本发明专利技术涉及靶材储存技术领域，公开了一种PVD溅射靶材生产用转运箱，包括底座，上固定机构，所述上固定机构位于底座的上方；内转运机构，螺纹固定在底座的上端，所述内转运机构内放置有靶材产品；两个侧固定机构一，对称设置在底座的上端；两个侧固定机构二，对称设置在底座的上端；所述侧固定机构二与侧固定机构一卡接，所述内转运机构位于侧固定机构一、侧固定机构二、底座、上固定机构围成的区域内部，所述侧固定机构二、侧固定机构一的上端均与上固定机构的下表面相接触，且所述侧固定机构一与上固定机构卡接；本发明专利技术可以根据不同的存储需求进行规格上的适用性调整，可以为使用者提供更多的选择。更多的选择。更多的选择。
【技术实现步骤摘要】
一种PVD溅射靶材生产用转运箱
[0001]本专利技术涉及靶材储存
，更具体地说，它涉及一种PVD溅射靶材生产用转运箱。
技术介绍
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]专利号为CN108891737A的现有技术中公开了一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。本专利技术通过设置有一系列的结构，使得该靶材储存箱，可对大型靶材进行存储的同时，方便拿取和存放，可对储存箱内部进行减震处理，对靶材进行充分保护，而日常生产中具有不同的存储需求，但是上述现有专利的规格是固定的，无法根据不同的存储需求进行规格上的适用性调整，不能为使用者提供更多的选择，具有一定的使用局限性。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种PVD溅射靶材生产用转运箱。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
[0006]一种PVD溅射靶材生产用转运箱，包括底座，上固定机构，所述上固定机构位于底座的上方；
[0007]内转运机构，螺纹固定在底座的上端，所述内转运机构内放置有靶材产品；
[0008]两个侧固定机构一，对称设置在底座的上端；
[0009]两个侧固定机构二，对称设置在底座的上端；
[0010]所述侧固定机构二与侧固定机构一卡接，所述内转运机构位于侧固定机构一、侧固定机构二、底座、上固定机构围成的区域内部，所述侧固定机构二、侧固定机构一的上端均与上固定机构的下表面相接触，且所述侧固定机构一与上固定机构卡接；
[0011]四个呈矩形阵列排布的连接机构，所述连接机构的两侧分别与侧固定机构二、侧固定机构一卡接，所述上固定机构的下端与连接机构的上端螺栓固定；
[0012]四个呈矩形阵列排布的固定柱，所述固定柱的下端与底座螺纹连接，所述固定柱的上端贯穿侧固定机构二、侧固定机构一至连接机构的内部。
[0013]作为本专利技术进一步的方案：所述上固定机构包含盖板，所述盖板的两侧均固定连接有用于与侧固定机构一卡接的横板，所述盖板的四个顶角的位置均设置有用于与连接机构连接固定的固定螺栓。
[0014]作为本专利技术进一步的方案：所述侧固定机构一包含侧固定板一，所述侧固定板一内部滑动连接有升降板一，所述升降板一的上端贯穿侧固定板一，所述升降板一与侧固定板一之间连接有多个呈等距离排布的弹性件一，所述侧固定板一的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块一，所述侧固定板一的上端对称开设有固定槽一，所述升降板一的上端对称开设有卡槽一，所述升降板一的上端转动安装有与横板卡接的卡接件。
[0015]作为本专利技术进一步的方案：所述侧固定机构二包含侧固定板二，所述侧固定板二内部滑动连接有升降板二，所述升降板二的上端贯穿侧固定板二，所述升降板二与侧固定板二之间连接有多个呈等距离排布的弹性件二，所述侧固定板二的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块二，所述侧固定板二的上端对称开设有固定槽二，所述升降板二的上端对称开设有卡槽二。
[0016]作为本专利技术进一步的方案：所述楔形块二和楔形块一卡接，所述升降板二、升降板一的截面均呈T型。
[0017]作为本专利技术进一步的方案：所述连接机构包含连接块一，所述连接块一的上端滑动安装有V型板，所述V型板的下端对称设置有卡接柱，所述连接块一的下端对称安装有连接柱，所述V型板的下端延伸至连接块一的内部，所述V型板的下端与连接块一之间连接有弹性件三。
[0018]作为本专利技术进一步的方案：所述连接柱分别与固定槽一、固定槽二相适配，所述卡接柱分别与卡槽二、卡槽一相适配。
[0019]作为本专利技术进一步的方案：所述内转运机构包含位于底座上端的分隔板，所述分隔板上设置有定位柱一，所述定位柱一的下端贯穿分隔板与底座螺纹连接，所述分隔板将底座分隔成四个置物区域，置物区域内设置有四个呈矩形阵列排布的定位柱二和多个堆叠设置的放置组件，所述定位柱二的下端贯穿放置组件与底座螺纹连接。
[0020]作为本专利技术进一步的方案：所述放置组件包含对称设置的放置板，两个所述放置板之间设置有放置腔室。
[0021]作为本专利技术进一步的方案：所述固定柱的上端贯穿楔形块二和楔形块一至连接块一的内部。
[0022]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0023]本专利技术中，部件之间的连接方式多采用可拆卸的连接方式，使得本专利技术整体便于安装、拆卸，利于维护、清洁，更换，延长整体使用寿命。
[0024]本专利技术中，可以增设分隔板，使得多个分隔板堆叠设置在定位柱一的外表面上，以期获得不同放置区域的高度，使得使用者可以根据实际使用需要而放置不同数量的PVD溅射靶材产品，使得使用者使用时具有更多的选择性，并且放置组件包含对称设置的放置板，两个放置板之间设置有放置腔室，放置腔室用于放置PVD溅射靶材产品，放置腔室可以根据PVD溅射靶材产品的形状进行对应设置，避免PVD溅射靶材产品在转运过程中出现剧烈抖
动，使得产品表面受损的问题。
[0025]本专利技术中，通过侧固定机构一、侧固定机构二、上固定机构、连接机构、固定柱的配合使用，确保了整体的封装框架的稳定性和安全性，减少在转运过程中PVD溅射靶材产品受到的震动，进一步的确保PVD溅射靶材产品的转运质量。
[0026]本专利技术中，侧固定机构一、侧固定机构二、连接机构的垂直高度均可以进行适应性的调整，可以获得不同的转运箱整体高度，并且可以相应的对内转运机构中不同高度规格的定位柱一、定位柱二进行适应，使得本专利技术整体具有不同的规格，可以在面临不同的产品转运需求时提供相应的规格，具有更好的适用性。
附图说明
[0027]图1为本专利技术一种PVD溅射靶材生产用转运箱的整体结构图；
[0028]图2为本专利技术中连接机构的侧视图；
[0029]图3为本专利技术中侧固定机构一的侧视剖面示意图；
[0030]图4为本专利技术中侧固定机构二的主视剖面示意图；
[0031]图5为本专利技术中图1中的A处放大示意图；
[0032]图6为本专利技术中内转运机构、底座、固定柱的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，包括：底座(1)，上固定机构(5)，所述上固定机构(5)位于底座(1)的上方；内转运机构(6)，固定在底座(1)的上端；两个侧固定机构一(2)，对称设置在底座(1)的上端；两个侧固定机构二(3)，对称设置在底座(1)的上端；所述侧固定机构二(3)与侧固定机构一(2)卡接，所述内转运机构(6)位于侧固定机构一(2)、侧固定机构二(3)、底座(1)、上固定机构(5)围成的区域内部，所述侧固定机构二(3)、侧固定机构一(2)的上端均与上固定机构(5)的下表面相接触，且所述侧固定机构一(2)与上固定机构(5)卡接；四个呈矩形阵列排布的连接机构(4)，所述连接机构(4)的两侧分别与侧固定机构二(3)、侧固定机构一(2)卡接，所述上固定机构(5)的下端与连接机构(4)的上端螺栓固定；四个呈矩形阵列排布的固定柱(7)，所述固定柱(7)的下端与底座(1)螺纹连接，所述固定柱(7)的上端贯穿侧固定机构二(3)、侧固定机构一(2)至连接机构(4)的内部。2.根据权利要求1所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述上固定机构(5)包含盖板(51)，所述盖板(51)的两侧均固定连接有用于与侧固定机构一(2)卡接的横板(52)，所述盖板(51)的四个顶角的位置均设置有用于与连接机构(4)连接固定的固定螺栓(53)。3.根据权利要求2所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述侧固定机构一(2)包含侧固定板一(21)，所述侧固定板一(21)内部滑动连接有升降板一(22)，所述升降板一(22)的上端贯穿侧固定板一(21)，所述升降板一(22)与侧固定板一(21)之间连接有多个呈等距离排布的弹性件一(23)，所述侧固定板一(21)的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块一(24)，所述侧固定板一(21)的上端对称开设有固定槽一(25)，所述升降板一(22)的上端对称开设有卡槽一(26)，所述升降板一(22)的上端转动安装有与横板(52)卡接的卡接件(27)。4.根据权利要求3所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述侧固定机构二(3)包含侧固定板二(31)，所述侧固定板二(31)内部滑动连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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