下载一种PVD溅射靶材生产用转运箱的技术资料

文档序号:36093772

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本发明涉及靶材储存技术领域,公开了一种PVD溅射靶材生产用转运箱,包括底座,上固定机构,所述上固定机构位于底座的上方;内转运机构,螺纹固定在底座的上端,所述内转运机构内放置有靶材产品;两个侧固定机构一,对称设置在底座的上端;两个侧固定机构二...
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