【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其是涉及一种半导体产品生产数据的收集方法及收集装置。
技术介绍
1、在半导体制造业的工业生产中，为了对半导体产品进行良好的品质控制，需要收集生产数据进行分析。然而，半导体生产工艺复杂，涉及的各类规则极多，现有技术中缺少对数据收集的管控，导致生产数据收集间隔的时间过长，时效性差，不能及时地反应出生产中的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种半导体产品生产数据的收集方法及收集装置，通过设置管控项，可以有效管控数据收集的时间间隔，从而及时发现半导体生产中的问题，保证生产效率。
2、本申请实施例提供了一种半导体产品生产数据的收集方法，所述收集方法应用于半导体生产的统计过程控制系统，所述收集方法包括：
3、当半导体产品到达产线中任一加工站点时，获取所述半导体产品的制程信息；
4、根据所述制程信息查询与该加工站点对应的量测站点中当前是否存在有效管控项；
5、若存在，则控制所述半导体产品进入该加工站点进行产品加工；
6、控本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体产品生产数据的收集方法，其特征在于，所述收集方法应用于半导体生产的统计过程控制系统，所述收集方法包括：
2.根据权利要求1所述的收集方法，其特征在于，所述统计过程控制系统通过终端设备提供用户图形界面；所述用户图形界面中显示有管控项配置界面；所述收集方法还包括通过以下方式配置量测站点的管控项：
3.根据权利要求2所述的收集方法，其特征在于，所述响应于针对所述管控项配置界面的配置操作，确定管控参数，包括：
4.根据权利要求3所述的收集方法，其特征在于，所述制程信息包括当前制程配方以及当前制程配方对应的当前机台和当前子机台；...
【技术特征摘要】
1.一种半导体产品生产数据的收集方法，其特征在于，所述收集方法应用于半导体生产的统计过程控制系统，所述收集方法包括：
2.根据权利要求1所述的收集方法，其特征在于，所述统计过程控制系统通过终端设备提供用户图形界面；所述用户图形界面中显示有管控项配置界面；所述收集方法还包括通过以下方式配置量测站点的管控项：
3.根据权利要求2所述的收集方法，其特征在于，所述响应于针对所述管控项配置界面的配置操作，确定管控参数，包括：
4.根据权利要求3所述的收集方法，其特征在于，所述制程信息包括当前制程配方以及当前制程配方对应的当前机台和当前子机台；根据所述制程信息查询与该加工站点对应的量测站点中当前是否存在有效管控项，包括：
5.根据权利要求4所述的收集方法，其特征在于，...
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