提供透过率自动检查装置和透过率自动检查方法。透过率自动检查装置包括：测量部，包括光源部和具有由位于光源部上的多个感测区域构成的整个感测区域的图像传感器，并且获得第一亮度数据和第二亮度数据，其中，第一亮度数据表示当被检查体不位于光源部和图像传感器之间时到达图像传感器的各感测区域的光的亮度，第二亮度数据表示当被检查体位于光源部和图像传感器之间时到达各感测区域的光的亮度；以及控制部，利用测量部的第一亮度数据和第二亮度数据来计算出各感测区域的透过率，从各感测区域的透过率计算出整个感测区域的平均透过率数据，比较平均透过率数据与基准数据来判定被检查体是否良好。定被检查体是否良好。定被检查体是否良好。
【技术实现步骤摘要】
透过率自动检查装置和透过率自动检查方法
[0001]本专利技术涉及透过率自动检查装置和透过率自动检查方法。
技术介绍
[0002]通常，在半导体装置或显示装置的制造工序中可以使用激光照射装置。例如，为了在两个玻璃基板之间的显示部被玻璃料(frit)密封的结构中将玻璃料熔接到玻璃基板、切断半导体晶圆或玻璃基板等、将两个薄膜或基板彼此分离或者图案化预定的薄膜，可以使用激光。
[0003]激光因反复使用，其能量密度或强度可能会变化。因此，为了改善激光品质且提高产品的可靠性，重要的是均匀地维持激光的性能。所述激光的品质可能会根据照射所述激光的窗透镜的污染程度而不同。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于，提供一种可以改善激光工序品质的透过率自动检查装置和透过率自动检查方法。
[0005]但是，本专利技术的目的并不限于上述的目的，在不超出本专利技术的思想和领域的范围可以进行各种扩展。
[0006]为了达成本专利技术的目的，实施例涉及的透过率自动检查装置可以包括：测量部，包括光源部和具有由位于所述光源部上的多个感测区域构成的整个感测区域的图像传感器，并且获得第一亮度数据和第二亮度数据，其中，所述第一亮度数据表示当被检查体不位于所述光源部和所述图像传感器之间时到达所述图像传感器的各所述感测区域的光的亮度，所述第二亮度数据表示当所述被检查体位于所述光源部和所述图像传感器之间时到达各所述感测区域的光的亮度；以及控制部，利用所述测量部的所述第一亮度数据和所述第二亮度数据来计算出各所述感测区域的透过率，从各所述感测区域的透过率计算出所述整个感测区域的平均透过率数据，比较所述平均透过率数据与基准数据来判定所述被检查体是否良好。
[0007]在一实施例中，可以是，所述光源部包括输出特定波长的光的面光源。
[0008]在一实施例中，可以是，所述图像传感器包括CMOS相机和CCD相机中的一个。
[0009]在一实施例中，可以是，所述光源部包括点光源、扩束器以及光圈。
[0010]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查装置还包括移动所述被检查体的驱动部。
[0011]在一实施例中，可以是，在所述平均透过率数据大于所述基准数据的情况下，所述控制部将所述被检查体判定为良好，在所述平均透过率数据小于所述基准数据的情况下，所述控制部将所述被检查体判定为不良。
[0012]在一实施例中，可以是，所述被检查体是透镜。
[0013]在一实施例中，可以是，所述被检查体包括玻璃。
[0014]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查装置还包括驱动所述测量部和所述控制部的电气部。
[0015]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查装置还包括用于冷却所述光源部的冷却器。
[0016]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查装置还包括：暗盒，配置所述测量部和所述被检查体；以及红外线相机，配置在所述暗盒中。
[0017]为了达成本专利技术的目的，实施例涉及的透过率自动检查方法可以包括：获得表示当被检查体不位于光源部与图像传感器之间时到达各感测区域的光的亮度的第一亮度数据的步骤；获得表示当所述被检查体位于所述光源部与所述图像传感器之间时到达各所述感测区域的光的亮度的第二亮度数据的步骤；利用相同的所述感测区域的所述第一亮度数据和所述第二亮度数据来计算出各所述感测区域的透过率，从而获得各所述感测区域的透过率数据的步骤；利用所述透过率数据来计算出由所述感测区域构成的整个感测区域的平均透过率数据的步骤；利用各所述感测区域的所述透过率数据来形成所述整个感测区域的透过率图的步骤；以及比较所述平均透过率数据与基准数据来判定所述被检查体是否良好的步骤。
[0018]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查方法还包括：利用各所述感测区域的所述透过率数据来形成所述整个感测区域的透过率图的步骤。
[0019]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查方法还包括：将所述被检查体配置成相对于所述光源部倾斜预定角度的步骤。
[0020]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查方法在判定所述被检查体是否良好的步骤之前还包括：设定基准数据的步骤。
[0021]在一实施例中，可以是，判定所述被检查体是否良好的步骤包括：在所述平均透过率数据大于所述基准数据的情况下将所述被检查体判定为良好的步骤。
[0022]在一实施例中，可以是，判定所述被检查体是否良好的步骤包括：在所述平均透过率数据小于所述基准数据的情况下将所述被检查体判定为不良的步骤。
[0023]在一实施例中，可以是，所述透过率自动检查方法还包括：在所述被检查体被判定为不良的情况下替换所述被检查体的步骤。
[0024]为了达成本专利技术的目的，实施例涉及的透过率自动检查方法可以包括：获得表示当被检查体不位于光源部与图像传感器之间时到达各感测区域的光的亮度的第一亮度数据的步骤；获得表示当所述被检查体位于所述光源部与所述图像传感器之间时到达各所述感测区域的光的亮度的第二亮度数据的步骤；利用相同的所述感测区域的所述第一亮度数据和所述第二亮度数据来计算出各所述感测区域的透过率，从而获得各所述感测区域的透过率数据的步骤；比较所述透过率数据与第一基准数据来将各所述感测区域之中具有小于所述第一基准数据的所述透过率数据的所述感测区域选择为未达基准感测区域的步骤；计算出所述未达基准感测区域的平均透过率数据的步骤；选择包括所述未达基准感测区域的扩展感测区域的步骤；计算出所述扩展感测区域的平均透过率数据的步骤；所述扩展感测区域的平均透过率数据除以所述未达基准感测区域的平均透过率数据来计算出比率数据的步骤；以及比较所述比率数据与第二基准数据来判定所述被检查体是否良好的步骤。
[0025]在一实施例中，可以是，判定所述被检查体是否良好的步骤包括：在所述比率数据
大于所述第二基准数据的情况下将所述被检查体判定为良好并且在所述比率数据小于所述第二基准数据的情况下将所述被检查体判定为不良的步骤。
[0026](专利技术效果)
[0027]在本专利技术的实施例涉及的透过率自动检查装置和透过率自动检查方法中，测量部测量各感测区域的亮度数据，控制部计算出各所述感测区域的透过率数据，由此可以自动判定被检查体是否良好。由此，所述透过率自动检查装置和所述透过率自动检查方法可以改善在ELA工序中使用的窗透镜的品质且可以改善成本。此外，通过自动检查所述窗透镜的品质来进行替换，可以减少所述ELA工序费用。
[0028]但是，本专利技术的效果并不限于前述的效果，在不超出本专利技术的思想和领域的范围可以进行各种扩展。
附图说明
[0029]图1是用于说明本专利技术的一实施例涉及的透过率自动检查装置的立体图。
[0030]图2是用于说明本专利技术的一实施例涉及的透过率自动检查方法的流程图。
[0031]图3是在透过率自动检查方法中示出透过率图的一例的图。
[0032]图4是用于说明本专利技术的其他实施例涉及的透过率自动检查方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种透过率自动检查装置，包括：测量部，包括光源部和具有由位于所述光源部上的多个感测区域构成的整个感测区域的图像传感器，并且获得第一亮度数据和第二亮度数据，其中，所述第一亮度数据表示当被检查体不位于所述光源部和所述图像传感器之间时到达所述图像传感器的各所述感测区域的光的亮度，所述第二亮度数据表示当所述被检查体位于所述光源部和所述图像传感器之间时到达各所述感测区域的光的亮度；以及控制部，利用所述测量部的所述第一亮度数据和所述第二亮度数据来计算出各所述感测区域的透过率，从各所述感测区域的透过率计算出所述整个感测区域的平均透过率数据，比较所述平均透过率数据与基准数据来判定所述被检查体是否良好。2.根据权利要求1所述的透过率自动检查装置，其中，所述光源部包括输出特定波长的光的面光源。3.根据权利要求1所述的透过率自动检查装置，其中，所述图像传感器包括CMOS相机和CCD相机中的一个。4.根据权利要求1所述的透过率自动检查装置，其中，在所述平均透过率数据大于所述基准数据的情况下，所述控制部将所述被检查体判定为良好，在所述平均透过率数据小于所述基准数据的情况下，所述控制部将所述被检查体判定为不良。5.根据权利要求1所述的透过率自动检查装置，其中，所述被检查体是透镜。6.一种透过率自动检查方法，包括：获得表示当被检查体不位于光源部与图像传感器之间时到达各感测区域的光的亮度的第一亮度数据的步骤；获得表示当所述被检查体位于所述光源部与所述图像传感器之间时到达各所述感测区域的光的亮度的第二亮度数据的步骤；利用相同的所述感测区域的所述第一亮度数据和所述第二亮度数据来计算出各所述感测区域的透过率，从而获得各所述感测区域的透过率数据的步骤；利用所述透过率数据来计算出由所述感测区域构成的整个感测区域的平均透...
【专利技术属性】
技术研发人员：裵盛焕，姜承圭，李喆珉，金俊亨，朴容辰，李相振，
申请(专利权)人：SP科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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