一种控制箱及分子泵机组制造技术

本实用新型专利技术公开了一种控制箱及分子泵机组，控制箱包括箱本体、温控件、至少一个加热件以及控制件，箱本体具有适于容纳控制件的容纳空腔；加热件设置在容纳空腔内；温控件设置在容纳空腔内；温控件具有根据温控件检测的温度低于预设温度时控制加热件与外接电源电连接的第一状态，以及根据温控件检测的温度高于预设温度时控制加热件与外接电源断开电连接的第二状态。此结构的控制箱，通过温控件检测容纳空腔内的温度参数，进行主动控制调节加热件与外接电源连接与断开，使控制件的使用温度处于预设的温度范围区间内，有效满足控制件的使用温度条件，提高分子泵机组对低温环境的兼容性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种控制箱及分子泵机组


[0001]本技术涉及控制设备
，具体涉及一种控制箱及分子泵机组。

技术介绍

[0002]分子泵是基于动量传递原理，在变频电源驱动电机的带动下高速旋转，在分子流区域内，气体分子与高速转动的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。分子泵属于动量真空泵，是通过使分子定向流动而被排出泵外。分子泵主要在前级泵实现启动压强后才进行抽气，与低真空泵配合进行使用，应用于表面物理和质谱类科研仪器，离子注入和刻蚀等半导体前道工艺装备，ITO、AR、AF和Low
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E等工业过程，空间环境模拟、高能物理、低温超导等领域。
[0003]现有技术中，分子泵机组中分子泵与电控组件电连接在一起，电控组件根据电控信号对分子泵工作状态进行调节。分子泵机组在低温环境下工作时，电控组件容易在输入与输出时发生温度漂移，导致电子器件产生电路参数的误差，工作精度下降，降低分子泵机组工作的可靠性。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于现有技术分子泵机组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控制箱，其特征在于，包括：箱本体(1)，所述箱本体(1)具有适于容纳控制件的容纳空腔；至少一个加热件(2)，设置在所述容纳空腔内，所述加热件(2)适于与外接电源相连以对所述容纳空腔加热；温控件(3)，设置在所述容纳空腔内，适于检测所述容纳空腔内环境温度；所述温控件(3)与所述加热件(2)电连接，所述温控件(3)具有根据检测的温度低于预设温度时控制所述加热件(2)与外接电源电连接的第一状态，以及根据检测的温度高于预设温度时控制所述加热件(2)与外接电源断开电连接的第二状态。2.根据权利要求1所述的控制箱，其特征在于；所述箱本体(1)包括底板(11)、顶板(12)以及设置在所述底板(11)和顶板(12)之间的第一连接板(13)、第二连接板(14)、第三连接板(15)以及盖板：所述底板(11)、顶板(12)、第一连接板(13)、第二连接板(14)、第三连接板(15)以及盖板共同围合形成所述容纳空腔。3.根据权利要求2所述的控制箱，其特征在于：所述盖板与所述第一连接板(13)和第一连接板(15)可拆卸连接；所述底板(11)、顶板(12)、第一连接板(13)、第二连接板(14)以及第三连接板(15)固定连接。4.根据权利要求2所述的控制箱，其特征在于，所述箱本体(1)还包括：安装板面(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永，刘淑婷，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：