一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，包括清洗机本体、控制面板、支板和放置篮，所述清洗机本体的前侧设置有控制面板，所述清洗机本体的左右两侧设置有支架，所述驱动电机的前侧设置有收卷轮，所述收卷轮的一侧设置有导线轮，所述收卷轮与导线轮上设置有绳索，所述绳索的下端设置有挂耳，所述挂耳的下方设置有放置篮，所述支板的下方设置有风扇。本实用新型专利技术通过收卷轮与绳索的设置，由于绳索固定的系在放置篮上的挂耳上，而绳索通过收卷轮进行收放，所以当需要收放放置篮时，通过驱动电机便可控制收卷轮进行转动，由此能够实现放置篮的上升与下降，方便操作人员对于硅片的清洗以及取出，实现了便于对硅片取料。取料。取料。

【技术实现步骤摘要】
一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置


[0001]本技术涉及清洗装置
，具体涉及一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置。

技术介绍

[0002]硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光和外延等不同工序加工后，表面已经受到严重的沾污，所以需要清洗装置来对硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染进行去除。
[0003]现有的大尺寸硅片清洗装置在使用中不具备烘干功能，例如申请号为CN201420870668.7公开的一种硅片清洗装置，现在的硅片清洗是将硅片放置在清洗的机箱内部，这样来回从机箱的内部取出硅片，使得清洗的效率十分的低，且便于取出清洗好的硅片，同时现有的清洗装置不具备烘干功能，在对硅片清洗完之后还需人工将硅片擦干，容易对硅片表面造成二次污染。
[0004]因此，专利技术一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，以解决技术中不具备烘干功能的问题，现在的硅片清洗是将硅片放置在清洗的机箱内部，这样来回从机箱的内部取出硅片，使得清洗的效率十分的低，且便于取出清洗好的硅片，同时现有的清洗装置不具备烘干功能，在对硅片清洗完之后还需人工将硅片擦干，容易对硅片表面造成二次污染。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，包括清洗机本体、控制面板、支板和放置篮，所述清洗机本体的前侧设置有控制面板，所述清洗机本体的左右两侧设置有支架，所述支架的上方设置有支板，所述支板的上方设置有驱动电机，所述驱动电机的前侧设置有收卷轮，所述收卷轮的一侧设置有导线轮，所述收卷轮与导线轮上设置有绳索，所述绳索的下端设置有挂耳，所述挂耳的下方设置有放置篮，所述支板的下方设置有风扇。
[0007]优选的，所述支架设置有2个，所述支架呈“工”字形结构设计而成，所述支架关于清洗机本体之间相互中心对称。
[0008]优选的，所述收卷轮设置有2个，所述收卷轮的一侧设置有导线轮，所述收卷轮与导线轮关于支板之间相互中心对称。
[0009]优选的，所述挂耳设置有2个，所述挂耳关于放置篮之间相互中心对称。
[0010]优选的，所述放置篮呈镂空结构设计而成，所述放置篮的长宽高小于清洗机本体的内部长宽高。
[0011]优选的，所述放置篮的内壁设置有超声波换能器，所述超声波换能器设置有2个，所述超声波换能器关于清洗机本体之间相互中心对称。
[0012]优选的，所述风扇设置有2个，所述风扇与支板之间相互垂直，所述风扇的下方设置有加热电丝。
[0013]优选的，所述清洗机本体的底部设置有支脚，所述支脚设置有4个，所述支脚与清洗机本体之间相互对称。
[0014]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
[0015]1、通过收卷轮与绳索的设置，由于绳索固定的系在放置篮上的挂耳上，而绳索通过收卷轮进行收放，所以当需要收放放置篮时，通过驱动电机便可控制收卷轮进行转动，由此能够实现放置篮的上升与下降，方便操作人员对于硅片的清洗以及取出，实现了便于对硅片取料；
[0016]2、通过风扇与加热电丝的设置，当清洗完成的硅片通过绳索收卷上升时，便可可利用风扇吹风，再经过电热电丝，使得吹向硅片的风形成热风，从而对硅片进行烘干，避免人工擦拭对硅片表面造成二次污染。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术的清洗机本体剖面立体结构示意图；
[0019]图3为本技术的收卷轮与导线轮立体结构示意图；
[0020]图4为本技术的放置篮立体结构示意图；
[0021]图5为本技术的风扇与加热电丝立体结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1、清洗机本体；2、控制面板；3、支架；4、支板；5、驱动电机；6、收卷轮；7、导线轮；8、绳索；9、挂耳；10、放置篮；11、超声波换能器；12、风扇；13、加热电丝；14、支脚。
具体实施方式
[0024]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图对本技术作进一步的详细介绍。
[0025]本技术提供了如图1
‑
5所示的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，包括清洗机本体1、控制面板2、支板4和放置篮10，清洗机本体1的前侧设置有控制面板2，清洗机本体1的左右两侧设置有支架3，支架3的上方设置有支板4，支板4的上方设置有驱动电机5，驱动电机5的前侧设置有收卷轮6，收卷轮6的一侧设置有导线轮7，收卷轮6与导线轮7上设置有绳索8，绳索8的下端设置有挂耳9，挂耳9的下方设置有放置篮10，支板4的下方设置有风扇12。
[0026]支架3设置有2个，支架3呈“工”字形结构设计而成，支架3关于清洗机本体1之间相互中心对称，收卷轮6设置有2个，收卷轮6的一侧设置有导线轮7，收卷轮6与导线轮7关于支板4之间相互中心对称，挂耳9设置有2个，挂耳9关于放置篮10之间相互中心对称，放置篮10呈镂空结构设计而成，放置篮10的长宽高小于清洗机本体1的内部长宽高。
[0027]放置篮10的内壁设置有超声波换能器11，超声波换能器11设置有2个，超声波换能器11关于清洗机本体1之间相互中心对称，风扇12设置有2个，风扇12与支板4之间相互垂直，风扇12的下方设置有加热电丝13，清洗机本体1的底部设置有支脚14，支脚14设置有4
个，支脚14与清洗机本体1之间相互对称。
[0028]本实用工作原理：
[0029]参照说明书附图1
‑
5，在使用本装置时，首先通过支脚14将清洗装置稳固放置在合适的位置处，在将清洗装置与外界电源连接，使得清洗装置处于通电状态，然后便可通过控制面板2来打开驱动电机5，通过驱动电机5可带动收卷轮6进行转动，通过顺时针旋转收卷轮6，使得收卷轮6可对绳索8进行回收，从而带动放置篮10向上升起，从而便可将需要清洗的硅片放置在放置篮10内部，然后在逆时针旋转收卷轮6，使得收卷轮6对绳索8进行下放，从而便可将存放硅片的放置篮10下降至清洗机本体1内部的进行清洗；
[0030]参照说明书附图1
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5，在使用本装置时，通过清洗机本体1内部的超声波换能器11可对放置篮10内部的硅片进行超声波清洗工作，而当硅片清洗完成后，在通过顺时针旋转收卷轮6来将放置篮10拉伸上来，再通过控制面板2来打开风扇12和加热电丝13，通过启动风扇12向下吹风，再经过加热电丝13进行加热，使得风扇12吹向硅片的风形成热风，从而对硅片进行烘干，避免人工擦拭对硅片表面造成二次污染。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，包括清洗机本体(1)、控制面板(2)、支板(4)和放置篮(10)，其特征在于：所述清洗机本体(1)的前侧设置有控制面板(2)，所述清洗机本体(1)的左右两侧设置有支架(3)，所述支架(3)的上方设置有支板(4)，所述支板(4)的上方设置有驱动电机(5)，所述驱动电机(5)的前侧设置有收卷轮(6)，所述收卷轮(6)的一侧设置有导线轮(7)，所述收卷轮(6)与导线轮(7)上设置有绳索(8)，所述绳索(8)的下端设置有挂耳(9)，所述挂耳(9)的下方设置有放置篮(10)，所述支板(4)的下方设置有风扇(12)。2.根据权利要求1所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，其特征在于：所述支架(3)设置有2个，所述支架(3)呈“工”字形结构设计而成，所述支架(3)关于清洗机本体(1)之间相互中心对称。3.根据权利要求1所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，其特征在于：所述收卷轮(6)设置有2个，所述收卷轮(6)的一侧设置有导线轮(7)，所述收卷轮(6)与导线轮(7)关于支板(4)之间相互中心对称...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱振兴，
申请(专利权)人：苏州金研光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：