【技术实现步骤摘要】
一种智能物料托盘与基于智能物料托盘的物料校验方法
[0001]本申请涉及半导体设备领域，具体而言，涉及一种智能物料托盘与基于智能物料托盘的物料校验方法。
技术介绍
[0002]晶圆物料在入库储存之前，对晶圆物料的种类进行校验的步骤是必不可少的。
[0003]然而，在现有技术中，对晶圆物料的种类进行校验，首先需要操作员将装载有晶圆物料的晶圆物料盒放置到工作台上，手持条码枪晶圆物料盒上的识别码进行扫描，以得到表征晶圆物料的种类的识别结果，然后在作业电脑上手工基于识别结果对晶圆物料进行校验，这样，大幅增加了人工工作量(因为每次需要进行入库的晶圆物料数量众多)。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种智能物料托盘与基于智能物料托盘的物料校验方法，能够大幅减轻人工工作压力，只需操作员人工或通过流水线等将晶圆物料盒放置于智能物料托盘上即可完成晶圆物料盒中晶圆物料的种类的校验工作。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种智能物料托盘，所述智能物料托盘包括：托盘本体，RFID读卡器...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种智能物料托盘，其特征在于，所述智能物料托盘包括：托盘本体，RFID读卡器；所述RFID读卡器包括：RFID读写器模组，控制主板，网络通信模块，供电模块；所述RFID读卡器可拆卸地内嵌于所述托盘本体；所述RFID读写器模组显露于所述托盘本体的表面；所述供电模块，用于为所述RFID读卡器包括的每一模块进行供电；所述网络通信模块，用于建立所述RFID读卡器与外部终端之间的网络连接；所述RFID读写器模组，用于对放置于所述托盘本体上的晶圆物料盒上的RFID电子标签进行扫描，得到识别结果，并将所述识别结果发送给所述控制主板，其中，所述晶圆物料盒中装载有晶圆物料，所述识别结果用于表征所述晶圆物料的种类；所述控制主板，用于通过所述网络连接，将接收到的所述识别结果传输给所述外部终端；所述外部终端，用于根据所述识别结果对所述晶圆物料的种类进行校验。2.根据权利要求1所述的智能物料托盘，其特征在于，所述智能物料托盘，还包括：压力传感器；所述压力传感器内嵌于所述托盘本体；所述压力传感器，用于检测所述托盘本体正上方受到的压力，并将所述压力发送给所述控制主板；所述控制主板，还用于若接收到的所述压力大于预设压力阈值，且所述RFID读卡器处于关闭状态的情况下，将所述RFID读写器模组置为开启状态；所述控制主板，还用于若在连续的预设时间段内接收到的所述压力均小于所述预设压力阈值，且所述RFID读写器模组处于开启状态的情况下，将所述RFID读写器模组置为关闭状态。3.根据权利要求1所述的智能物料托盘，其特征在于，所述RFID读卡器还包括：补光灯，亮度传感器；所述亮度传感器，用于检测所述托盘本体的周围环境亮度，并将所述周围环境亮度发送给所述控制主板；所述控制主板，还用于在接收到的所述托盘本体的周围环境亮度未达到第一预设亮度阈值时，在所述补光灯关闭的情况下，控制所述补光灯开启，以使所述托盘本体的周围环境亮度达到所述第一预设亮度阈值，其中，所述第一预设亮度阈值为能够使得所述RFID读写器模组正常工作的最低亮度值；所述控制主板，还用于在接收到的所述托盘本体的周围环境亮度超过第二预设亮度阈值时，在所述补光灯开启的情况下，控制所述补光灯关闭，其中，所述第二预设亮度阈值大于所述第一预设亮度阈值。4.根据权利要求1所述的智能物料托盘，其特征在于，所述RFID读卡器，还包括：显示屏；所述显示屏显露于所述托盘的表面；所述控制主板，还用于控制所述显示屏显示所述识别结果。5.一种基于智能物料托盘的物料校验方法，其特征在于，所述智能物料托盘包括：托盘本体，RFID读卡器；所述RFID读卡器包括：RFID读写器模组，控制主板，网络通信模块，供电
模块；所述RFID读卡器可拆卸地内嵌于所述托盘本体；所述RFID读写器模组显露于所述托盘本体的表面；所述供电模块...
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