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光刻机光纤座标显像系统。本发明是将4万根光纤线，整齐的排列组合在一个约10厘米的方框面积内，使之形成一个由众多小点组合而成的座标面积基础，从而为下一步光显像的工作打下基础。光纤的另一端，每一根光纤线都接入暗室(或暗管中)，当端部的紫色激光源...
该专利属于刘俊所有，仅供学习研究参考，未经过刘俊授权不得商用。

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