光学传感器和几何测量设备制造技术

本发明专利技术提供光学传感器和几何测量设备。[问题]抑制在通过向待测对象辐射线形光来测量待测对象时的测量误差。[解决方案]一种光学传感器(10)，包括：辐射部(20)，其利用线形光来照射待测对象；以及摄像部(40)，其接收由待测对象反射的线形光，并且在预定曝光时间内拍摄待测对象的图像。辐射部(20)包括生成线形光的柱面透镜(26)、以及在曝光时间期间在长度方向上振动由柱面透镜(26)生成的线形光的同时利用线形光来照射待测对象的光振动部(50)。用线形光来照射待测对象的光振动部(50)。用线形光来照射待测对象的光振动部(50)。

【技术实现步骤摘要】
光学传感器和几何测量设备


[0001]本专利技术涉及光学传感器和几何测量设备。

技术介绍

[0002]在几何测量设备中，非接触型光学传感器用于使用基于三角测量原理的光截面法来测量待测对象的横截面形状。光学传感器利用线形光来照射待测对象，并且基于从待测对象的表面反射的光来拍摄待测对象的图像(参见下面的专利文献1)。
[0003]现有技术
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利5869281

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在光学传感器中，直线的线形光(line shaped light)被辐射到待测对象，但是由于光学传感器等中所包括的透镜组件引起的误差，线形光在待测对象表面上的分布可能是波状的而不是直线的。在这种情况下，摄像部拍摄波状的图像，导致待测对象的几何形状的测量误差。
[0008]本公开聚焦于这一点，并且本公开的目的是抑制在通过向待测对象辐射线形光来测量待测对象时的测量误差。
[0009]用于解决问题的方案/>[0010]本公本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学传感器，包括：辐射部，用于利用线形光来照射待测对象；以及摄像部，用于接收所述待测对象所反射的线形光并且在预定的曝光时间内拍摄所述待测对象的图像，其中，所述辐射部包括：光生成部，用于生成所述线形光，以及光振动部，用于在所述曝光时间期间，使所述光生成部所生成的线形光在长度方向上振动的同时，利用所述线形光照射所述待测对象。2.根据权利要求1所述的光学传感器，其中，所述光振动部在所述曝光时间期间，在使所述线形光在所述长度方向上进行至少一个往复运动的同时，利用所述线形光照射所述待测对象。3.根据权利要求1所述的光学传感器，其中，所述摄像部拍摄表示所述待测对象在光截面上的横截面形状的光分布的图像，以及所述光振动部对所述线形光在所述光截面的法线方向上的波动进行平均化。4.根据权利要求1所述的光学传感器，其中，所述光振动部在使在所述长度方向上具有预定的周期的线形光振动以使得该线形光(L)偏移了周期的1/2或更多的同时，利用该线形光来照射所述待测对象。5.根据权利要求1所述的光学传感器，其中，所述光振动部包括用于绕与所述长度方向正交的轴摇动的摇动镜，并且通过摇动所述摇动镜来使所述线形光在所述长度方向上振动。6.根据权利要求5所述的光学传感器，其中，所述摇动镜在所述曝光时间期间在预定角度范围内摇动至少一次。7.根据权利要求1所述的光学传感器，其中，所述辐射部还包括用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：小野林季，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：