一种CMP设备继电器降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种CMP设备继电器降温装置，其结构包括带有锁扣的CMP设备继电器柜门，CMP设备继电器柜门左侧从上至下间隔开有3个圆通孔，每个圆通孔周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔，CMP设备继电器柜门内侧面上对应3个圆通孔装有3个微型风扇，微型风扇四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔的固定螺丝固定在CMP设备继电器柜门内侧面上。本实用新型专利技术的优点：结构设计合理，充分巧妙地利用了设备空间，整体可安装至设备支架并固定风扇，利用风扇加速空气流动，达到有效降温的效果。可对对CMP设备继电器进行有效散热。CMP设备继电器进行有效散热。CMP设备继电器进行有效散热。

【技术实现步骤摘要】
一种CMP设备继电器降温装置


[0001]本技术涉及的是一种CMP设备继电器降温装置，具体涉及一种通过物理方法为CMP设备利用物理方法给继电器降温的装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，在半导体化学机械研磨(CMP)设备中，一部分由低压来控制较高电压的继电器由于长时间工作，普遍存在继电器发热严重并且散热缓慢的现象。由此很容易导致继电器损坏、电线接触不良甚至短路的现象，很容易发生危险。
[0003]为解决上述现象，现有技术中一般采用的方法为去除继电器周围遮挡物，加速散热。但该方法散热慢，效果不理想，无法有效满足使用需要。

技术实现思路

[0004]本技术提出的是一种CMP设备继电器降温装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，实现对CMP设备继电器进行有效散热。
[0005]本技术的技术解决方案：一种CMP设备继电器降温装置，其结构包括带有锁扣的CMP设备继电器柜门，CMP设备继电器柜门左侧从上至下间隔开有3个圆通孔，每个圆通孔周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔，CMP设备继电器柜门内侧面上对应3个圆通孔装有3个微型风扇，微型风扇四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔的固定螺丝固定在CMP设备继电器柜门内侧面上。
[0006]优选的，为了保证操作人员安全性，并一定程度防尘，每个所述的圆通孔上分别装有一防护网。
[0007]本技术的优点：结构设计合理，充分巧妙地利用了设备空间，整体可安装至设备支架并固定风扇，利用风扇加速空气流动，达到有效降温的效果。可对对CMP设备继电器进行有效散热。
附图说明
[0008]图1是本技术CMP设备继电器降温装置的结构示意图。
[0009]图中的1是CMP设备继电器柜门、2是锁扣、3是圆通孔、4是防护网、5是安装螺孔、6是微型风扇、7是固定螺丝。
具体实施方式
[0010]下面结合实施例和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0011]如图1所示，一种CMP设备继电器降温装置，其结构包括带有锁扣2的CMP设备继电器柜门1，CMP设备继电器柜门1左侧从上至下间隔开有3个圆通孔3，每个圆通孔3周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔5，CMP设备继电器柜门1内侧面上对应3个圆通孔3装有3个微型风扇6，微型风扇6四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔5的固定螺丝7固定在CMP设备
继电器柜门1内侧面上。
[0012]8个安装螺孔5的设置可方便多种型号微型风扇6的安装。
[0013]每个圆通孔3上分别装有一防护网4。可保证操作人员安全性，并一定程度防尘。
[0014]根据以上结构，充分巧妙地利用了设备空间，整体可安装至设备支架并固定风扇，利用风扇加速空气流动，达到有效降温的效果。
[0015]实施例
[0016]CMP设备继电器柜门1长810mm、宽620mm，最底部圆通孔3圆心与CMP设备继电器柜门1底部间距152.5mm，圆通孔3半径56.5mm，相邻圆通孔3圆心间距255mm，圆通孔3圆心与CMP设备继电器柜门1相邻侧边间距124.5mm。
[0017]以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
[0018]以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CMP设备继电器降温装置，其特征在于，包括带有锁扣(2)的CMP设备继电器柜门(1)，CMP设备继电器柜门(1)左侧从上至下间隔开有3个圆通孔(3)，每个圆通孔(3)周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔(5)，CMP设备继电器柜门(1)内侧面上对应3个圆通孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李少博，莫科伟，李春，李峰，陈勇，杨新召，周勇，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：