本实用新型专利技术公开了一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱，喷砂箱内设置有上挡板和下挡板；下挡板直径大于等于钽靶材背板的直径；下挡板的下方设有转动支撑组件；转动支撑组件包括下固定板，贯穿下固定板的转动轴；下固定板固定在喷砂箱的内壁上；转动轴与下固定板之间转动连接，且转动轴的下端与驱动机构连接；转动轴的上端设置有截面为矩形的插块一，下挡板下表面的中心部位设置有与插块一配合的凹槽一，下挡块通过该凹槽一插接在插块一上；上挡板与钽靶材的溅射区大小一致，上挡板的上表面设置有凹槽二，凹槽二中插接有插块二，插块二的截面为矩形，且其上连接有固定轴，该固定轴的上端转动连接有压紧组件；喷砂箱内设置有喷砂组件一和喷砂组件二。和喷砂组件二。和喷砂组件二。
【技术实现步骤摘要】
一种钽靶材喷砂装置
[0001]本技术涉及溅射靶材生产设备领域，具体涉及一种钽靶材喷砂装置。
技术介绍
[0002]钽靶材是一种典型的金属靶材，基于钽靶材的抗腐蚀性能和电磁屏蔽性能因此被广泛地应用在PVD中。例如：钽可以用在其他金属表面作为装饰和保护镀层使用，可以通过对钽靶材进行真空溅射的方式产生。
[0003]靶材的溅射面又分为溅射区和非溅射区。一定能量的离子轰击的是靶材的溅射区，非溅射区为能量离子不能够轰击到的区域，或者不需要进行轰击的区域。现有技术往往利用喷砂处理对靶材溅射区边缘的非溅射区进行粗糙化处理并形成喷砂区，不仅可以提高非溅射区粘附性，使粗糙化后的非溅射区能够更好的粘附住沉积到非溅射区的靶材材料，减小其溢出的概率，还可以通过喷砂处理对靶材机加工过程中产生的毛刺、飞边、刀痕等微小突出物进行遮蔽，防止这些微小突出物引起的电弧影响溅射镀膜的质量。
[0004]现有技术中对于圆形的钽靶材进行喷砂处理时，需要首先利用胶带对圆形钽靶材中间的溅射区进行保护，防止喷砂过程中造成靶材报废。改种方法首先需要人工将大于溅射区面积的胶带粘贴在靶材上，然后利用刀盘对多余部分进行剪裁以确定喷砂范围。胶带防护的方法过于繁琐，用量较大，且为一次性用品，成本较高，另外，胶带在喷砂过程中会受到剧烈冲击，后续除去时，会在靶材表面残留胶痕，难以除去，且用刀片剪裁时，极容易留下划痕。
技术实现思路
[0005]为解决上述问题，本技术将采用以下技术方案：
[0006]一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱，所述喷砂箱内设置有上挡板和下挡板；所述下挡板用于放置圆柱形钽靶材，且其直径大于等于钽靶材背板的直径；所述下挡板的下方设有转动支撑组件；所述转动支撑组件包括下固定板，以及贯穿下固定板的转动轴；所述下固定板通过至少一个下支撑杆固定在喷砂箱的内壁上；所述转动轴与所述下固定板之间转动连接，且所述转动轴的下端与驱动机构连接，该驱动机构带动转动轴旋转；所述转动轴的上端设置有截面为矩形的插块一，所述下挡板下表面的中心部位设置有与所述插块一配合的凹槽一，所述下挡块通过该凹槽一插接在所述插块一上；所述上挡板放置在钽靶材上方且与待喷砂的钽靶材的溅射区大小一致，所述上挡板的上表面设置有凹槽二，所述凹槽二中插接有插块二，所述插块二的截面为矩形，且其上连接有固定轴，该固定轴的上端转动连接有可调节高度的压紧组件；所述喷砂箱的顶部设置有用于向钽靶材和背板的上表面喷砂的喷砂组件一；所述喷砂箱的侧壁处设置有用于向钽靶材和背板的侧圆周面喷砂的喷砂组件二。
[0007]进一步地，所述压紧组件包括竖直设置的至少一根螺纹杆，从上往下套装在螺纹杆上的锁紧块和调节块，以及上固定板；所述螺纹杆的上端固定在所述喷砂箱的顶板上，且
下端固定在所述喷砂箱的底板上或所述下支撑杆上；所述调节块与所述螺纹杆之间间隙配合；所述固定轴与所述上固定板之间转动连接，且所述调节块通过水平设置的上支撑杆与所述上固定板之间连接；所述锁紧块与所述螺纹杆之间螺纹连接。
[0008]进一步地，所述驱动机构包括设置在所述喷砂箱内的驱动盒，设置在驱动盒内的相互啮合的主动锥齿轮和从动锥齿轮，以及设置在喷砂箱外的电机；所述转动轴的下端延伸至所述驱动盒内，并与所述驱动盒之间转动连接；所述从动锥齿轮同轴设置在所述转动轴的端部；所述主动锥齿轮的中心轴依次贯穿所述驱动盒和喷砂箱，并与所述电机的输出轴之间连接；所述主动锥齿轮的中心轴分别与所述驱动盒和所述喷砂箱之间转动连接。
[0009]进一步地，所述喷砂组件一包括设置在喷砂箱上部的水平设置的丝杠一和导向杆一，套装在丝杠一和导向杆一上的移动块一，设置在移动块一上的移动板一，以及设置在移动板一上的至少一个喷头一；所述丝杠一与所述喷砂箱之间转动连接，且其一端延伸至所述喷砂箱外；所述移动块一与所述丝杠一之间螺纹连接，且与所述导向杆一之间滑动连接；所述喷头一朝向所述钽靶材和背板上表面的喷砂区设置，且所述喷头一通过软管一与设置在喷砂箱外的供砂装置连通。
[0010]进一步地，所述喷砂组件二包括靠近所述喷砂箱侧壁且竖直设置的丝杠二和导向杆二，套装在丝杠二和导向杆二上的移动块二，设置在移动块二上的移动板二，以及设置在移动板二上的至少一个喷头二；所述丝杠二与所述喷砂箱之间转动连接，且其一端延伸至所述喷砂箱外；所述移动块二与所述丝杠二之间螺纹连接，且与所述导向杆二之间滑动连接；所述喷头二朝向所述钽靶材和背板的侧圆周面设置，且所述喷头二通过软管二与设置在喷砂箱外的供砂装置连通。
[0011]进一步地，所述丝杠一和丝杠二位于所述喷砂箱外的部分上均设置有手轮。
[0012]进一步地，所述驱动盒与所述下固定板之间设置有顶点向上的锥形板，所述锥形板固定在所述转动轴上。
[0013]进一步地，所述喷砂箱的底部成锥状，且其锥顶处设有下料口。
[0014]本技术的有益效果：本技术适用于不同尺寸的圆形靶材，避免了使用胶带粘贴溅射区的方法，本技术利用下挡板对待喷砂的靶材起到承托的作用，又利用上挡板对溅射区进行保护，且上挡板和下挡板均可以方便地拆卸，当更换不同尺寸的靶材时，可以随之更换相应型号的上挡板和下挡板，本技术的上下挡板均可以重复使用，成本大大降低，且操作时，只需要转动锁紧块，既可以方便拿出和更换靶材，操作简便；本技术中的喷头一和喷头二均可以根据靶材的尺寸和厚度来调整位置，因此适应性更强；最后本技术中由于上下挡板的存在，不仅能够保护钽靶材的溅射区，又能对钽靶材进行固定，防止喷砂时，造成钽靶材发生移动。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]附图标记：1、喷砂箱；2、下固定板；3、转动轴；4、驱动盒；5、锥形板；6、从动锥齿轮；7、主动锥齿轮；8、电机；9、插块一；10、上挡板；11、钽靶材；12、螺纹杆；13、调节块；14、锁紧块；15、上支撑杆；16、固定轴；17、上固定板；18、插块二；19、导向杆一；20、丝杠一；21、移动板一；22、喷头一；23、手轮；24、导向杆二；25、丝杠二；26、移动块二；27、移动板二；28、喷头
二；29、下料口；30、下挡板。
具体实施方式
[0017]以下将结合附图和实施例对本技术的技术方案进行进一步地说明，以期本领域技术人员能更清楚地理解该技术方案的内容。
[0018]如附图1所示，本技术的一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱1，所述喷砂箱1的底部成锥状，且其锥顶处设有下料口29。所述喷砂箱的侧壁上铰接有密封门。所述喷砂箱1内设置有上挡板10和下挡板30；所述下挡板30用于放置待喷砂的圆柱形钽靶材11，且其直径大于等于钽靶材11背板的直径；所述下挡板30的下方设有转动支撑组件。
[0019]所述转动支撑组件包括下固定板2，以及贯穿下固定板2的转动轴3；所述下固定板2通过至少一个下支撑杆固定在喷砂箱1的内壁上；所述转动轴3与所述下固定板2之间转动连接，且所述转动轴3的下端与驱动机构本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱（1），其特征在于：所述喷砂箱（1）内设置有上挡板（10）和下挡板（30）；所述下挡板（30）用于放置圆柱形的钽靶材（11），且其直径大于等于钽靶材（11）的背板的直径；所述下挡板（30）的下方设有转动支撑组件；所述转动支撑组件包括下固定板（2），以及贯穿下固定板（2）的转动轴（3）；所述下固定板（2）通过至少一个下支撑杆固定在喷砂箱（1）的内壁上；所述转动轴（3）与所述下固定板（2）之间转动连接，且所述转动轴（3）的下端与驱动机构连接，该驱动机构带动转动轴（3）旋转；所述转动轴（3）的上端设置有截面为矩形的插块一（9），所述下挡板（30）下表面的中心部位设置有与所述插块一（9）配合的凹槽一，所述下挡块通过该凹槽一插接在所述插块一（9）上；所述上挡板（10）放置在钽靶材（11）上方且与钽靶材（11）的溅射区大小一致，所述上挡板（10）的上表面设置有凹槽二，凹槽二中插接有与其配合的插块二（18），所述插块二（18）的截面为矩形，且其上连接有固定轴（16），该固定轴（16）的上端转动连接有可调节高度的压紧组件；所述喷砂箱（1）的顶部设置有用于向钽靶材（11）和背板的上表面喷砂的喷砂组件一；所述喷砂箱（1）的侧壁处设置有用于向钽靶材（11）和背板的侧圆周面喷砂的喷砂组件二。2.如权利要求1所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述压紧组件包括竖直设置的至少一根螺纹杆（12），从上往下套装在螺纹杆（12）上的锁紧块（14）和调节块（13），以及上固定板（17）；所述螺纹杆（12）的上端固定在所述喷砂箱（1）的顶板上，且下端固定在所述喷砂箱（1）的底板上或所述下支撑杆上；所述调节块（13）与所述螺纹杆（12）之间间隙配合；所述固定轴（16）与所述上固定板（17）之间转动连接，且所述调节块（13）通过水平设置的上支撑杆（15）与所述上固定板（17）之间连接；所述锁紧块（14）与所述螺纹杆（12）之间螺纹连接。3.如权利要求1所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述驱动机构包括设置在所述喷砂箱（1）内的驱动盒（4），设置在驱动盒（4）内的相互啮合的主动锥齿轮（7）和从动锥齿轮（6），以及设置在喷砂箱（1）外的电机（8）；所述转动轴（3）的下端延伸至所述驱动盒...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，居炎鹏，李心然，赵泽良，王留土，范振清，史豪杰，郑海强，杨志刚，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。