本实用新型专利技术公开了一种平面靶材烧结用布粉装置，旨在方便铺设氧化物粉末层并使其平整，其技术方案：一种平面靶材烧结用布粉装置，包括储粉箱、设置在外设承烧板上的滑动机构，所述储粉箱的底部设有开口，所述开口上可拆卸固定有一筛网，所述储粉箱上还设有一用于调节开口的开放程度的调节机构，所述滑动机构与储粉箱连接以使储粉箱可水平直线移动在外设承烧板上铺设粉末，所述储粉箱上设有一可刮平其所铺设的粉末的整平机构，属于靶材加工技术领域。域。域。
【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材烧结用布粉装置
[0001]本技术属于靶材加工
，更具体而言，涉及一种平面靶材烧结用布粉装置。
技术介绍
[0002]平面靶材在烧结时，需要在承烧板上铺设一层氧化物粉末，弥补承烧板的不平整，如何铺设氧化物粉末便是至关重要的问题。
[0003]针对这种情况，CN113340114A公开了一种靶材生坯摆放用布粉器，包括布粉板，该布粉板的顶面为布粉面，布粉面上分布有多个漏粉口，相邻漏粉口之间间隔25～45mm，各个漏粉口处在同一平面上，各个所述漏粉口都为圆形且直径相等，直径为3～6mm。
[0004]上述布粉器确实可用于铺设氧化物粉末，但是其铺设后并不是形成氧化物粉末层，而是多个粉堆，相当于形成不平整的氧化物粉末层，在后续烧结时会导致平面靶材的翘曲度比较大，降低平面靶材的成品率。
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的在于提供一种平面靶材烧结用布粉装置，旨在方便铺设氧化物粉末层并使其平整。
[0006]根据本技术的第一方面，提供了一种平面靶材烧结用布粉装置，包括储粉箱、设置在外设承烧板上的滑动机构，所述储粉箱的底部设有开口，所述开口上可拆卸固定有一筛网，所述储粉箱上还设有一用于调节开口的开放程度的调节机构，所述滑动机构与储粉箱连接以使储粉箱可水平直线移动在外设承烧板上铺设粉末，所述储粉箱上设有一可刮平其所铺设的粉末的整平机构。
[0007]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述滑动机构包括并排布置在外设承烧板上的两个导轨，所述导轨上设有相配合的滑块，所述储粉箱与两个滑块连接使开口位于两个导轨之间。
[0008]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，两个所述导轨之间的间距大于平面靶材的宽度。
[0009]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述开口为矩形，所述导轨与所述开口的长度方向相垂直，所述开口的长度与两个所述导轨之间的间距相适应。
[0010]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述调节机构包括水平布置在筛网的上方的挡板，所述储粉箱沿其移动方向的一端的侧壁上设有导向孔，所述挡板与导向孔配合可进入或远离储粉箱的内部。
[0011]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述挡板远离储粉箱的一端向上延伸出一抓取板，所述抓取板上设有扶手凹槽。
[0012]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述筛网水平布置在开口的上方，所述储粉箱的相对的两侧上设有卡槽，所述筛网通过两个卡槽固定在储粉箱的内部。
[0013]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述整平机构包括连接杆和刮刀，所述刮刀沿垂直于导轨的方向水平延伸，所述刮刀的长度与两个所述导轨之间的间距相适应，所述连接杆的一端固定在储粉箱沿其移动方向的一端的侧壁上，所述连接杆的另一端与刮刀连接。
[0014]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述刮刀通过阻尼转轴与连接杆转动连接。
[0015]上述的平面靶材烧结用布粉装置中，所述筛网为40
‑
150目。
[0016]本技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0017]本技术中将氧化物粉末放置到储粉箱内，储粉箱通过开口和筛网来将释放氧化物粉末，通过滑动机构来方便移动储粉箱，进而在承烧板上铺设氧化物粉末层，并且在铺设的过程中，可使用整平机构将氧化物粉末层抚平，既方便布粉，又可以提高氧化物粉末层的平整度，有利于提升平面靶材的烧结质量。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0019]图1是本技术实施例1的结构示意图；
[0020]图2是本技术实施例1去除滑动机构后的结构示意图；
[0021]图3是本技术实施例1的仰视图；
[0022]图4是本技术实施例1的图3的A
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A剖视图。
具体实施方式
[0023]下面详细描述本技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0024]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同方案。
[0025]实施例1
[0026]参照图1至图4所示，本技术一个实施例中，一种平面靶材烧结用布粉装置，包括储粉箱1、设置在外设承烧板上的滑动机构2，可以将氧化物粉末放置在储粉箱1内；
[0027]所述储粉箱1的底部设有开口11，所述开口11上可拆卸固定有一筛网12，所述储粉箱1上还设有一调节机构3，当需要布粉时，调节机构3可以根据需要铺设的氧化物粉末层的厚度调节开口11的开放程度，筛网12则是限制氧化物粉末的掉落速度并防止有异物掉出；
[0028]所述滑动机构2与储粉箱1连接以使储粉箱1可水平直线移动在外设承烧板上铺设粉末，所述储粉箱1上设有一可刮平其所铺设的粉末的整平机构4；
[0029]铺设氧化物粉末层时，往储粉箱1内填充氧化物粉末，然后调节开口11的开放程度，接着借助滑动机构2移动储粉箱1，使氧化物粉末掉落在外设承烧板上，整平机构4跟随储粉箱1一起移动，抚平掉落在外设承烧板上的氧化物粉末，最后形成平整的氧化物粉末层；该装置既方便布粉，又可以提高氧化物粉末层的平整度，有利于提升平面靶材的烧结质量。
[0030]当然，在储粉箱1的顶部设有入料口，方便往储粉箱1内填充氧化物粉末，同时设有
用于盖住入料口的盖板。
[0031]具体来说，所述滑动机构2包括并排布置在外设承烧板上的两个导轨21，所述导轨21上设有相配合的滑块22，所述储粉箱1与两个滑块22连接使开口11位于两个导轨21之间，导轨21和滑块22可以很好的辅助储粉箱1的移动，工人可以轻易地推动储粉箱1移动。
[0032]需要注意的是，整个装置并不会跟随外设承烧板进入到烧结炉中，所以导轨21需要可拆卸布置在外设承烧板上，由于导轨21本身具备一定的重量，可直接将导轨21放置在外设承烧板上，在放置时需要调整两个导轨21使他们处于同一平面上，或者使用夹钳、螺丝等将导轨21简易固定在外设承烧板上，因为储粉箱1在移动时的速度不会很快，导轨21不会轻易发生移动；
[0033]同时，储粉箱1与滑块22的连接也要够简单，方便将储粉箱1拆卸下来；优选地，可在滑块22上设置圆形凹槽，在储粉箱1上设置相对应的圆柱，圆柱可嵌入到圆形凹槽内与圆形凹槽相贴合，也不用使用连接件，既可以推动滑块22移动，又方便拆卸。
[0034]且，两个导轨21可以作为氧化物粉末层的宽度边界，在一开始便计算好需要的氧化物粉末层的宽度，再布置导轨21，铺设氧化物粉末时可直接以导轨21为边界。
[0035]优选地，两个所述导轨21之间的间距大于平面靶材的宽度，确保铺设出来的氧化物粉末层的宽度能够适用平面靶材；当然，导轨21的长度肯定是大本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材烧结用布粉装置，其特征在于，包括储粉箱、设置在外设承烧板上的滑动机构，所述储粉箱的底部设有开口，所述开口上可拆卸固定有一筛网，所述储粉箱上还设有一用于调节开口的开放程度的调节机构，所述滑动机构与储粉箱连接以使储粉箱可水平直线移动在外设承烧板上铺设粉末，所述储粉箱上设有一可刮平其所铺设的粉末的整平机构。2.根据权利要求1所述的平面靶材烧结用布粉装置，其特征在于，所述滑动机构包括并排布置在外设承烧板上的两个导轨，所述导轨上设有相配合的滑块，所述储粉箱与两个滑块连接使开口位于两个导轨之间。3.根据权利要求2所述的平面靶材烧结用布粉装置，其特征在于，两个所述导轨之间的间距大于平面靶材的宽度。4.根据权利要求3所述的平面靶材烧结用布粉装置，其特征在于，所述开口为矩形，所述导轨与所述开口的长度方向相垂直，所述开口的长度与两个所述导轨之间的间距相适应。5.根据权利要求1所述的平面靶材烧结用布粉装置，其特征在于，所述调节机构包括水平布置在筛网的上方的挡板，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文杰，李帅，文杰，钟小华，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：
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