一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，包括检测框，所述检测框的底部固定连接有底箱，所述底箱的内腔左侧中心处插接有第一丝杆，所述第一丝杆的右端贯穿底箱和检测框的内腔右侧，并固定连接有第一转盘，所述第一丝杆的外侧边缘中心处套设有活动板，所述活动板的内腔开设有与第一丝杆相匹配的螺纹，所述活动板的顶部靠近前后两侧处均固定连接有竖杆，两个所述竖杆的顶端均贯穿底箱的内腔顶部，通过底箱、第一丝杆、第一转盘、活动板、限位杆、竖杆、矩形箱、第二丝杆、第二转盘等机构之间的相互配合，可实现对半导体的多向移动作用。体的多向移动作用。体的多向移动作用。

【技术实现步骤摘要】
一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪


[0001]本技术涉及半导体测试，尤其涉及一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪。

技术介绍

[0002]数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器，仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果，四探针测试仪是在半导体单晶生产过程中用来测试单晶断面及表皮电阻率的测试仪器。
[0003]但在实际使用过程中存在一定的不便，单晶硅的断面往往需要测试中心点，R/2以及边缘三个位置各四点共九个测试点，现在使用的放置平台多数是固定或者移动范围有限，无法对多位置进行精准检测。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术的目的之一在于提供一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪。
[0005]本技术的目的之一采用如下技术方案实现：
[0006]一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，包括检测框，所述检测框的底部固定连接有底箱，所述底箱的内腔左侧中心处插接有第一丝杆，所述第一丝杆的右端贯穿底箱和检测框的内腔右侧，并固定连接有第一转盘，所述第一丝杆的外侧边缘中心处套设有活动板，所述活动板的内腔开设有与第一丝杆相匹配的螺纹，所述活动板的顶部靠近前后两侧处均固定连接有竖杆，两个所述竖杆的顶端均贯穿底箱的内腔顶部，并共同固定连接有矩形箱，所述矩形箱的前侧贯穿设有第二丝杆，所述第二丝杆的后端插接在矩形箱的内腔后侧处，所述第二丝杆的前端贯穿矩形箱的内腔前侧，并固定连接有第二转盘，所述第二丝杆的外侧边缘中心处套设有第一活动块，所述第一活动块的内腔开设有与第二丝杆相匹配的螺纹。
[0007]进一步的，所述活动板的左侧靠近前后两侧处均贯穿设有限位杆，两个所述限位杆的左右两端均与底箱的内腔相邻一侧固定连接。
[0008]进一步的，所述第一活动块的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的顶端贯穿矩形箱的内腔顶部，并固定连接有固定盒。
[0009]进一步的，所述固定盒的右侧贯穿设有双向丝杆，所述双向丝杆的左端插接在固定盒的内腔左侧处，所述双向丝杆的右端贯穿固定盒的内腔右侧，并固定连接有第三转盘。
[0010]进一步的，所述双向丝杆的外侧边缘靠近左右两端处均套设有第二活动块，两个所述第二活动块内腔均开设有与双向丝杆相匹配的螺纹。
[0011]进一步的，两个所述第二活动块的顶部均固定连接有连接杆，两个所述连接杆的顶端均贯穿固定盒的内腔顶部，并均固定连接有夹板。
[0012]进一步的，所述检测框的内腔顶部中心处固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接有四探针检测头。
[0013]相比现有技术，本技术的有益效果在于：
[0014]1、一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，通过固定盒、双向丝杆、第三转盘、第二活动块、连接杆、夹板等机构之间的相互配合，可实现对半导体材料进行固定作用；
[0015]2、一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，通过底箱、第一丝杆、第一转盘、活动板、限位杆、竖杆、矩形箱、第二丝杆、第二转盘等机构之间的相互配合，可实现对半导体的多向移动作用。
[0016]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
[0017]图1为本实施例的结构示意图；
[0018]图2为本实施例的局部左视图；
[0019]图3为图1中A处的放大图；
[0020]图4为图1中B处的放大图。
[0021]图中：1、检测框；2、底箱；3、第一丝杆；4、第一转盘；5、活动板；6、限位杆；7、竖杆；8、矩形箱；9、第二丝杆；10、第二转盘；11、第一活动块；12、固定盒；13、双向丝杆；14、第三转盘；15、第二活动块；16、连接杆；17、夹板；18、固定杆；19、电动推杆；20、四探针检测头。
具体实施方式
[0022]下面，结合附图以及具体实施方式，对本技术做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
[0023]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0024]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0025]请参阅图1至图4，一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，包括检测框1，检测框1的底部固定连接有底箱2，底箱2的内腔左侧中心处插接有第一丝杆3，第一
丝杆3的右端贯穿底箱2和检测框1的内腔右侧，并固定连接有第一转盘4，第一丝杆3的外侧边缘中心处套设有活动板5，活动板5的内腔开设有与第一丝杆3相匹配的螺纹，活动板5的顶部靠近前后两侧处均固定连接有竖杆7，两个竖杆7的顶端均贯穿底箱2的内腔顶部，并共同固定连接有矩形箱8，矩形箱8的前侧贯穿设有第二丝杆9，第二丝杆9的后端插接在矩形箱8的内腔后侧处，第二丝杆9的前端贯穿矩形箱8的内腔前侧，并固定连接有第二转盘10，第二丝杆9的外侧边缘中心处套设有第一活动块11，第一活动块11的内腔开设有与第二丝杆9相匹配的螺纹，实现多向移动作用；
[0026]活动板5的左侧靠近前后两侧处均贯穿设有限位杆6，两个限位杆6的左右两端均与底箱2的内腔相邻一侧固定连接，第一活动块11的顶部固定连接有固定杆18，固定杆18的顶端贯穿矩形箱8的内腔顶部，并固定连接有固定盒12，起到限位作用；
[0027]固定盒12的右侧贯穿设有双向丝杆13，双向丝杆13的左端插接在固定盒12的内腔左侧处，双向丝杆13的右端贯穿固定盒12的内腔右侧，并固定连接有第三转盘14，双向丝杆13的外侧边缘靠近左右两端处均套设有第二活动块15，两个第二活动块15内腔均开设有与双向丝杆13相匹配的螺纹，两个第二活动块15的顶部均固定连接有连接杆16，两个连接杆16的顶端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，包括检测框(1)，其特征在于：所述检测框(1)的底部固定连接有底箱(2)，所述底箱(2)的内腔左侧中心处插接有第一丝杆(3)，所述第一丝杆(3)的右端贯穿底箱(2)和检测框(1)的内腔右侧，并固定连接有第一转盘(4)，所述第一丝杆(3)的外侧边缘中心处套设有活动板(5)，所述活动板(5)的内腔开设有与第一丝杆(3)相匹配的螺纹，所述活动板(5)的顶部靠近前后两侧处均固定连接有竖杆(7)，两个所述竖杆(7)的顶端均贯穿底箱(2)的内腔顶部，并共同固定连接有矩形箱(8)，所述矩形箱(8)的前侧贯穿设有第二丝杆(9)，所述第二丝杆(9)的后端插接在矩形箱(8)的内腔后侧处，所述第二丝杆(9)的前端贯穿矩形箱(8)的内腔前侧，并固定连接有第二转盘(10)，所述第二丝杆(9)的外侧边缘中心处套设有第一活动块(11)，所述第一活动块(11)的内腔开设有与第二丝杆(9)相匹配的螺纹。2.如权利要求1所述的一种放置台可移动的半导体材料测试用四探针测试仪，其特征在于：所述活动板(5)的左侧靠近前后两侧处均贯穿设有限位杆(6)，两个所述限位杆(6)的左右两端均与底箱(2)的内腔相邻一侧固定连接。3.如权利要求1所述的一种放置台可移动的半导体材料测试用四探...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘成龙，
申请(专利权)人：深圳市凯瑞仪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：