【技术实现步骤摘要】
电注入装置、电注入腔室及电注入设备
[0001]本技术涉及太阳能光伏电池
，具体地，涉及一种电注入装置、电注入腔室及电注入设备。
技术介绍
[0002]随着太阳能产业的不断发展，人们对太阳能电池的效率和抗光衰能力越发重视。目前，在太阳能电池制备工艺中，电注入工艺可以显著提高电池片的电池效率和抗光衰能力，电注入工艺是采用电注入设备在工艺要求的温度范围内，对电池片持续通入工艺要求的电流，以达到钝化效果的一种工艺。
[0003]在电注入工艺中，对于工艺温度的调控是整个工艺的核心之一，
[0004]但是，在现有的电注入设备中，对于工艺温度调控的技术并不成熟，
[0005]在实际应用中，往往会出现因工艺温度偏低，而导致电池片的电池效率和抗光衰能力的提效偏低或无增益的情况，或者出现因温度偏高，破坏电池的电极间的接触，而导致电池片不良的情况。
技术实现思路
[0006]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电注入装置、电注入腔室及电注入设备，其能够对电注入工艺的工艺温度进行监控...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电注入装置，用于对叠置的多个电池片进行电注入工艺，所述电注入装置包括第一电注入部件和第二电注入部件，所述第一电注入部件用于从所述多个电池片中位于一侧的所述电池片对所述多个电池片进行加热，并向所述多个电池片通入电流，所述第二电注入部件用于从所述多个电池片中位于另一侧的所述电池片对所述多个电池片进行加热，并将所述电流导出，其特征在于，所述第一电注入部件和/或所述第二电注入部件中设置有第一测温件，所述电注入装置还包括监控部件，所述第一测温件用于从所述多个电池片的一侧和/或另一侧对所述多个电池片的实时温度进行监测，得到第一实时温度，所述监控部件与所述第一测温件电连接，并与所述第一电注入部件和/或所述第二电注入部件电连接，用于获取所述第一实时温度，并根据所述第一实时温度对所述第一电注入部件和/或所述第二电注入部件的加热功率进行调控。2.根据权利要求1所述的电注入装置，其特征在于，所述第一电注入部件包括第一板体和第一加热件，所述第一板体用于与所述多个电池片中位于一侧的所述电池片接触，所述第一加热件设置在所述第一板体中，用于对所述多个电池片进行加热；所述第二电注入部件包括第二板体和第二加热件，所述第二板体用于与所述多个电池片中位于另一侧的所述电池片接触，所述第二加热件设置在所述第二板体中，用于对所述多个电池片进行加热；所述监控部件与所述第一加热件和/或所述第二加热件电连接，用于根据所述第一实时温度对所述第一加热件和/或所述第二加热件的加热功率进行调控。3.根据权利要求2所述的电注入装置，其特征在于，所述第一板体和/或所述第二板体中设置有所述第一测温件，且所述第一测温件从所述第一板体和/或所述第二板体的朝向所述多个电池片的一面露出，用于在所述第一板体和/或所述第二板体与所述电池片接触时，与所述多个电池片中位于一侧和/或另一侧的所述电池片接触，从所述多个电池片的一侧和/或另一侧对所述多个电池片的实时温度进行监测，得到所述第一实时温度。4.根据权利要求3所述的电注入装置，其特征在于，所述第一板体和/或所述第二板体中设置有多个所述第一测温件，所述多个第一测温件在所述第一板体和/或所述第二板体的朝向所述多个电池片的一面均匀间隔分布。5.根据权利要求2
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4任意一项所述的电注入装置，其特征在于，所述第一电注入部件还包括第一电极，所述第一电极设置在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹杨，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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