本实用新型专利技术涉及晶圆贴片加工夹具的技术领域，特别是涉及一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其通过多组第一弹簧分别对多组夹板提供弹力，提高多组夹板与晶圆贴片之间的缓冲效果，避免多组第三壳体移动行程过长造成多组夹板对晶圆贴片夹持损坏的情况，提高夹具对晶圆贴片的防护效果；包括底座、按压装置、第一壳体、第二壳体、多组第三壳体、驱动装置、多组第一导向柱、多组夹板和多组第一弹簧，第一壳体底端与底座顶端连接，第二壳体底端与第一壳体顶端连接，底座右部设置有按压装置，并且按压装置设置在第二壳体上方，多组第三壳体均通过驱动装置滑动安装在第二壳体内部，多组第一导向柱左右两端分别与多组第三壳体内侧壁连接。向柱左右两端分别与多组第三壳体内侧壁连接。向柱左右两端分别与多组第三壳体内侧壁连接。
【技术实现步骤摘要】
一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具
[0001]本技术涉及晶圆贴片加工夹具的
，特别是涉及一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具。
技术介绍
[0002]光分路器又称分光器，是光纤链路中重要的无源器件之一，是具有多个输入端和多个输出端的光纤汇接器件，目前在对光分路器的晶圆贴片加工固定时，现有技术CN201922141540.2中，该夹具包括底座、三爪卡盘、支撑柱；所述底座上设置有三爪卡盘，且三爪卡盘的底部通过支撑柱与底座固定连接；所述三爪卡盘的中间设置有真空吸盘，且真空吸盘通过螺母与三爪卡盘相连接；所述三爪卡盘的顶面上依次设置有晶圆贴片、盖板及上盖；所述底座的一侧设置有支撑臂，且支撑臂通过焊接方式与底座相连接；所述螺杆的下端设置有压板，但该夹具在对晶圆贴片夹持时发现，三爪卡盘的卡爪与晶圆贴片接触时的缓冲效果较差，一但卡爪的移动行程过长，则容易出现卡爪对晶圆贴片损坏的情况，因此提出一种提高晶圆贴片防护效果的夹具。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种通过多组第一弹簧分别对多组夹板提供弹力，提高多组夹板与晶圆贴片之间的缓冲效果，避免多组第三壳体移动行程过长造成多组夹板对晶圆贴片夹持损坏的情况，提高夹具对晶圆贴片的防护效果的用于光分路器晶圆贴片加工夹具。
[0004]本技术的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，包括底座、按压装置、第一壳体、第二壳体、多组第三壳体、驱动装置、多组第一导向柱、多组夹板和多组第一弹簧，第一壳体底端与底座顶端连接，第二壳体底端与第一壳体顶端连接，底座右部设置有按压装置，并且按压装置设置在第二壳体上方，多组第三壳体均通过驱动装置滑动安装在第二壳体内部，多组第一导向柱左右两端分别与多组第三壳体内侧壁连接，多组夹板下部分别滑动设置在多组第三壳体内部，并且多组夹板下部分别套装在多组第一导向柱外侧壁上，多组第一弹簧分别配合套装在多组第一导向柱外侧壁上，第二壳体顶端设置有多组通槽，多组夹板上部均穿过通槽伸出第二壳体外部；首先将晶圆贴片放置第二壳体顶端中部，之后通过驱动装置带动多组第三壳体同步相互靠近移动，使多组第三壳体带动多组夹板相互靠近移动，从而使多组夹板与晶圆贴片外沿接触，使多组夹板将晶圆贴片夹持固定，通过多组第一弹簧分别对多组夹板提供弹力，当多组夹板与晶圆贴片接触时，提高多组夹板与晶圆贴片之间的缓冲效果，避免多组第三壳体移动行程过长造成多组夹板对晶圆贴片夹持损坏的情况，提高夹具对晶圆贴片的防护效果。
[0005]优选的，所述按压装置包括按压盘、第二导向柱、限位板、连接盘、第一电缸、支撑装置、气箱、吸气装置和多组第二弹簧，按压盘上设置有多组通槽，并且按压盘上的多组通槽分别与第二壳体顶端的多组通槽相匹配，多组第二导向柱底端均与按压盘顶端连接，多
组限位板分别与多组第二导向柱顶端连接，连接盘上下滑动套装在多组第二导向柱外侧壁上，多组第二弹簧分别配合套装在多组第二导向柱外侧壁上，并且多组第二弹簧均设置在多组连接盘底端，第一电缸的固定端安装在支撑装置上，第一电缸的移动端与连接盘顶端连接，气箱安装在按压盘顶端，并且按压盘顶端中心位置设置有通孔，气箱与按压盘的通孔相通，气箱输出端与吸气装置连通；当多组夹板将晶圆贴片夹持固定后，通过第一电缸移动端带动连接盘向下移动，连接盘通过多组第二弹簧和多组第二导向柱带动按压盘向下移动，从而使按压盘向下对位于第二壳体顶端的晶圆贴片按压，从而提高夹具对晶圆贴片固定的牢固性，通过设置多组第二弹簧对按压盘和连接盘之间提供弹性，从而提高按压盘对晶圆贴片的按压弹性，提高晶圆贴片的保护效果，当按压盘对晶圆贴片按压后，按压盘底端与晶圆贴片顶面贴合，通过吸气装置对气箱内吸气，使气箱通过按压盘的通孔将晶圆贴片顶面吸附固定，从而当第一电缸带动连接盘向上移动时，使按压盘带动晶圆贴片向上移动，提高晶圆贴片收取的操作便利性。
[0006]优选的，所述驱动装置包括伸缩柱、连接块、多组连接臂和第二电缸，伸缩柱的固定端安装在第二壳体内侧壁上，伸缩柱的移动端穿过第二壳体底端与连接块顶端连接，多组连接臂的底端均与连接块外侧壁旋转连接，第二壳体底端设置有多组通槽，多组连接臂的顶端分别穿过第二壳体底端多组通槽与多组第三壳体底端旋转连接；通过控制第二电缸移动端伸缩长度，使第二电缸移动端带动连接块向上或向下移动，当连接块向下移动时，连接块通过多组连接臂带动多组第三壳体相互靠近移动，提高多组夹板对晶圆贴片夹持固定的便利性，通过设置伸缩柱，提高连接块升降移动的稳定性，提高夹具对晶圆贴片夹持的稳定性。
[0007]优选的，所述支撑装置包括第四壳体、支架和电机，第四壳体底端与底座顶端连接，支架底端旋转安装在第四壳体顶端，第一电缸的固定端安装在支架上部，电机安装在第四壳体内侧壁上，电机输出端与支架底端同心连接；当按压盘向上移动将晶圆贴片拾取后，通过打开电机带动支架旋转，使支架带动第一电缸摆动旋转，从而使按压盘带动晶圆贴片不同位置移动输送，提高夹具对晶圆贴片移动输送的便利性。
[0008]优选的，所述吸气装置包括真空泵，真空泵安装在底座顶端，真空泵输入端连通设置有软管，软管输入端与气箱输出端连通；打开真空泵通过软管对气箱内吸气，从而使气箱通过按压盘的通孔将晶圆贴片吸附固定在按压盘底端。提高晶圆贴片拾取的便利性。
[0009]优选的，还包括多组防护垫，多组防护垫分别安装在多组夹板外侧壁上；通过设置多组防护垫，降低多组夹板与晶圆贴片接触时的磨损，提高晶圆贴片的防护效果。
[0010]优选的，还包括多组防滑支脚，多组防滑支脚均安装在底座底端；通过设置多组防滑支脚，提高底座底端与地面之间的防滑效果，进而提高夹具的使用位置稳定性。
[0011]优选的，所述夹板至少为三组；通过增加多组夹板的数量，提高多组夹板对晶圆贴片夹持的稳定性。
[0012]与现有技术相比本技术的有益效果为：首先将晶圆贴片放置第二壳体顶端中部，之后通过驱动装置带动多组第三壳体同步相互靠近移动，使多组第三壳体带动多组夹板相互靠近移动，从而使多组夹板与晶圆贴片外沿接触，使多组夹板将晶圆贴片夹持固定，通过多组第一弹簧分别对多组夹板提供弹力，当多组夹板与晶圆贴片接触时，提高多组夹板与晶圆贴片之间的缓冲效果，避免多组第三壳体移动行程过长造成多组夹板对晶圆贴片
夹持损坏的情况，提高夹具对晶圆贴片的防护效果。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图；
[0014]图2是连接块与连接臂等连接的局部结构示意图；
[0015]图3是夹板与防护垫等连接的轴测局部结构示意图；
[0016]图4是按压盘与第二导向柱等连接的轴测局部结构示意图；
[0017]附图中标记：1、底座；2、第一壳体；3、第二壳体；4、第三壳体；5、第一导向柱；6、夹板；7、第一弹簧；8、按压盘；9、第二导向柱；10、限位板；11、连接盘；12、第一电缸；13、气箱；14、伸缩柱；15、连接块；16、连接臂；17、第二电缸；18、第四壳体；19、支架；20、电机；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于，包括底座(1)、按压装置、第一壳体(2)、第二壳体(3)、多组第三壳体(4)、驱动装置、多组第一导向柱(5)、多组夹板(6)和多组第一弹簧(7)，第一壳体(2)底端与底座(1)顶端连接，第二壳体(3)底端与第一壳体(2)顶端连接，底座(1)右部设置有按压装置，并且按压装置设置在第二壳体(3)上方，多组第三壳体(4)均通过驱动装置滑动安装在第二壳体(3)内部，多组第一导向柱(5)左右两端分别与多组第三壳体(4)内侧壁连接，多组夹板(6)下部分别滑动设置在多组第三壳体(4)内部，并且多组夹板(6)下部分别套装在多组第一导向柱(5)外侧壁上，多组第一弹簧(7)分别配合套装在多组第一导向柱(5)外侧壁上，第二壳体(3)顶端设置有多组通槽，多组夹板(6)上部均穿过通槽伸出第二壳体(3)外部。2.如权利要求1所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述按压装置包括按压盘(8)、第二导向柱(9)、限位板(10)、连接盘(11)、第一电缸(12)、支撑装置、气箱(13)、吸气装置和多组第二弹簧(25)，按压盘(8)上设置有多组通槽，并且按压盘(8)上的多组通槽分别与第二壳体(3)顶端的多组通槽相匹配，多组第二导向柱(9)底端均与按压盘(8)顶端连接，多组限位板(10)分别与多组第二导向柱(9)顶端连接，连接盘(11)上下滑动套装在多组第二导向柱(9)外侧壁上，多组第二弹簧(25)分别配合套装在多组第二导向柱(9)外侧壁上，并且多组第二弹簧(25)均设置在多组连接盘(11)底端，第一电缸(12)的固定端安装在支撑装置上，第一电缸(12)的移动端与连接盘(11)顶端连接，气箱(13)安装在按压盘(8)顶端，并且按压盘(8)顶端中心位置设置有通孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴斯钰，李艳娟，
申请(专利权)人：湖北隆天光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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