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本发明提供一种大视场成像物镜，采用沿光束入射方向依次由光焦度为正、正、负、正的透镜组组成的双远心光学结构，物镜总长≤1100mm，适用于450
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该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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