一种单晶炉炉盖制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉炉盖，涉及单晶炉配件，包括盖体，盖体上设置有观察窗口，观察窗口内设置有玻璃板，玻璃板为可拆卸地安装在观察窗口内部，玻璃板两端均设置有嵌块，观察窗口两端均开设有用于嵌块嵌入的嵌槽，嵌槽内滑动连接有插销，嵌块上设置有用于插销插入的插座。本实用新型专利技术的有益效果：本实用新型专利技术强度高且不易锈蚀，使用寿命长，通过将玻璃板可拆卸地安装在观察窗口内部，则在玻璃板因粘附脏污而需要进行清理时，只需将插销从插座内拔出以实现解锁，即可解除玻璃板在观察窗口内的锁止，从而方便将玻璃板拆下进行清理，操作较为便捷简单，有效保证了观察窗口的使用效果。有效保证了观察窗口的使用效果。有效保证了观察窗口的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉配件
，具体为一种单晶炉炉盖。

技术介绍

[0002]单晶炉是生长硅单晶的专用设备，在硅单晶生长过程中需要随时掌握硅单晶棒的直径状况，因此，在单晶炉炉盖上通常设置有观察窗口。对于生长大直径硅单晶棒的单晶炉，就需要在炉盖上开出长度尺寸大于硅单晶棒直径的观察窗口，目前单晶炉炉盖上普遍采用的是田径跑道型大尺寸的椭圆形观察窗口。操作者仅从观察窗口即可时刻观察炉内的单晶硅生长状况，便于及时的作出温度、压力等条件的调整。
[0003]目前，单晶炉炉盖在制造时，还会在观察窗口上加装玻璃板，既能避免气体泄漏，又能保证清晰观察，然而，玻璃板在长期使用后，其朝向炉内的一面容易粘附脏污，而玻璃板又无法进行拆卸，因此很难对脏污进行清理，则脏污长期积累容易导致观察模糊，从而影响观察窗口的使用效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在为了解决上述的问题而提供的一种单晶炉炉盖，方便将玻璃板拆下进行清理，有效保证了观察窗口的使用效果。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉盖，包括盖体(1)，所述盖体(1)上设置有观察窗口(2)，所述观察窗口(2)内设置有玻璃板(3)，其特征在于：所述玻璃板(3)为可拆卸地安装在观察窗口(2)内部，所述玻璃板(3)两端均设置有嵌块(4)，所述观察窗口(2)两端均开设有用于嵌块(4)嵌入的嵌槽(5)，所述嵌槽(5)内滑动连接有插销(6)，所述嵌块(4)上设置有用于插销(6)插入的插座(7)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉盖，其特征在于：所述嵌槽(5)侧壁上开设有用于插销(6)滑动的活动槽(8)，所述观察窗口(2)顶部开设有与活动槽(8)连通的滑槽(9)，所述插销(6)上设置有贯穿滑槽(9)并滑动连接在滑槽(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：许建枫，
申请(专利权)人：浙江昱力机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：