一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器制造技术

本发明专利技术提供一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，涉及光学设备技术领域。该适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，包括机架，所述机架顶端固定连接有平台，所述龙门架的前端上侧设置有X轴移动机构，所述X轴移动机构上设置有X轴移动滑板，所述X轴移动滑板的前端另一侧设置有第二Z轴移动机构，所述Y轴移动机构的顶端设置有偏摆移动机构。通过设置X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构和偏摆移动机构实现五轴式位移平台，并利用手指气缸对光学元件进行夹紧，实现全方位的精密检测，配合上二维检测模块和三维检测模块的双重检测，不仅大大提高检测精度，且操作方便，检测效率更高。测效率更高。测效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器


[0001]本专利技术涉及光学设备
，具体为一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，对光学元件表面的质量要求越来越高。其表面缺陷、划痕、碎边等各种疵病的存在将造成不同程度散射，由于散射将大大消耗光能量同时也可能引入严重的衍射而造成光学元件的新的损伤破坏薄膜层，所以往往由于一个或几个较大的疵病而会严重影响整个系统的运行。因此其检测方法不能用检测表面粗糙度的方法采用抽样取平均之类的统计方法，而是必须查找元件有效孔径内的所有可能疵病。
[0003]最基本及常用的是目视法，是指在暗场照明的情况下用肉眼或放大镜观测划痕的宽度和长度来划分疵病的等级，但是人眼的分辨率虽然高，但是对于小零件高曲率半径便面却有局限，检测效率低，而且久视会造成因疲劳，严重损害视力，目前市面上也有特定的机器可以对元件进行检测，但是检查的全面性差，使用起来不方便，也难以满足高精度的检查需求。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，解决了检查的全面性差，使用起来不方便和精度不高的问题。
[0005]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，包括机架，所述机架顶端固定连接有平台，所述平台顶端后侧固定连接有龙门架，所述龙门架的前端上侧设置有X轴移动机构，所述X轴移动机构上设置有X轴移动滑板，所述X轴移动滑板的前端一侧设置有第一Z轴移动机构，所述X轴移动滑板的前端另一侧设置有第二Z轴移动机构，所述第一Z轴移动机构的前端设置有二维检测模块，所述第二Z轴移动机构的前端设置有三维检测模块，所述机架顶端中部设置有Y轴移动机构，所述Y轴移动机构的顶端设置有偏摆移动机构。
[0006]所述第二支撑座的上表面凹槽内通过转轴连接有工作台且转轴的一端贯穿第二支撑座的一端并固定连接有第二电机，所述工作台的顶端两侧均固定连接有手指气缸。
[0007]优选的，所述机架的内部固定连接有阻尼隔振台，所述机架的内部一侧固定连接有电控柜，所述机架的底端四角均固定连接有脚垫。
[0008]优选的，所述第二Z轴移动机构还包括定位板和移动板，所述定位板固定连接在X轴移动滑板前端顶部的一侧，所述移动板滑动连接在X轴移动滑板的表面。
[0009]优选的，所述定位板内部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的中部螺纹连接在移动板的内部，所述螺纹杆的顶端贯穿定位板的内部并固定连接有调节旋钮，所述定位板的底端两侧均通过限位杆贯穿移动板的内部并延伸至移动板的下方。
[0010]优选的，所述Y轴移动机构包括壳体和静音拖链，所述壳体底端固定连接在平台的
上表面中部，所述静音拖链底端一侧固定连接在平台的上表面靠近壳体的一侧，所述壳体的内部固定连接有若干个定子，所述壳体的内部两侧均固定连接有导轨，所述导轨的表面均滑动连接有滑块。
[0011]优选的，所述滑块的内侧端分别固定连接在动子的两端，所述动子上表面固定连接有动子座，所述动子座的一端与静音拖链的一端固定相连，所述静音拖链的顶端一侧固定连接有拖链固定板。
[0012]优选的，所述导轨的顶端两侧均固定连接有防撞器，所述壳体的一端固定连接有传感器组件，所述传感器组件包括两个极限传感器和一个原点传感器，所述壳体的两端均固定连接有防护罩，所述壳体的上部固定连接有顶盖。
[0013]优选的，所述偏摆移动机构包括第一支撑座，所述第一支撑座固定连接在拖链固定板的顶端一侧，所述第一支撑座的上表面的凹槽内通过转轴连接有第二支撑座且转轴的一端贯穿第一支撑座的一端并固定连接有第一电机。
[0014]工作原理：通过将光学元件放置在工作台上，利用手指气缸进行夹紧，随后通过Y轴移动机构控制其前后位置，通过第一电机带动第二支撑座转动，调整元件的X轴偏摆角度，通过第二电机带动工作台转动，调整Y轴偏摆角度，随后通过X轴运动机构控制二维检测模块和三维检测模块上摄像头的X轴运动方向，通过第一Z轴移动机构控制二维检测模块的上下运动，通过手动调节旋钮带动螺纹杆转动，在限位杆的作用下，带动移动板上的三维检测模块上下运动，实现对光学元件的全方位精密检测。
[0015]本专利技术提供了一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器。具备以下有益效果：
[0016]本专利技术通过设置X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构和偏摆移动机构实现五轴式位移平台，并利用手指气缸对光学元件进行夹紧，实现全方位的精密检测，配合上二维检测模块和三维检测模块的双重检测，不仅大大提高检测精度，且操作方便，检测效率更高。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的立体示意图；
[0018]图2为本专利技术中Y轴移动机构的爆炸示意图；
[0019]图3为本专利技术中偏摆移动机构的爆炸示意图；
[0020]图4为图1中A处放大图。
[0021]其中，1、机架；2、平台；3、龙门架；4、X轴移动机构；5、X轴移动滑板；6、第一Z轴移动机构；7、第二Z轴移动机构；701、定位板；702、螺纹杆；703、调节旋钮；704、移动板；705、限位杆；8、二维检测模块；9、三维检测模块；10、Y轴移动机构；1001、壳体；1002、定子；1003、导轨；1004、滑块；1005、防撞器；1006、动子；1007、动子座；1008、传感器组件；1009、静音拖链；1010、拖链固定板；1011、防护罩；1012、顶盖；11、偏摆移动机构；1101、第一支撑座；1102、第二支撑座；1103、第一电机；1104、工作台；1105、第二电机；1106、手指气缸；12、阻尼隔振台；13、电控柜；14、脚垫。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]实施例：
[0024]如图1
‑
4所示，本专利技术实施例提供一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，包括机架1，机架1顶端固定连接有平台2，平台2顶端后侧固定连接有龙门架3，连接固定作用，龙门架3的前端上侧设置有X轴移动机构4，用于控制二维检测模块8和三维检测模块9的X轴方向一端，X轴移动机构4上设置有X轴移动滑板5，X轴移动滑板5的前端一侧设置有第一Z轴移动机构6，用于控制二维检测模块8的Z轴上下移动，X轴移动滑板5的前端另一侧设置有第二Z轴移动机构7，手动控制结构，用于控制三维检测模块的Z轴上下移动，第一Z轴移动机构6的前端设置有二维检测模块8，具体包括高精度二维检测摄像头、图像传感器和防干扰镜片，第二Z轴移动机构7的前端设置有三维检测模块9，具体包括高精度三维检测摄像头、图像传感器和防干扰本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)顶端固定连接有平台(2)，所述平台(2)顶端后侧固定连接有龙门架(3)，所述龙门架(3)的前端上侧设置有X轴移动机构(4)，所述X轴移动机构(4)上设置有X轴移动滑板(5)，所述X轴移动滑板(5)的前端一侧设置有第一Z轴移动机构(6)，所述X轴移动滑板(5)的前端另一侧设置有第二Z轴移动机构(7)，所述第一Z轴移动机构(6)的前端设置有二维检测模块(8)，所述第二Z轴移动机构(7)的前端设置有三维检测模块(9)，所述机架(1)顶端中部设置有Y轴移动机构(10)，所述Y轴移动机构(10)的顶端设置有偏摆移动机构(11)。2.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，其特征在于：所述机架(1)的内部固定连接有阻尼隔振台(12)，所述机架(1)的内部一侧固定连接有电控柜(13)，所述机架(1)的底端四角均固定连接有脚垫(14)。3.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，其特征在于：所述第二Z轴移动机构(7)还包括定位板(701)和移动板(704)，所述定位板(701)固定连接在X轴移动滑板(5)前端顶部的一侧，所述移动板(704)滑动连接在X轴移动滑板(5)的表面。4.根据权利要求3所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，其特征在于：所述定位板(701)内部转动连接有螺纹杆(702)，所述螺纹杆(702)的中部螺纹连接在移动板(704)的内部，所述螺纹杆(702)的顶端贯穿定位板(701)的内部并固定连接有调节旋钮(703)，所述定位板(701)的底端两侧均通过限位杆(705)贯穿移动板(704)的内部并延伸至移动板(704)的下方。5.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器，其特征在于：所述Y轴移动机构(10)包括壳体(1001)和静音拖链(1009)，所述壳体(1001)底端固定连接在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭川，顾元元，樊荣伟，
申请(专利权)人：成都贝瑞光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：