紫外线光钝化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种紫外线光钝化装置，包括：内部容置有至少一片晶圆的腔体，顶部开设有透光孔；至少一个灯箱，内部安装有紫外线灯；旋转机构，包括驱动单元及啮合传动单元，啮合传动单元包括第一传动部件及至少一个第二传动部件，第一传动部件与第二传动部件啮合传动，灯箱与第二传动部件一一对应且安装在对应的第二传动部件上，第二传动部件的中心为镂空区域，紫外线灯发射的紫外线光顺次通过镂空区域及透光孔后照射在晶圆上，驱动单元与第一传动部件连接并用于驱动第一传动部件转动，第一传动部件转动并带动第二传动部件转动，进而带动灯箱转动。本实施例采用传动丝杆与旋转盘组成蜗轮蜗杆传动体系，有效地提高了传动的可靠性及稳定性。性及稳定性。性及稳定性。

【技术实现步骤摘要】
紫外线光钝化装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种紫外线光钝化装置。

技术介绍

[0002]在半导体工艺化学气相沉积时可利用紫外线光(UV)对晶圆表面的介质膜进行钝化使其更加致密，而提供紫外线光的灯箱需要具有旋转功能以保证晶圆能够均匀地受到紫外线光的照射。
[0003]现目前，通常通过皮带传动的方式来驱动灯箱旋转。具体而言，将传动皮带与两个灯箱啮合连接，在两灯箱之间设置马达及联动齿轮，所述联动齿轮的一端与所述马达的输出轴连接，另一端与所述传动皮带啮合连接，利用马达作为动力源，驱使所述传动皮带转动，进而带动两个灯箱进行旋转。但是这种驱动方式存在以下缺点：
[0004]1)皮带的寿命有限，张紧力会随着使用时间而有变化(松弛，龟裂等)；
[0005]2)保养时调节皮带张力费时，要调节至保养前状态；
[0006]3)在生产过程中容易发生两灯箱因旋转张力或者同步度有差异发生报警，如果报警停机晶圆就会报废；
[0007]4)皮带在传动过程中由于齿轮摩擦容易产生颗粒物导致环境污染。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外线光钝化装置，其特征在于，包括：内部容置有至少一片晶圆的腔体，顶部开设有透光孔；至少一个灯箱，内部安装有紫外线灯；旋转机构，包括驱动单元及啮合传动单元，所述啮合传动单元包括第一传动部件及至少一个第二传动部件，所述第一传动部件与所述第二传动部件啮合传动，所述灯箱与所述第二传动部件一一对应且安装在对应的所述第二传动部件上，所述第二传动部件的中心为镂空区域，所述紫外线灯发射的紫外线光顺次通过所述镂空区域及所述透光孔后照射在所述晶圆上，所述驱动单元与所述第一传动部件连接并用于驱动所述第一传动部件转动，所述第一传动部件转动并带动所述第二传动部件转动，进而带动所述灯箱转动。2.如权利要求1所述的紫外线光钝化装置，其特征在于，所述第一传动部件为传动丝杆，所述第二传动部件为旋转盘，所述旋转盘的外周设置有用于与所述传动丝杆啮合连接的齿槽。3.如权利要求2所述的紫外线光钝化装置，其特征在于，所述灯箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟杰，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：