一种PVD溅射靶材生产用转运箱制造技术

本发明专利技术涉及靶材储存技术领域，公开了一种PVD溅射靶材生产用转运箱，包括底座，上固定机构，所述上固定机构位于底座的上方；内转运机构，螺纹固定在底座的上端，所述内转运机构内放置有靶材产品；两个侧固定机构一，对称设置在底座的上端；两个侧固定机构二，对称设置在底座的上端；所述侧固定机构二与侧固定机构一卡接，所述内转运机构位于侧固定机构一、侧固定机构二、底座、上固定机构围成的区域内部，所述侧固定机构二、侧固定机构一的上端均与上固定机构的下表面相接触，且所述侧固定机构一与上固定机构卡接；本发明专利技术可以根据不同的存储需求进行规格上的适用性调整，可以为使用者提供更多的选择。更多的选择。更多的选择。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD溅射靶材生产用转运箱


[0001]本专利技术涉及靶材储存
，更具体地说，它涉及一种PVD溅射靶材生产用转运箱。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]专利号为CN108891737A的现有技术中公开了一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，包括：底座(1)，上固定机构(5)，所述上固定机构(5)位于底座(1)的上方；内转运机构(6)，固定在底座(1)的上端；两个侧固定机构一(2)，对称设置在底座(1)的上端；两个侧固定机构二(3)，对称设置在底座(1)的上端；所述侧固定机构二(3)与侧固定机构一(2)卡接，所述内转运机构(6)位于侧固定机构一(2)、侧固定机构二(3)、底座(1)、上固定机构(5)围成的区域内部，所述侧固定机构二(3)、侧固定机构一(2)的上端均与上固定机构(5)的下表面相接触，且所述侧固定机构一(2)与上固定机构(5)卡接；四个呈矩形阵列排布的连接机构(4)，所述连接机构(4)的两侧分别与侧固定机构二(3)、侧固定机构一(2)卡接，所述上固定机构(5)的下端与连接机构(4)的上端螺栓固定；四个呈矩形阵列排布的固定柱(7)，所述固定柱(7)的下端与底座(1)螺纹连接，所述固定柱(7)的上端贯穿侧固定机构二(3)、侧固定机构一(2)至连接机构(4)的内部。2.根据权利要求1所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述上固定机构(5)包含盖板(51)，所述盖板(51)的两侧均固定连接有用于与侧固定机构一(2)卡接的横板(52)，所述盖板(51)的四个顶角的位置均设置有用于与连接机构(4)连接固定的固定螺栓(53)。3.根据权利要求2所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述侧固定机构一(2)包含侧固定板一(21)，所述侧固定板一(21)内部滑动连接有升降板一(22)，所述升降板一(22)的上端贯穿侧固定板一(21)，所述升降板一(22)与侧固定板一(21)之间连接有多个呈等距离排布的弹性件一(23)，所述侧固定板一(21)的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块一(24)，所述侧固定板一(21)的上端对称开设有固定槽一(25)，所述升降板一(22)的上端对称开设有卡槽一(26)，所述升降板一(22)的上端转动安装有与横板(52)卡接的卡接件(27)。4.根据权利要求3所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述侧固定机构二(3)包含侧固定板二(31)，所述侧固定板二(31)内部滑动连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：