像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器制造技术

本发明专利技术提供一种像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器，像元结构包括衬底、框架、悬臂梁、传感元件、支撑锚和敏感元件，框架连接于衬底并与衬底形成有隔离槽，传感元件包括包覆层和设置于包覆层内的二极管，悬臂梁连接包覆层和框架以悬空支撑包覆层，悬臂梁内设置有引线，框架内设置有导线，引线电连接二极管和导线，敏感元件通过支撑锚连接于传感元件背离衬底的一侧，敏感元件高出隔离槽设置。相比于现有技术而言，该像元结构通过双悬空结构的设置，提高了填充比，提升了红外吸收面积，进而提高了测量的灵敏度。高了测量的灵敏度。高了测量的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器


[0001]本专利技术涉及像元结构
，尤其涉及一种像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器。

技术介绍

[0002]红外成像系统的核心部件是红外焦平面阵列，根据探测机理可分为光子型和热型两大类。光子型红外焦平面阵列在工作时必须进行制冷，将环境中的热电子滤除掉，以区别出激发的光电子。同时由于制冷设备的存在，光子型红外焦平面阵列一般体积大、功耗高，使用成本也高，因此实际应用受限。热型红外探测器一般是非制冷型探测器，可以直接在常温下工作，具有成本低、体积小、功耗低、寿命长和响应频谱宽等优点。但目前市场上热型红外探测器结构的填充比低，一般为40％，红外吸收面积小，探测灵敏度有限。
[0003]鉴于此，有必要提供一种新的像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器，以解决或至少缓解上述技术缺陷。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的是提供一种像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器，旨在解决现有技术中像元结构填充比低，红外吸收面积小的技术问题。
[0005]为实现上述目的，根据本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种像元结构，其特征在于，包括衬底、框架、悬臂梁、传感元件、支撑锚和敏感元件，所述框架连接于所述衬底并与所述衬底形成有隔离槽，所述传感元件包括包覆层和设置于所述包覆层内的二极管，所述悬臂梁连接所述包覆层和所述框架以悬空支撑所述包覆层，所述悬臂梁内设置有引线，所述框架内设置有导线，所述引线电连接所述二极管和导线，所述敏感元件通过所述支撑锚连接于所述传感元件背离所述衬底的一侧，所述敏感元件高出所述隔离槽设置。2.根据权利要求1所述的像元结构，其特征在于，所述支撑锚为导热材料制件，以通过所述支撑锚将所述敏感元件吸收的热量传递至所述传感元件。3.根据权利要求1所述的像元结构，其特征在于，所述敏感元件包括依次层叠设置的吸收层、介质层和支撑层，所述支撑层与所述支撑锚连接。4.根据权利要求3所述的像元结构，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张强，陈磊，朱恩成，王栋杰，周汪洋，
申请(专利权)人：青岛歌尔智能传感器有限公司，
类型：发明
国别省市：