【技术实现步骤摘要】
测试分选机
[0001]本申请涉及检测
,特别是涉及一种测试分选机。
技术介绍
[0002]在半导体制造和封装测试行业中,测试分选机是一种对半导体器件进行测试、并基于测试结果对半导体器件进行分选的装置,测试分选机能够在高温、低温以及常温等规定温度环境下测试半导体器件的性能,适用于工业、汽车、军工等要求较高的半导体器件测试。
[0003]测试分选机包括冷媒输送装置以将低温冷媒输送至各需求处,但现有冷媒输送装置存在冷媒输送管路较长、工作时产生大量热量的问题,导致冷媒输送装置成本高及散热制冷能力低,并影响了其使用性能与寿命。
技术实现思路
[0004]基于此,有必要针对传统的冷媒输送装置,存在因冷媒输送管路较长、工作时产生大量热量,导致冷媒输送装置成本高及散热制冷能力低,并影响了其使用性能与寿命的问题,提供一种能够缩短冷媒输送管路且减少工作时产生大量热量,以降低冷媒输送装置成本、提高散热制冷能力及改善其使用性能和寿命的测试分选机。
[0005]本申请的一方面,提供一种测试分选机,用于对待分选电子元 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测试分选机,用于对待分选电子元件进行测试并分选,其特征在于,所述测试分选机包括:机身,具有多个对所述待分选电子元件进行操作的工作位;内置冷媒机构,设于所述机身的内部,且用于向至少一个所述工作位输送第一冷媒;以及外置冷媒机构,置于所述机身的外部,且与所述内置冷媒机构连通,以向所述内置冷媒机构输送第二冷媒,所述第二冷媒用于对所述内置冷媒机构进行降温。2.根据权利要求1所述的测试分选机,其特征在于,所述内置冷媒机构具有彼此独立设置的冷媒通道和降温通道,所述冷媒通道用于输送所述第一冷媒;所述外置冷媒机构与所述降温通道连通,以向所述降温通道输送所述第二冷媒。3.如权利要求2所述的测试分选机,其特征在于,所述冷媒通道的至少部分形成有第一流道,所述降温通道的至少部分形成有第二流道,所述内置冷媒机构内置有换热器,所述第一流道与所述第二流道相互独立设于所述换热器内。4.根据权利要求1或2所述的测试分选机,其特征在于,其中一所述工作位为对所述待分选电子元件进行预温的预温工作位,所述机身包括设于所述预温工作位的预温装置,所述预温装置具有预温通道,所述内置冷媒机构用于向所述预温通道输送所述第一冷媒。5.根据权利要求1或2所述的测试分选机,其特征在于,其中一所述工作位为对所述待分选电子元件进行转送的转送工作位,所述机身包括设于所述转送工作位的料梭装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:张新,郑军,黄举,
申请(专利权)人:杭州长川科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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