一种槽阀装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及芯片制造中使用的一种槽阀装置，包括由顶板、底板、两侧的侧板和两端的端板围合而成的腔体，腔体两侧设有贯穿腔体的通道一和通道二，腔体内设有可升降的支撑架，支撑架朝向通道二一侧设有阀板，阀板表面设有密封圈，阀板和支撑架之间设有驱动阀板密封通道二的密封气缸，腔体底部设有驱动支撑架升降的升降气缸，顶板安装在腔体顶部，阀板朝向密封气缸一侧设有槽口，密封气缸的活塞杆伸出端设有气缸接头，气缸接头插入槽口内，连接螺钉穿过阀板与气缸接头螺纹连接；支撑架远离阀板一侧的上角部设有斜切面，对应的侧板上设有与斜切面匹配的导向块。该装置应用于晶圆加工中，其密封圈更换方便，同时，其密封良好，使用可靠。使用可靠。使用可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种槽阀装置


[0001]本专利技术涉及芯片制造过程中使用的一种装置，特别涉及一种设置在传输装置和工艺装置之间的槽阀装置。

技术介绍

[0002]随着半导体的小型化，在影响晶圆产能的各类问题中，尤其是抑制污染（颗粒）物的产生以及产生之后最短时间内进行更换来去除污染源等，已成为提高生产率的重要因素。为此，晶圆在工艺装置内加工时，需要对工艺装置抽真空，以避免污染物的影响。为此而使用一种槽阀装置，其使用在传输装置和工艺装置之间，作用是提供晶圆从传输装置到工艺装置之间的转移通道，在晶圆转移后，该通道关闭，其具有良好的密封性，保证工艺装置内可以形成高真空环境。
[0003]现有技术中的槽阀装置，主要包括一个断面呈矩形的腔体，该腔体由顶板、底板、两侧的侧板和两端的端板围合而成，腔体两侧设有贯穿腔体的通道一和通道二，腔体内设有可升降的支撑架，支撑架朝向通道一和通道二一侧设有阀板，阀板表面设有O形密封圈，阀板和支撑架之间设有驱动阀板密封通道一或通道二的密封气缸，腔体底部设有驱动支撑架升降的升降气缸。升降气缸推动阀板升起，同时，密封气缸推动阀板动作，使得密封圈密封通道一和通道二，从而实现密封。
[0004]其不足之处在于：由于密封圈频繁使用过程中易于失效，需要定期进行更换，现有的槽阀装置中的密封圈难以安装及拆卸，为了更换密封圈，需要将槽阀装置整体拆卸后才能进行维护，其所需的总维护时间长，影响设备使用效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种槽阀装置，使得密封圈更换方便，同时，其密封良好，使用可靠。
[0006]本专利技术的目的是这样实现的：一种槽阀装置，包括一个断面呈矩形的腔体，所述腔体由顶板、底板、两侧的侧板和两端的端板围合而成，腔体两侧设有贯穿腔体的通道一和通道二，腔体内设有可升降的支撑架，支撑架朝向通道二一侧设有阀板，阀板表面设有密封圈，阀板和支撑架之间设有驱动阀板密封通道二的密封气缸，腔体底部设有驱动支撑架升降的升降气缸，所述密封气缸的轴线与升降气缸轴线相互垂直设置，顶板可拆卸地安装在腔体顶部，阀板朝向密封气缸一侧设有槽口，密封气缸的活塞杆伸出端设有气缸接头，所述气缸接头插入所述槽口内，连接螺钉从上部穿过阀板与气缸接头螺纹连接；所述支撑架远离阀板一侧的上角部设有斜切面，对应的侧板上设有楔形的导向块，升降油缸举升支撑架上行到密封位置时，斜切面恰好与导向块相接触。
[0007]本专利技术的槽阀装置，安装在传输装置和工艺装置之间，通道二的外口与工艺装置密封相连，工作时，升降气缸可推动支撑架上下运动，支撑架带动阀板同时上下运动，当阀板下降时，可以让出贯穿腔体的通道一和通道二，使得传输装置的机械手可以穿过通道一
和通道二，伸入到工艺装置内部，取出晶圆或将晶圆放置在工艺装置内，机械手离开后，升降气缸升起，将阀板推动到通道一和通道二所在高度位置，此时，密封气缸动作，将阀板推向通道二，密封圈密封在通道二的外周边缘。在升降油缸举升支撑架上行到密封位置时，斜切面恰好与导向块相接触，从而使的密封圈能与通道二的边缘充分压紧，实现良好密封，可以把升降气缸的向上的推力转化为密封的压紧力，密封后可对工艺装置进行抽真空，并在真空状态下对晶圆进行加工。由于气缸的活塞杆通常不能承受侧推力，因此，当密封气缸动作时，反作用力会侧推升降气缸的活塞杆伸出端，而斜切面与导向块配合，恰好可以抵消这一侧向推力，保证升降气缸能长时间可靠工作。在拆装更换密封圈时，可以拆除顶盖，松开连接螺钉后，可将阀板从上部直接抽出，更换密封圈后再进行复位，其拆装十分便捷。该装置可用于晶圆加工中。
[0008]作为本专利技术的进一步改进在于，所述槽口呈下大上小的八字形，气缸接头呈T形，槽口上部与T形的槽口相匹配。八字形的槽口使得阀板很容易与气缸接头相脱离，以便更加方便地取出阀板，气缸接头呈T形可以方便地进行定位安装。
[0009]作为本专利技术的进一步改进在于，所述阀板上侧设有提手螺钉。提手螺钉进一步方便了将阀板取出。
[0010]作为本专利技术的进一步改进在于，所述升降气缸对应设有两个，密封气缸在阀板长度方向上间隔设置有三个。
[0011]作为本专利技术的进一步改进在于，支撑架上与密封气缸对应设有缺口，所述密封气缸嵌入安装在所述缺口内。该结构可以极大缩小装置的厚度，使其结构更加紧凑。
附图说明
[0012]图1为本专利技术立体结构示意图。
[0013]图2为本专利技术主视图。
[0014]图3为图2的A
‑
A向视图。
[0015]图4为本专利技术内部立体结构示意图一。
[0016]图5为本专利技术内部立体结构示意图二。
[0017]图6为支撑架、升降气缸、密封气缸部装图。
[0018]图7为与图6对应的支撑架、升降气缸、密封气缸部装平面图。
[0019]图8为密封油缸与阀板安装结构图。
[0020]图中，1底板，2端板，3顶板，4侧板，5通道一，6升降气缸，7连接螺钉，8支撑架，9密封气缸，10通道二，11密封圈，12阀板，13腔体，14导向块，15斜切面，16提手螺钉，17气缸接头，18槽口，19安装孔。
具体实施方式
[0021]如图1
‑
8所示，为一种槽阀装置，包括一个断面呈矩形的腔体13，腔体13由顶板3、底板1、两侧的侧板4和两端的端板2围合而成，腔体13两侧设有贯穿腔体13的通道一5和通道二10，腔体13内设有可升降的支撑架8，支撑架8朝向通道二10一侧设有阀板12，阀板12表面设有密封圈11，阀板12和支撑架8之间设有驱动阀板12密封通道二10的密封气缸9，腔体13底部设有驱动支撑架8升降的升降气缸6，密封气缸9的轴线与升降气缸6轴线相互垂直设
置，顶板3可拆卸地安装在腔体13顶部，阀板12朝向密封气缸9一侧设有槽口18，密封气缸9的活塞杆伸出端设有气缸接头17，气缸接头17插入槽口18内，连接螺钉7从上部穿过阀板12上的安装孔19与气缸接头17螺纹连接；支撑架8远离阀板12一侧的上角部设有斜切面15，对应的侧板4上设有楔形的导向块14，升降油缸举升支撑架8上行到密封位置时，斜切面15恰好与导向块14相接触。
[0022]槽口18呈下大上小的八字形，气缸接头17呈T形，槽口18上部与T形的槽口18相匹配。
[0023]阀板12上侧设有提手螺钉16。
[0024]升降气缸6对应设有两个，密封气缸9在阀板12长度方向上间隔设置有三个。
[0025]支撑架8上与密封气缸9对应设有缺口，密封气缸9嵌入安装在缺口内。
[0026]本专利技术的槽阀装置，安装在传输装置和工艺装置之间，通道二10的外口与工艺装置密封相连，工作时，升降气缸6可推动支撑架8上下运动，支撑架8带动阀板12同时上下运动，当阀板12下降时，可以让出贯穿腔体13的通道一5和通道二10，使得传输装置的机械手可以穿过通道一5和通道二10，伸入到工艺装置内部，取出晶圆或将晶圆放置在工艺装置内，机械手离开后，升降气缸6升起，将阀板12本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种槽阀装置，包括一个断面呈矩形的腔体，所述腔体由顶板、底板、两侧的侧板和两端的端板围合而成，腔体两侧设有贯穿腔体的通道一和通道二，腔体内设有可升降的支撑架，支撑架朝向通道二一侧设有阀板，阀板表面设有密封圈，阀板和支撑架之间设有驱动阀板密封通道二的密封气缸，腔体底部设有驱动支撑架升降的升降气缸，其特征在于：所述密封气缸的轴线与升降气缸轴线相互垂直设置，顶板可拆卸地安装在腔体顶部，阀板朝向密封气缸一侧设有槽口，密封气缸的活塞杆伸出端设有气缸接头，所述气缸接头插入所述槽口内，连接螺钉从上部穿过阀板与气缸接头螺纹连接；所述支撑架远离阀板一侧的上角部设有斜切面，对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宰卿，
申请(专利权)人：扬州韩思半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：