显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示装置，在显示装置中实现稳定的显示动作。一种显示装置，具有：第一晶体管，具备氧化物半导体层、与所述氧化物半导体层对置的第一栅极电极、及所述氧化物半导体层和所述第一栅极电极之间的第一栅极绝缘层；第一透明导电层，设于所述第一晶体管的上方；第二透明导电层，设于所述第一透明导电层的上方，与所述第一透明导电层绝缘，与所述第一透明导电层对置；以及第三透明导电层，设于所述第二透明导电层的上方，与所述第二透明导电层绝缘，连接于所述第一透明导电层，与所述第二透明导电层对置。透明导电层对置。透明导电层对置。

【技术实现步骤摘要】
显示装置


[0001]本专利技术的实施方式之一涉及显示装置。特别是，本专利技术的实施方式之一涉及使用具有氧化物半导体的晶体管的显示装置。

技术介绍

[0002]最近，正在开发将氧化物半导体代替非晶硅、低温多晶硅及单晶硅用于通道的晶体管(例如，专利文献1、2)。将氧化物半导体用于通道的晶体管与将非晶硅用于通道的晶体管相同，通过简单的结构及低温工艺形成。已知将氧化物半导体用于通道的晶体管具有比将非晶硅用于通道的晶体管更高的迁移性，而且关态电流非常低。
[0003]近年来，为了进一步提高显示装置的分辨率，不断缩小像素尺寸。随着像素尺寸的缩小，探讨了缩小布线宽度及晶体管尺寸。但是，它们的缩小有限，且构成像素电路的金属层及半导体层的配置导致开口率变小。因而，正在进行开发将在通道中使用即使晶体管尺寸小也能够获得足以驱动像素电路的特性的氧化物半导体层的晶体管用于像素电路的晶体管。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2014
‑
146819号公报
[0007]专利文献2：日本特开2015
‑
159315号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的技术问题
[0009]随着像素尺寸的缩小，配置像素电路中使用的电容元件的区域受限。因此，存在难以形成大小足以驱动像素电路的电容元件的问题。在其影响下，存在像素电路中的电荷的保持特性降低，显示装置的显示动作变得不稳定的问题。
[0010]本专利技术的实施方式之一的一个课题在于实现显示装置中稳定的显示动作。
[0011]用于解决技术问题的技术方案
[0012]本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置具有：第一晶体管，具备氧化物半导体层、与所述氧化物半导体层对置的第一栅极电极、及所述氧化物半导体层和所述第一栅极电极之间的第一栅极绝缘层；第一透明导电层，设于所述第一晶体管的上方；第二透明导电层，设于所述第一透明导电层的上方，与所述第一透明导电层绝缘，与所述第一透明导电层对置；以及第三透明导电层，设于所述第二透明导电层的上方，与所述第二透明导电层绝缘，连接于所述第一透明导电层，与所述第二透明导电层对置。
[0013]本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置具有：第一晶体管，具备氧化物半导体层、与所述氧化物半导体层对置的第一栅极电极、及所述氧化物半导体层和所述第一栅极电极之间的第一栅极绝缘层；第一透明导电层，设于所述第一晶体管的上方；第二透明导电层，设于所述第一透明导电层的上方，与所述第一透明导电层绝缘，在像素的透光区域中与
所述第一透明导电层重叠；以及第三透明导电层，设于所述第二透明导电层的上方，与所述第二透明导电层绝缘，连接于所述第一透明导电层，在所述透光区域中与所述第二透明导电层重叠。
附图说明
[0014]图1是示出本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置的概要的剖面图。
[0015]图2是示出本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置的概要的俯视图。
[0016]图3是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0017]图4是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0018]图5是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0019]图6是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0020]图7是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0021]图8是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0022]图9是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0023]图10是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0024]图11是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0025]图12是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0026]图13是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0027]图14是对本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置中的各层的布局进行说明的俯视图。
[0028]图15是示出本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置的概要的俯视图。
[0029]图16是示出本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置的电路构成的框图。
[0030]图17是示出本专利技术的一种实施方式所涉及的显示装置的像素电路的电路图。
具体实施方式
[0031]下面，参考附图对本专利技术的各实施方式进行说明。下面的公开仅为示例。本领域技术人员在保持专利技术的主旨的同时通过适当变更实施方式的构成而容易想到的构成当然也包含在本专利技术的范围内。附图中，为了更明确说明，与实际方案相比，可能仅示意性示出各
部分的宽度、厚度、形状等。但是，图示的形状仅为示例，并不限定本专利技术的解释。在本说明书及各个图中，作为与已提及的图中所述的前述构成相同的构成，在相同符号的后面带有阿拉伯字母，可能适当省略详细说明。
[0032]在本专利技术的各实施方式中，将从基板面向氧化物半导体层的方向称为上或上方。相反地，将从氧化物半导体层面向基板的方向称为下或下方。如此一来，为了方便说明，虽然使用上方或下方这些表达进行说明，但例如基板和氧化物半导体层的上下关系也可以配置为与图示不同的朝向。在下面的说明中，如上所述，例如基板上的氧化物半导体层这一表述仅说明了基板和氧化物半导体层的上下关系，也可以在基板和氧化物半导体层之间配置其它部件。上方或下方表示多个层层叠而成的结构中的层叠顺序，在表述为晶体管的上方的像素电极的情况下，也可以为在俯视观察时晶体管与像素电极不重叠的位置关系。另一方面，在表述为晶体管的铅直上方的像素电极的情况下，表示在俯视观察时晶体管和像素电极重合的位置关系。
[0033]“显示装置”是指使用光电层来显示影像的结构体。例如，显示装置这一术语有时也指包括光电层的显示面板、或在显示单元上安装其它光学部件(例如，偏光部件、背光、触控面板等)而成的结构体。只要不会导致技术冲突，则“光电层”可以包括液晶层、电致发光(EL)层、电致变色(EC)层、电泳层。因此，在后述的实施方式中，作为显示装置，示例包括液晶层的液晶显示装置进行说明，但本实施方式中的结构也可以应用于包括上述的其它光电层的显示装置。
[0034]在本说明书中，只要没有明确指明，“α包括A、B或C”、“α包括A、B及C中的任意一者”、“α包括选自由A、B及C构成的组中的一个”的表述并不排除α包括A～C的多个组合的情况。并且，这些表述也不排除α包括其它要素的情况。
[0035]需要说明的是，只要不会导致技术冲突，下面的各实施方式能够彼此组合。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置，具有：第一晶体管，具备氧化物半导体层、与所述氧化物半导体层对置的第一栅极电极、及所述氧化物半导体层和所述第一栅极电极之间的第一栅极绝缘层；第一透明导电层，设于所述第一晶体管的上方；第二透明导电层，设于所述第一透明导电层的上方，与所述第一透明导电层绝缘，与所述第一透明导电层对置；以及第三透明导电层，设于所述第二透明导电层的上方，与所述第二透明导电层绝缘，连接于所述第一透明导电层，与所述第二透明导电层对置。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一透明导电层连接于所述第一晶体管。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第二透明导电层以多个像素公用的方式而设置。4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述显示装置进一步具有：第四透明导电层，在俯视观察时，所述第四透明导电层具备：第一部分，与所述第一栅极电极及所述氧化物半导体层重叠；以及第二部分，在与所述第一栅极电极不重叠的第一触点区域中与所述氧化物半导体层相接，在俯视观察时，所述第一透明导电层在与所述第一栅极电极重叠的第二触点区域中与所述第四透明导电层相接。5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示装置，其中，所述显示装置进一步具有：遮光层，设为在所述第一晶体管的上方限定出多个像素各自的区域，在俯视观察时，在与所述遮光层不重叠的区域中，所述第一透明导电层与所述第二透明导电层重叠，所述第二透明导电层与所述第三透明导电层重叠。6.根据权利要求5所述的显示装置，其中，在俯视观察时，所述第三透明导电层在与所述遮光层不重叠的第三触点区域中与所述第一透明导电层相接。7.根据权利要求1至4中任一项所述的显示装置，其中，所述显示装置进一步具有：所述第一透明导电层和所述第二透明导电层之间的第一电介质；以及所述第二透明导电层和所述第三透明导电层之间的第二电介质。8.一种显示装置，具有：第一晶体管，具备氧化物半导体层、与所述氧化物半导体层对置的第一栅极电极、及所述氧化物半导体层和所述第一栅极电极之间的第一栅极绝缘层；第一透明导电层，设于所述第一晶体管的上方；第二透明导电层，设于所述第一透明导电层的上方，与所述第一透明导电层绝缘，在像素的透光区域中与所述第一透明导电层重叠；以及第三透明导电层，设于所述第二透...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾关芳孝，小出元，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：