一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，包括测试箱，测试箱内设有置物架，置物架上开设有多个漏水孔，测试箱的上端穿设有喷雾头；测试箱的上端装设有抽水泵、抽气泵，抽水泵的进水端通过过水管与测试箱的下部连通，抽水泵的出水端通过出水管与喷雾头连通，抽气泵的出气端通过出气管与喷雾头连通；测试箱内还装设有湿度感应器，测试箱的外侧壁上设有控制模块；本申请结构合理、配合巧妙，利用喷雾头对测试箱内进行喷洒水汽，通过湿度感应器及控制模块根据需要控制测试箱内的水汽浓度，提高对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测试的测试效率及效果，有效降低成本。有效降低成本。有效降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置


[0001]本技术涉及红外半导体晶体膜领域，尤其是一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置。

技术介绍

[0002]红外材料是指辐射波长位于红外波段的材料，其在红外光辐射中为透明状态。半导体是指禁带宽度小于2eV的材料。红外半导体晶体膜即由红外半导体材料形成的薄膜。随着制备半导体薄膜的技术不同，在结构上可分为单晶，多晶和无定形薄膜。同质或异质外延生长的半导体薄膜是构成大规模集成电路的极重要材料。多晶半导体薄膜是尺寸大小按某种分布的晶粒构成的。这些晶粒取向是随机分布的。在晶粒内部原子按周期排列，在晶粒边界存在着大量缺陷，具有不同的电学和光学特性。当膜中原子的排列短程有序而长程无序时，称为无定形半导体薄膜。
[0003]其中，红外半导体晶体膜经常应用在半导体超纯水设备、半导体电锅炉等需要与水接触的设备上，其工作环境往往水汽浓度较高、空气湿度较高，而红外半导体晶体膜长时间与水汽接触时会发生腐蚀现象，从而导致红外半导体晶体膜破损，造成设备故障甚至引发安全问题，因此在生产使用前需要对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于，包括测试箱，所述测试箱内设有置物架，所述置物架上开设有多个漏水孔，所述测试箱的上端穿设有喷雾头；所述测试箱的上端装设有抽水泵、抽气泵，所述抽水泵的进水端通过过水管与所述测试箱的下部连通，所述抽水泵的出水端通过出水管与所述喷雾头连通，所述抽气泵的出气端通过出气管与所述喷雾头连通，所述测试箱的侧壁上开设有通风口；所述测试箱内还装设有湿度感应器，所述测试箱的外侧壁上设有控制模块。2.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述喷雾头在所述测试箱的上端设有多个。3.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述测试箱内水平设有筛网且所述筛网设在所述置物架的下方。4.根据权利要求3所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述筛...

【专利技术属性】
技术研发人员：张东升，任卫民，
申请(专利权)人：信阳星原智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：