一种大尺寸基板烧结用坩埚制造技术

本实用新型专利技术提供一种大尺寸基板烧结用坩埚，涉及氮化硼坩埚应用领域。该大尺寸基板烧结用坩埚，包括氮化硼坩埚底板和氮化硼坩埚顶盖，所述氮化硼坩埚底板顶部两侧和氮化硼坩埚顶盖底部两侧均开设有第二安装槽，所述氮化硼坩埚底板顶部前后侧和氮化硼坩埚顶盖底部前后侧均开设有第一安装槽。该大尺寸基板烧结用坩埚，侧板通过开设的卡槽与连接板开设的安装卡槽配合，对侧板和连接板进行安装连接，使侧板和连接板连接处与其余地方厚度相同，使通过侧板和连接板组成的氮化硅坩埚配件的整体应力分布大致均匀，避免因为氮化硅坩埚整体应力分布的区域差较大的原因，造成的氮化硅坩埚破裂。裂。裂。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸基板烧结用坩埚


[0001]本技术涉及一种坩埚，具体为一种大尺寸基板烧结用坩埚，属于氮化硼坩埚应用


技术介绍

[0002]氮化物陶瓷基板是市场上常用的一种基板材料，有着各种生产方法，其中氮化硼坩埚是应用于氮化物陶瓷基板生产的一种坩埚。氮化硼坩埚具有耐高温、润滑性好、耐腐蚀、导热性好、透气性等优点。
[0003]目前氮化物陶瓷基板生产用的氮化硅坩埚，其结构设计一般为一体式框体配合底板装配，框体是利用大直径的氮化硼块从中心加工，整体成型，去掉中间和外围的边角料。整体成型的氮化硼框在作为氮化硅坩埚装配材料使用时，在四个角处的厚度远大于边框的厚度，相比之下存在较大的应力，并且浪费原料，导致坩埚的寿命大大下降，造成经济损失。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种大尺寸基板烧结用坩埚，以解决现有技术中整体成型的氮化硼框在作为氮化硅坩埚装配材料使用时，在四个角处的厚度远大于边框的厚度，相比之下存在较大的应力，导致坩埚的寿命大大下降，造成经济损失的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种大尺寸基板烧结用坩埚，包括氮化硼坩埚底板和氮化硼坩埚顶盖，所述氮化硼坩埚底板顶部两侧和氮化硼坩埚顶盖底部两侧均开设有第二安装槽，所述氮化硼坩埚底板顶部前后侧和氮化硼坩埚顶盖底部前后侧均开设有第一安装槽，所述氮化硼坩埚底板设置的两个第二安装槽内部均设置有侧板，所述氮化硼坩埚底板设置的两个第一安装槽内部均设置有连接板，两个所述侧板和两个连接板底部两侧均开设有方形槽，所述方形槽内部设置有安装板，多个所述安装板底部固定连接有活动板，所述活动板与氮化硼坩埚底板之间设置有多个弹簧。
[0008]优选地，两个所述连接板顶部两侧均开设有安装卡槽，两个所述侧板两端分别延伸到安装卡槽内部，所述侧板和连接板均为氮化硼材料制成。
[0009]优选地，两个所述侧板顶部两侧均开设有卡槽，所述卡槽与安装卡槽相适配，侧板通过开设的卡槽与连接板开设的安装卡槽配合，对侧板和连接板进行安装连接，使侧板和连接板连接处与其余地方厚度相同。
[0010]优选地，所述氮化硼坩埚底板底部开设有多个通槽，多个所述安装板底部分别贯穿多个通槽并与氮化硼坩埚底板相接触。
[0011]优选地，所述活动板顶部两侧均开设有多个收纳槽，多个所述弹簧分别设置于多个收纳槽内部，所述弹簧两端分别与活动板和氮化硼坩埚底板固定连接，氮化硼坩埚底板
被抬起时，通过弹簧安装的活动板与氮化硼坩埚底板之间出现缝隙间隔。
[0012]优选地，所述活动板顶部开设有支撑块限位槽，将与支撑块限位槽配合的支撑块安装到氮化硼坩埚底板与活动板之间，使支撑块被支撑块限位槽限位，使氮化硼坩埚底板的与地面的高度被改变，保证氮化硼坩埚底板、侧板、连接板和氮化硼坩埚顶盖组成的氮化硅坩埚使用的方便，所述氮化硼坩埚底板底部开设有凹槽，所述活动板设置于凹槽内部并与氮化硼坩埚底板相接触。
[0013]优选地，两个所述侧板一侧均固定连接有竖向红色板，两个所述连接板一侧均固定连接有横向绿色板，工作人员可以根据竖向红色板和横向绿色板的指示，快速地分辨出侧板和连接板，保证侧板和连接板使用安装的快速方便。
[0014]本技术提供了一种大尺寸基板烧结用坩埚，其具备的有益效果如下：
[0015]1、该大尺寸基板烧结用坩埚，侧板通过开设的卡槽与连接板开设的安装卡槽配合，对侧板和连接板进行安装连接，使侧板和连接板连接处与其余地方厚度相同，避免烧结基板时出现不必要的经济损失，使通过侧板和连接板组成的氮化硅坩埚配件的整体应力分布大致均匀，避免因为氮化硅坩埚整体应力分布的区域差较大的原因，造成的氮化硅坩埚破裂，保证氮化硼坩埚底板、侧板、连接板和氮化硼坩埚顶盖组成的氮化硅坩埚使用寿命，提高氮化硼坩埚底板、侧板、连接板和氮化硼坩埚顶盖组成的氮化硅坩埚加工基板的经济效益。
[0016]2、该大尺寸基板烧结用坩埚，两个侧板和两个连接板通过开设的多个方形槽套设到多个安装板外侧，并且多个安装板底部与活动板固定连接，因此设置于凹槽内部的活动板对侧板和连接板进行限位，保证氮化硼坩埚底板、侧板、氮化硼坩埚顶盖安装的稳定，提高氮化硼坩埚底板、侧板、连接板和氮化硼坩埚顶盖组成的氮化硅坩埚工作的稳定性。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术氮化硼坩埚顶盖的结构示意图；
[0019]图3为本技术氮化硼坩埚底板的结构示意图；
[0020]图4为本技术活动板的结构示意图；
[0021]图5为本技术氮化硼坩埚底板与活动板的结构示意图；
[0022]图6为本技术侧板的结构示意图；
[0023]图7为本技术连接板的结构示意图。
[0024]图中：1、氮化硼坩埚底板；2、侧板；3、连接板；4、氮化硼坩埚顶盖；5、第一安装槽；6、第二安装槽；7、安装板；8、通槽；9、活动板；10、收纳槽；11、弹簧；12、支撑块限位槽；13、凹槽；14、卡槽；15、安装卡槽；16、方形槽；17、竖向红色板；18、横向绿色板。
具体实施方式
[0025]本技术实施例提供一种大尺寸基板烧结用坩埚。
[0026]请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7，包括氮化硼坩埚底板1和氮化硼坩埚顶盖4，氮化硼坩埚底板1顶部两侧和氮化硼坩埚顶盖4底部两侧均开设有第二安装槽6，氮化硼坩埚底板1顶部前后侧和氮化硼坩埚顶盖4底部前后侧均开设有第一安装槽5，氮化硼坩
埚底板1设置的两个第二安装槽6内部均设置有侧板2，氮化硼坩埚底板1设置的两个第一安装槽5内部均设置有连接板3，两个连接板3顶部两侧均开设有安装卡槽15，两个侧板2两端分别延伸到安装卡槽15内部，侧板2和连接板3均为氮化硼材料制成，两个侧板2顶部两侧均开设有卡槽14，卡槽14与安装卡槽15相适配，两个侧板2和两个连接板3底部两侧均开设有方形槽16，方形槽16内部设置有安装板7，多个安装板7底部固定连接有活动板9，两个侧板2一侧均固定连接有竖向红色板17，两个连接板3一侧均固定连接有横向绿色板18，活动板9顶部两侧均开设有多个收纳槽10，多个弹簧11分别设置于多个收纳槽10内部，弹簧11两端分别与活动板9和氮化硼坩埚底板1固定连接，活动板9顶部开设有支撑块限位槽12，氮化硼坩埚底板1底部开设有凹槽13，活动板9设置于凹槽13内部并与氮化硼坩埚底板1相接触，活动板9与氮化硼坩埚底板1之间设置有多个弹簧11，氮化硼坩埚底板1底部开设有多个通槽8，多个安装板7底部分别贯穿多个通槽8并与氮化硼坩埚底板1相接触。
[0027]具体的，(整体成型的氮化硼框在作为氮化硅坩埚装配材料使用时，在四个角处的厚度远大于边框的厚度，相比之下存在较大的应力，出现整体应力分布的区域差较大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸基板烧结用坩埚，包括氮化硼坩埚底板(1)和氮化硼坩埚顶盖(4)，其特征在于：所述氮化硼坩埚底板(1)顶部两侧和氮化硼坩埚顶盖(4)底部两侧均开设有第二安装槽(6)，所述氮化硼坩埚底板(1)顶部前后侧和氮化硼坩埚顶盖(4)底部前后侧均开设有第一安装槽(5)，所述氮化硼坩埚底板(1)设置的两个第二安装槽(6)内部均设置有侧板(2)，所述氮化硼坩埚底板(1)设置的两个第一安装槽(5)内部均设置有连接板(3)，两个所述侧板(2)和两个连接板(3)底部两侧均开设有方形槽(16)，所述方形槽(16)内部设置有安装板(7)，多个所述安装板(7)底部固定连接有活动板(9)，所述活动板(9)与氮化硼坩埚底板(1)之间设置有多个弹簧(11)。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸基板烧结用坩埚，其特征在于：两个所述连接板(3)顶部两侧均开设有安装卡槽(15)，两个所述侧板(2)两端分别延伸到安装卡槽(15)内部，所述侧板(2)和连接板(3)均为氮化硼材料制成。3.根据权利要求2所述的一种大尺寸基板烧结用坩埚，其特征在于：两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：何竟宇，贺贤汉，葛荘，王斌，丁闯，崔梦德，
申请(专利权)人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：