固态成像装置制造方法及图纸

在半导体衬底（１）上设置用于垂直传输信号电荷的垂直传输电荷耦合装置、用于接收和水平传输所传输的信号电荷的水平传输电荷耦合装置（６）、多余电子扫除器（１２）以及水平传输电荷耦合装置（６）和多余电子扫除器（１２）之间的势垒。该势垒包括第一ｎ型扩散层（１０）、与其一端接触的第二ｎ型扩散层（９）以及与其另一端接触的第三ｎ型扩散层（１１）。第二ｎ型扩散层（９）和第三ｎ型扩散层（１１）的杂质浓度比第一ｎ型扩散层（１０）的杂质浓度更高。结果，使固态成像装置的多余电子扫除器扫除多余电子的能力提高，而不降低水平传输电荷耦合装置处理的电荷量，即使使用大光量信号也可以输出图像。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固态成像装置，包括：二维地设置在半导体衬底上的光电二极管；用于垂直传输从该光电二极管读出的信号电荷的垂直传输电荷耦合装置；用于接收和水平传输由该垂直传输电荷耦合装置传输的信号电荷的水平传输电荷耦合装置；用 于扫除多余电子的多余电子扫除器；以及在该水平传输电荷耦合装置和该多余电子扫除器之间的势垒，其中该势垒包括：选择性地形成在该半导体衬底表面上的第一ｎ型扩散层；与该第一ｎ型扩散层的一端接触而且杂质浓度比该第一ｎ型 扩散层的杂质浓度更高的第二ｎ型扩散层；以及与该第一ｎ型扩散层的另一端接触而且杂质浓度比该第一ｎ型扩散层的杂质浓度更高的第三ｎ型扩散层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：立川景士，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]