清洗冷却装置及划片机制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了清洗冷却装置及划片机，其中清洗冷却装置包括设置在刀片的径向一侧的喷液块，喷液块上设置有用于向刀片的刀刃喷液的第一喷液孔及用于向晶圆的上表面喷液的第二喷液孔，所述第一喷液孔的轴线及第二喷液孔的轴线均与刀片的轴线垂直；所述第一喷液孔的第一出液端到所述刀片的距离在13

【技术实现步骤摘要】
清洗冷却装置及划片机


[0001]本技术涉及半导体器件领域，尤其是清洗冷却装置及划片机。

技术介绍

[0002]在划片机加工过程中，需要对划片中的刀片及晶圆进行清洗、冷却。
[0003]如申请号为201110241740.0所揭示的现有技术，其是通过在刀片的轴向两侧设置第一喷管、第二喷管来对刀片的刀面及晶圆进行冷却和清洗，以及在刀片的径向侧部设置第三喷管来对刀片的径向一侧导入冷却介质。
[0004]这种结构中，第一喷管及第二喷管对晶圆上与刀片的轴线平行的划痕有一定的清洗效果，但对晶圆上已经形成的与刀片轴线垂直的划痕的清洗效果很差，更无法对刀片实时划切出的划痕进行清洗。
[0005]同时，在向刀片的径向喷液时，第三喷管的出液端与刀片之间的间距对清洗、冷却效果及刀片的转动有较大影响。

技术实现思路

[0006]本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种清洗冷却装置及划片机。
[0007]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0008]清洗冷却装置，包括喷液块，所述喷液块设置在所述刀片的径向一侧，所述喷液块被配置用于向划片中的刀片和被刀片加工的晶圆喷液，所述喷液块上设置有用于向所述刀片的刀刃喷液的第一喷液孔及用于向刀片下方的晶圆的上表面喷液的第二喷液孔，所述第一喷液孔的轴线及第二喷液孔的轴线均与所述刀片的轴线垂直；所述第一喷液孔的第一出液端到所述刀片的距离在13
‑
15mm之间。
[0009]优选的，所述清洗冷却装置中，所述第一喷液孔的轴线的高度与所述刀片的轴线的高度相当，所述喷液块的底部位于所述刀片的底部上方。
[0010]优选的，所述清洗冷却装置中，所述第一喷液孔的孔径在1.5
‑
2.5mm之间。
[0011]优选的，所述清洗冷却装置中，所述第二喷液孔为一排且它们沿所述刀片的轴向分布，所述第二喷液孔的直径在0.8
‑
1.5mm之间。
[0012]优选的，所述清洗冷却装置中，所述第二喷液孔中的一个与所述刀片的位置相对。
[0013]优选的，所述清洗冷却装置中，所述第二喷液孔为一排沿所述刀片的轴向分布的长条孔，每个所述长条孔沿竖向延伸设定长度，所述第二喷液孔的内端与圆柱安装腔连通，所述圆柱安装腔的轴线与刀片的轴线平行，所述圆柱安装腔与第二进液流道连通，所述圆柱安装腔中可自转地设置有转动块，所述转动块上设置有与所述长条孔一一对应的出液口，所述出液口与转动块内的水腔连通，所述水腔通过进液口与所述第二进液流道连通，所述出液口的直径小于等于所述长条孔的长度的一半，所述出液口的轴线与所述长条孔的中心线平行时，所述出液口的轴线位于所述长条孔的中心线的上侧。
[0014]优选的，所述清洗冷却装置还包括至少两根与连接块连接的喷液杆，所述喷液杆分布在所述刀片的轴向两侧，每根喷液杆上设置有朝向所述刀片的轴向侧面的第三喷液孔，所述第三喷液孔沿所述喷液杆的圆周方向延伸一定长度，所述第三喷液孔的弧长为3
±
0.2mm。
[0015]优选的，所述清洗冷却装置中，所述第三喷液孔的宽度为0.2
±
0.05mm。
[0016]优选的，所述清洗冷却装置中，所述喷液杆包括依次衔接的第一段、第二段及第三段，所述第一段和第二段保持钝角，所述第二段及第三段保持钝角，所述第一段与第三段垂直。
[0017]划片机，包括上述任一所述的清洗冷却装置。
[0018]本技术技术方案的优点主要体现在：
[0019]本技术通过在喷液块上设置第一喷液孔和第二喷液孔，第一喷液孔可以对刀片的刀刃进行清洗和冷却，第二喷液孔可以对晶圆上与刀片轴线垂直的划痕进行清洗，有利于改善与刀片轴线垂直的划痕的清洗效率和效果；同时通过第一喷液孔的第一出液端到刀片的距离设定可以有效地保证第一喷液孔喷出的第一水柱在冲刷到刀片时不会出现散射，保证了清洗、冷却效果，还避免了由于第一出液端到刀片的距离太近影响刀片转速进而导致划切效率降低的问题。
[0020]本技术的第二喷液孔为一排，能够提高清洗质量和清洗效率，同时，使一个第二喷液孔与刀片位置对应，能够有效地对刀片与晶圆接触的位置进行冷却，同时可以实时对划切出的划痕喷液以及时清除碎屑，有利于降低刀片因碎屑造成损坏的风险。
[0021]本技术通过转动块来连通第二喷液孔和第二进液流道，并使转动块上形成有尺寸小于第二喷液孔的长度的出液口，可以通过转动所述转动块来实现出液口的出水角度的调节，能够有效满足不同出水角度的快速调整需要，使用更灵活。
[0022]本技术对喷水杆的第三喷液孔的尺寸设计能够有效地保证清洗的力度和具有足够大的喷水范围以对晶圆和刀片同时进行清洗和冷却，有利于改善清洗和冷却质量。同时喷水杆的多段的角度设计可以有效地降低水流阻力，在相同的供水压力下能够具有更佳的水流速度，有利于提高第三喷孔的出水的冲刷力度。
[0023]本技术的喷液块与喷液杆所接的接水快采用分体式结构，相对于现有技术，更有利于组装及调试，使用更便利。
附图说明
[0024]图1是本技术的清洗冷却装置的立体图；
[0025]图2是本技术的清洗冷却装置的正视图；
[0026]图3是本技术的喷液块的正视图；
[0027]图4是本技术的喷液块的B
‑
B剖视图；
[0028]图5是本技术的喷液块的C
‑
C剖视图；
[0029]图6是本技术的喷液块带有转动块的立体图；
[0030]图7是本技术的喷液块带有转动块的正视图；
[0031]图8是本技术的转动块的立体图；
[0032]图9是本技术的喷液杆的立体图。
具体实施方式
[0033]本技术的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。
[0034]在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。
[0035]实施例1
[0036]下面结合附图对本技术揭示的清洗冷却装置进行阐述，如附图1
‑
附图5所示，其包括喷液块1，所述喷液块1设置在所述刀片2的径向一侧（右侧），所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.清洗冷却装置，包括设置在刀片的径向一侧的喷液块，其特征在于：所述喷液块上设置有用于向所述刀片的刀刃喷液的第一喷液孔及用于向刀片下方的晶圆的上表面喷液的第二喷液孔，所述第一喷液孔的轴线及第二喷液孔的轴线均与所述刀片的轴线垂直；所述第一喷液孔的第一出液端到所述刀片的距离在13
‑
15mm之间。2.根据权利要求1所述的清洗冷却装置，其特征在于：所述第一喷液孔的轴线的高度与所述刀片的轴线的高度相当，所述喷液块的底部位于所述刀片的底部上方。3.根据权利要求1所述的清洗冷却装置，其特征在于：所述第一喷液孔的孔径在1.5
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2.5mm之间。4.根据权利要求1所述的清洗冷却装置，其特征在于：所述第二喷液孔为一排且它们沿所述刀片的轴向分布，所述第二喷液孔的直径在0.8
‑
1.5mm之间。5.根据权利要求4所述的清洗冷却装置，其特征在于：所述第二喷液孔中的一个与所述刀片的位置相对。6.根据权利要求1所述的清洗冷却装置，其特征在于：所述第二喷液孔为一排沿所述刀片的轴向分布的长条孔，每个所述长条孔沿竖向延伸设定长度，所述第二喷液孔的内端与圆柱安装腔连通，所述圆柱安装腔的轴线与刀片的轴线平行，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘炳先，尹冰涛，于光明，孙志超，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：