【技术实现步骤摘要】
半导体行业用液体加热装置
[0001]本技术涉及的是半导体行业用液体加热装置。
技术介绍
[0002]半导体行业中，特别是晶圆生产工艺中，很多步骤需要使用到液体进行处理，且需要对液体进行有效加热。
[0003]现有技术中，半导体行业设备用到加热液体的设备存在液体加热效率差的问题，且占用空间较大，加热效率无法满足生产速度要求，无法有效满足生产。
技术实现思路
[0004]本技术提出的是半导体行业用液体加热装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现以较小结构对半导体行业用液体进行高效加热。
[0005]本技术的技术解决方案：半导体行业用液体加热装置，其结构包括壳体，壳体内两侧分别设有竖直的进液主管和出液主管，进液主管和出液主管上分别都从上至下均匀间隔设有若干个对应的接头，每个进液主管和出液主管上对应位置的接头连接同一根盘管，若干根盘管从上至下盘绕固定在一端连接中间柱的均匀分布的若干片支撑板上，支撑板之间的盘管外侧包裹有电加热丝，电加热丝外侧套设外套管。
[0006]优选的，所述的进液主管和出液主管上的接头分别都为6个。
[0007]优选的，所述的盘管为PFA管。
[0008]本技术的优点：结构设计合理紧凑，外设设备出液管路连接进液主管分6路流经6根盘管，分别由盘管外侧的电加热丝对液体进行加热，可有效提高加热效率，加热完毕后统一汇集经出液主管排出供外设设备使用，以较小的空间占用实现了高效加热。
附图说明
[0009]图1是本技术半导体行业用液体加热装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.半导体行业用液体加热装置，其特征在于，包括壳体(1)，壳体(1)内两侧分别设有竖直的进液主管(2)和出液主管(3)，进液主管(2)和出液主管(3)上分别都从上至下均匀间隔设有若干个对应的接头(4)，每个进液主管(2)和出液主管(3)上对应位置的接头(4)连接同一根盘管(5)，若干根盘管(5)从上至下盘绕固定在一端连接中间柱(6)的均匀分布...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙永胜，李松松，祁志明，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。