光刻机光纤座标显像系统技术方案

光刻机光纤座标显像系统。本发明专利技术是将4万根光纤线，整齐的排列组合在一个约10厘米的方框面积内，使之形成一个由众多小点组合而成的座标面积基础，从而为下一步光显像的工作打下基础。光纤的另一端，每一根光纤线都接入暗室(或暗管中)，当端部的紫色激光源闪光的时候，这根光纤就可以运送紫色激光了。本发明专利技术通过电脑控制终端的每一根激光光源的开和关，从而使前端的光纤组阵基座出现我们需要的光的图案。前端的光纤组阵基座出现我们需要的光的图案。前端的光纤组阵基座出现我们需要的光的图案。

【技术实现步骤摘要】
光刻机光纤座标显像系统
[0001]本专利技术是一种光纤座标显像系统的制作方法。
[0002]现在我们国家在光刻机显像系统方面还是一片空白，没有可参考的数据。
[0003]本专利技术附图1是光纤座标系统结构主视图。
[0004]本专利技术是将4万根光纤线，整齐的排列组合在一个约10厘米的方框面积内，使之形成一个由众多小点组合而成的座标面积基础，从而为下一步光显像的工作打下基础。光纤的另一端，每一根光纤线都接入暗室(或暗管中)，当端部的紫色激光源闪光的时候，这根光纤就可以运送紫色激光了。本专利技术通过电脑控制终端的每一根激光光源的开和关，从而使前端的光纤组阵基座出现我们需要的光的图案。然后通过多个聚光透镜将庞大的光线图案缩小到我们需要的大小，最后照射在芯片光盘的光刻胶上显像。
[0005]在光刻胶上显像的电子图像表面将形成可聚热的表面图像，只需通过微波的加热，有图像部位便可凹下去，从而为后期工作打下基础。
[0006]本专利技术说明书附图1是光纤座标系统主视图，图中数字符号
①
表示光纤组阵成像基座，数字符号
②
表示光纤，光纤的外表当有颜色区分，每一排一个颜色，每一根都必须要编号码，不然无法安装。光纤是每2000根一排，高也是2000根约组合成10厘米的正方形，所处理的光盘座标也就1毫米的图像。图中数字符号
③
表示，光纤快插接头。图中数字符号
④
表示暗室(或暗管)，数字符号
⑤
表示紫色激光源，数字符号
⑥
表示聚光透镜，数字符号
⑦
表示芯片光盘，数字符号
⑧
表示聚焦紫色激光束。
[0007]本专利技术工作原理是：数字符号
⑤
紫色激光灯亮，通过光纤
②
将紫色激光引导至数字符号
①
光纤组阵成像基座成像，最后通过数字符号
⑥
聚光透镜将约4万根左右紫色激光组合图像缩小到1毫米左右，完成1毫米平方内的图像显像制作。
[0008]通过紫色激光照射的图像和没有被直接照射的光刻胶表面吸热能力差就很大了，因此在微波等加热方法下，就会形成我们需要的凹槽图像，从而实现光刻机的第一个成像的制作。
[0009]本专利技术仅是一种创新思路，倒推过来也只有这样的创新才能实现识别图像，完成制作。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光纤座标显像系统，通过设计一个光纤组阵基座，将上万根的光纤，整齐的排行在光纤座内固定，使每一根光纤的光源代表一个座标点的方法。形成一个方形整体的垂直平行的光线座标面积。运用这个面积的光源来处理图像、图形变化的光纤光源组阵座标方法。2.通过每一根光纤，将紫色激光光源引导进入光纤组阵基座，形成激光光源列...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊，
申请(专利权)人：刘俊，
类型：发明
国别省市：