镜或负透镜，所述透镜L13为正透镜。7.根据权利要求6所述的大视场成像物镜，其特征在于，所述第一透镜组G1中至少两个正透镜采用火石玻璃材料制成；所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：李润芝，于大维，李运锋，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：