下载像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器的技术资料

文档序号:36092368

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本发明提供一种像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器,像元结构包括衬底、框架、悬臂梁、传感元件、支撑锚和敏感元件,框架连接于衬底并与衬底形成有隔离槽,传感元件包括包覆层和设置于包覆层内的二极管,悬臂梁连接包覆层和框架以悬空支撑包覆层,悬臂梁内...
该专利属于青岛歌尔智能传感器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛歌尔智能传感器有限公司授权不得商用。

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