基于三维形貌测量系统的自动化夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及基于三维形貌测量系统的自动化夹持装置，涉及三维形貌测量技术领域，该装置包括机架、从动夹具、主动夹具，从动夹具固定于机架上，主动夹具滑动设置于机架上，主动夹具通过锁定件与机架配合锁定和解锁，从动夹具包括设置于机架上的固定部、与固定部转动配合的第一传动盘、安设于第一传动盘上的第一夹持部，第一夹持部的中线与第一传动盘的旋转中线重合，主动夹具包括与机架滑动配合的支座、与支座转动配合的第二传动盘、安设于第二传动盘上的第二夹持部、与第二传动盘相连的传动机构，第一夹持部的中线、第二夹持部的中线、第二传动盘的转动中线重合。本装置能够有效的保证测样在轴向旋转，精密确定形貌位置而不丢失。失。失。

【技术实现步骤摘要】
基于三维形貌测量系统的自动化夹持装置


[0001]本专利技术涉及三维形貌测量
，尤其是涉及基于三维形貌测量系统的自动化夹持装置。

技术介绍

[0002]三维表面形貌测量系统，由Bruker Nano lnc生产，主要用于测试各种试样（透明，不透，镀膜，非镀膜，反射，弱反射等）的表面三维形貌，表面粗糙度和台阶高度。测量软件可直接显示测量区域内的粗糙度数值。现有的三维表面形貌测量主要有垂直扫描（VSI）和相位偏移扫描（PSI），垂直扫描利用光的干涉原理即光程差相等时即产生干涉条纹，通过马达驱动从而改 变镜头与待测样品之间的距离带动干涉条纹的移动，达到对样品扫描的目的。最终得到样品的三维形貌，表面粗糙度等特征。一般用于测量高低差值180nm 以上样品。相位偏移扫描利用光的干涉原理即光程差相等时即产生干涉条纹，通过马达驱动从而改 变镜头与待测样品之间的距离，从而产生相位偏移，带动干涉条纹的移动，达到对样品扫描的目的。最终得到样品的三维形貌，表面粗糙度等特征。一般用于测量高低差值130nm以下样品，测量超光滑平面等，对环境的要求高，包括震动，噪声等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于三维形貌测量系统的自动化夹持装置，其特征在于，包括机架、从动夹具、主动夹具，从动夹具固定于机架上，主动夹具滑动设置于机架上，主动夹具能够沿机架直线滑动以靠近或远离从动夹具，从动夹具和主动夹具之间构成了试样的放置空间，锁定件分别与主动夹具和机架配合设置以锁定和解锁主动夹具与机架的相对位置，从动夹具包括设置于机架上的固定部、与固定部转动配合的第一传动盘、安设于第一传动盘上的第一夹持部，第一夹持部的中线与第一传动盘的旋转中线重合，主动夹具包括与机架滑动配合的支座、与支座转动配合的第二传动盘、安设于第二传动盘上的第二夹持部、与第二传动盘相连的传动机构，第一夹持部的中线、第二夹持部的中线、第二传动盘的转动中线重合，传动机构用以带动第二传动盘沿支座转动。2.根据权利要求1所述的基于三维形貌测量系统的自动化夹持装置，其特征在于，支座上开设有第一圆形通道、与第一圆形通道相连通的第二圆形通道，第一圆形通道的中线与第二圆形通道的中线重叠，第二传动盘滑动套装于第一圆形通...

【专利技术属性】
技术研发人员：王迪，徐广涛，乔泽沅，李灿，刘兰荣，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：新型
国别省市：