一种单晶炉炉盖制造技术

技术编号:36003364 阅读:14 留言:0更新日期:2022-12-17 23:23
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉炉盖,涉及单晶炉配件,包括盖体,盖体上设置有观察窗口,观察窗口内设置有玻璃板,玻璃板为可拆卸地安装在观察窗口内部,玻璃板两端均设置有嵌块,观察窗口两端均开设有用于嵌块嵌入的嵌槽,嵌槽内滑动连接有插销,嵌块上设置有用于插销插入的插座。本实用新型专利技术的有益效果:本实用新型专利技术强度高且不易锈蚀,使用寿命长,通过将玻璃板可拆卸地安装在观察窗口内部,则在玻璃板因粘附脏污而需要进行清理时,只需将插销从插座内拔出以实现解锁,即可解除玻璃板在观察窗口内的锁止,从而方便将玻璃板拆下进行清理,操作较为便捷简单,有效保证了观察窗口的使用效果。有效保证了观察窗口的使用效果。有效保证了观察窗口的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉配件
,具体为一种单晶炉炉盖。

技术介绍

[0002]单晶炉是生长硅单晶的专用设备,在硅单晶生长过程中需要随时掌握硅单晶棒的直径状况,因此,在单晶炉炉盖上通常设置有观察窗口。对于生长大直径硅单晶棒的单晶炉,就需要在炉盖上开出长度尺寸大于硅单晶棒直径的观察窗口,目前单晶炉炉盖上普遍采用的是田径跑道型大尺寸的椭圆形观察窗口。操作者仅从观察窗口即可时刻观察炉内的单晶硅生长状况,便于及时的作出温度、压力等条件的调整。
[0003]目前,单晶炉炉盖在制造时,还会在观察窗口上加装玻璃板,既能避免气体泄漏,又能保证清晰观察,然而,玻璃板在长期使用后,其朝向炉内的一面容易粘附脏污,而玻璃板又无法进行拆卸,因此很难对脏污进行清理,则脏污长期积累容易导致观察模糊,从而影响观察窗口的使用效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在为了解决上述的问题而提供的一种单晶炉炉盖,方便将玻璃板拆下进行清理,有效保证了观察窗口的使用效果。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种单晶炉炉盖,包括盖体,所述盖体上设置有观察窗口,所述观察窗口内设置有玻璃板,所述玻璃板为可拆卸地安装在观察窗口内部,所述玻璃板两端均设置有嵌块,所述观察窗口两端均开设有用于嵌块嵌入的嵌槽,所述嵌槽内滑动连接有插销,所述嵌块上设置有用于插销插入的插座。
[0006]通过采用上述技术方案,由于玻璃板为可拆卸地安装在观察窗口内部,则在将玻璃板安装到观察窗口内部时,可先将玻璃板嵌入观察窗口内部,使得嵌块随之嵌入嵌槽内部实现预定位,再推动插销插入插座实现固定,从而能将玻璃板锁止在观察窗口内部,实现安装,且安装牢固性较高,而在玻璃板因粘附脏污而需要进行清理时,只需将插销从插座内拔出以实现解锁,即可解除玻璃板在观察窗口内的锁止,从而方便将玻璃板拆下进行清理,操作较为便捷简单,有效保证了观察窗口的使用效果。
[0007]作为本技术的进一步设置,所述嵌槽侧壁上开设有用于插销滑动的活动槽,所述观察窗口顶部开设有与活动槽连通的滑槽,所述插销上设置有贯穿滑槽并滑动连接在滑槽内部的拨片。
[0008]通过采用上述技术方案,由于在嵌槽侧壁上开设有用于插销滑动的活动槽,在观察窗口顶部开设有与活动槽连通的滑槽,且在插销上设置有贯穿滑槽并滑动连接在滑槽内部的拨片,则通过推动拨片即可带动插销滑出或收回活动槽内部,将插销插入或拔出插座,则拨片的设置能够为推动插销的操作提供施力点,从而使得推动插销的操作变得更为轻松省力。
[0009]作为本技术的进一步设置,所述拨片上设置有若干防滑凸条。
[0010]通过采用上述技术方案,由于在拨片上设置有若干防滑凸条,从而大大增加了拨片上的摩擦系数,使得推动拨片时不易打滑,从而使得推动插销的操作变得更为方便。
[0011]作为本技术的进一步设置,所述玻璃板两侧均设置有卡块,所述观察窗口两侧均开设有用于卡块卡入的卡槽。
[0012]通过采用上述技术方案,由于在玻璃板两侧均设置有卡块,且在观察窗口两侧均开设有卡槽,则在将玻璃板嵌入观察窗口内部时,卡块也会随之卡入卡槽,通过卡槽对卡块的限位,能够对玻璃板的安装进行定位,且使得玻璃板的安装更为牢固。
[0013]作为本技术的进一步设置,所述卡槽底部设置有螺杆,所述卡块上开设有用于螺杆穿过的通孔,所述螺杆上螺纹连接有用于与卡块抵触的蝶形螺母。
[0014]通过采用上述技术方案,由于在卡槽底部设置有螺杆,在卡块上开设有通孔,且在螺杆上螺纹连接有蝶形螺母,则在卡块卡入卡槽内部时,螺杆会随之穿过通孔,此时可旋拧蝶形螺母使其与卡块抵触,从而将卡块压紧在卡槽内部,实现对玻璃板两侧的锁止,从而提升了玻璃板在观察窗口内部的安装牢固性。
[0015]作为本技术的进一步设置,所述盖体采用不锈钢材料制成。
[0016]通过采用上述技术方案,由于盖体采用不锈钢材料制成,强度和硬度较高,且不易锈蚀,从而大大延长了单晶炉炉盖的使用寿命。
[0017]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0018]本技术强度高且不易锈蚀,使用寿命长,通过将玻璃板可拆卸地安装在观察窗口内部,则在玻璃板因粘附脏污而需要进行清理时,只需将插销从插座内拔出以实现解锁,即可解除玻璃板在观察窗口内的锁止,从而方便将玻璃板拆下进行清理,操作较为便捷简单,有效保证了观察窗口的使用效果。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图;
[0020]图2为图1中A处的放大结构示意图;
[0021]图3为图1中B处的放大结构示意图;
[0022]图4为本技术去除玻璃板后的结构示意图;
[0023]图5为图4中C处的放大结构示意图;
[0024]图6为本技术中玻璃板的结构示意图。
[0025]附图标记:1、盖体;2、观察窗口;3、玻璃板;4、嵌块;5、嵌槽;6、插销;7、插座;8、活动槽;9、滑槽;10、拨片;11、防滑凸条;12、卡块; 13、卡槽;14、螺杆;15、通孔;16、蝶形螺母。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1、图2、图4、图5、图6所示,一种单晶炉炉盖,包括盖体1,盖体1采用不锈钢材料制成,在盖体1上设置有观察窗口2,在观察窗口2内设置有玻璃板3,玻璃板3采用耐
高温玻璃,且玻璃板3为可拆卸地安装在观察窗口2内部,在玻璃板3两端均设置有嵌块4,且在观察窗口2两端均开设有用于嵌块4嵌入的嵌槽5,在嵌槽5内滑动连接有插销6,且在嵌块4上设置有用于插销6插入的插座7。
[0028]请参阅图4、图5所示,在嵌槽5侧壁上开设有用于插销6滑动的活动槽8,且在观察窗口2顶部开设有与活动槽8连通的滑槽9,在插销6上设置有贯穿滑槽9并滑动连接在滑槽9内部的拨片10,且在拨片10上设置有若干防滑凸条 11。
[0029]请参阅图1、图3所示,在玻璃板3两侧均设置有卡块12,且在观察窗口2 两侧均开设有用于卡块12卡入的卡槽13,在卡槽13底部设置有螺杆14,在卡块12上开设有用于螺杆14穿过的通孔15,且在螺杆14上螺纹连接有用于与卡块12抵触的蝶形螺母16。
[0030]由于玻璃板3为可拆卸地安装在观察窗口2内部,则在将玻璃板3安装到观察窗口2内部时,可先将玻璃板3嵌入观察窗口2内部,使得嵌块4随之嵌入嵌槽5内部实现预定位,再推动插销6插入插座7实现固定,从而能将玻璃板3锁止在观察窗口2内部,实现安装,且安装牢固性较高,而在玻璃板3因粘附脏污而需要进行清理时,只需将插销本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉盖,包括盖体(1),所述盖体(1)上设置有观察窗口(2),所述观察窗口(2)内设置有玻璃板(3),其特征在于:所述玻璃板(3)为可拆卸地安装在观察窗口(2)内部,所述玻璃板(3)两端均设置有嵌块(4),所述观察窗口(2)两端均开设有用于嵌块(4)嵌入的嵌槽(5),所述嵌槽(5)内滑动连接有插销(6),所述嵌块(4)上设置有用于插销(6)插入的插座(7)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉盖,其特征在于:所述嵌槽(5)侧壁上开设有用于插销(6)滑动的活动槽(8),所述观察窗口(2)顶部开设有与活动槽(8)连通的滑槽(9),所述插销(6)上设置有贯穿滑槽(9)并滑动连接在滑槽(9...

【专利技术属性】
技术研发人员:许建枫
申请(专利权)人:浙江昱力机电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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