本发明专利技术涉及冷凝器、空调机、曝光装置以及物品的制造方法。冷凝器具备：冷凝部(17)，其使第一流体(19)与第二流体(21)之间进行热交换以使第一流体(19)的温度降低；调整阀(14)，其调整向冷凝部(17)流动的第二流体(21)的流量；温度调整部(18)，其调整向冷凝部(17)流动的第二流体(21)的温度；测量部(16)，其测量从冷凝部(17)流出的第一流体(19)的预定物理量；以及控制部(23、24)，在由测量部(16)测量的第一流体(19)的预定物理量脱离了预定范围时控制部(23、24)使调整阀(14)动作以调整调整阀(14)的开度，并且对动作的次数进行计数，在调整阀(14)的动作的次数等于或大于第一次数时，控制部(23、24)使温度调整部(18)调整第二流体(21)的温度。的温度。的温度。
【技术实现步骤摘要】
冷凝器、空调机、曝光装置以及物品的制造方法
[0001]本专利技术涉及冷凝器，特别是涉及用于空调机的冷凝器。
技术介绍
[0002]以往，为了调整流体的流量而使用如下调整阀，该调整阀中使阀体相对于在阀孔形成的阀座而着座和脱离由此对供流体通过的阀孔进行开闭。
[0003]在那样的调整阀中，已知存在如下问题，重复动作即重复着座和脱离，由此该阀体会导致该阀座的磨损加剧，从而导致对该阀孔进行开闭的控制性降低。
[0004]专利文献1公开了如下调整阀，根据累积动作次数来变更为了开放阀孔而使阀体移动的位置，由此抑制对阀孔进行开闭的控制性降低。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2016
‑
205484号公报
技术实现思路
[0008]专利技术所要解决的问题
[0009]另一方面，在冷凝器的制水阀中，在通常动作下不会将阀孔完全封闭，即进行控制来对开度大致固定的阀孔的该开度进行微调。
[0010]因此，作为那样的制水阀，经常会使用如下调整阀，在该调整阀中设置相互啮合的电机齿轮以及连接于阀体的阀体齿轮，通过使该电机齿轮进行旋转而该阀体齿轮进行旋转，以对阀孔的开度进行调整。
[0011]即在那样的调整阀中，重复如下动作，在电机齿轮与阀体齿轮之间的啮合区域的周围，双方仅旋转微小的角度，使得阀孔的开度以预定大小为中心来进行微调。
[0012]因此，在那样的调整阀中，随着动作的次数增加，在啮合区域中该电机齿轮以及该阀体齿轮各自的齿发生磨损。
[0013]而且，在啮合区域中当双方的齿发生磨损时，与电机齿轮的旋转相应的阀体齿轮的旋转量的偏差增大，对阀孔的开度的调整精度降低。
[0014]因此本专利技术的目的在于，提供即使调整阀的动作次数增加也能够抑制对阀孔的开度进行调整的精度降低的冷凝器。
[0015]用于解决问题的方案
[0016]本专利技术涉及的冷凝器，其特征在于，具备：冷凝部，其使第一流体与第二流体之间进行热交换以使第一流体的温度降低；调整阀，其调整向冷凝部流动的第二流体的流量；温度调整部，其调整向冷凝部流动的第二流体的温度；测量部，其测量从冷凝部流出的第一流体的预定物理量；以及控制部，在由测量部测量的第一流体的预定物理量脱离了预定范围时，控制部使调整阀进行动作来对调整阀的开度进行调整，并且对动作的次数进行计数，在调整阀的动作的次数等于或大于第一次数时，控制部使温度调整部对第二流体的温度进行
调整。
[0017]专利技术的效果
[0018]根据本专利技术，能够提供即使调整阀的动作次数增加也能够抑制对阀孔的开度进行调整的精度降低的冷凝器。
附图说明
[0019]图1是具备第一实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统的示意结构图以及用于说明该冷凝器的动作的框图。
[0020]图2是示出在第一实施方式涉及的冷凝器设置的调整阀的动作机构的示意图。
[0021]图3是示出第一实施方式涉及的冷凝器的动作的流程图。
[0022]图4是具备第二实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统的示意结构图以及用于说明该冷凝器的动作的框图。
[0023]图5是示出第三实施方式涉及的冷凝器的动作的流程图。
[0024]图6是具备本实施方式涉及的冷凝器的曝光装置的结构图。
[0025]附图标记说明
[0026]14：调整阀；16：压力传感器(测量部)；17：冷凝部；18：加热器(温度调整部)；19：制冷剂(第一流体)；21：液体(第二流体)；23：调整阀控制部(控制部)；24：加温控制部(控制部)。
具体实施方式
[0027]以下，基于附图来详细说明本实施方式涉及的冷凝器。另外，为了能够容易地理解本实施方式，以下所示的附图是用与实际不同的比例来描绘的。
[0028][第一实施方式][0029]图1的(a)示出具备第一实施方式涉及的冷凝器的冷冻系统100的示意结构图。
[0030]如图1的(a)所示，在冷冻系统100中，在蒸发器11中制冷剂19(第一流体)与空气13(第三流体)相互进行热交换。另外，空气13也可以是液体。
[0031]具体来讲，空气13与制冷剂19之间进行热交换，由此由膨胀阀10调整制冷剂19的流量，以使由温度传感器12测量的空气13的温度降低至预定温度。
[0032]然后被调整了流量的制冷剂19在变化为低温低压的液体状态之后通过蒸发器11，由此与空气13之间进行热交换。
[0033]然后，与空气13之间进行了热交换的制冷剂19在压缩器15中变化为高温高压的气体状态。
[0034]另外，从供给部60例如供给作为冷却水的液体21(第二流体)，变化为高温高压的气体状态的制冷剂19在冷凝部17中与液体21之间进行热交换，由此在变化为低温高压的液体状态之后，再行进至膨胀阀10。
[0035]另一方面，在冷凝部17中与制冷剂19之间进行热交换由此成为高温的液体52在从冷凝部17被排出之后，被供给部60回收。之后，重复上述的循环。
[0036]这里，调整阀控制部23基于来自对制冷剂19的压力进行监视的压力传感器16的测量值来控制调整阀14的开度由此调整液体21的流量，以使在冷凝部17中与液体21之间进行
了热交换的制冷剂19的压力成为目标大小。
[0037]本实施方式涉及的冷凝器由调整阀14、压力传感器16(测量部)、冷凝部17、加热器18(温度调整部)、温度传感器20、调整阀控制部23(控制部)以及加温控制部24(控制部)构成。
[0038]图2的(a)是示出在本实施方式涉及的冷凝器设置的调整阀14的动作机构的示意图。
[0039]如图2的(a)所示，在调整阀14中，电机齿轮27(第二齿轮)与连接于未图示的阀体的阀体齿轮28(第一齿轮)在啮合区域14a中形成相互啮合的构造。
[0040]而且，根据从调整阀控制部23输出的开度信号，电机齿轮27旋转至预定位置从而阀体齿轮28旋转至预定位置，由此阀体移动，调整阀14的开度被变更。
[0041]在冷冻系统100中，在重复上述的循环时，在调整阀14流动的液体21的流量、温度不发生大的变动。
[0042]因而，以电机齿轮27与阀体齿轮28在啮合区域14a中一边啮合一边仅分别进行微小旋转的方式，调整阀14以大致相同的开度持续动作，即不使啮合区域14a变化来进行动作。
[0043]因此当调整阀14持续动作时，保持啮合区域14a不会大幅变化的状态，电机齿轮27与阀体齿轮28分别以微小的旋转角范围进行旋转，由此导致双方的齿磨损加剧。
[0044]图2的(b)示出啮合区域14a中的齿在磨损加剧时的电机齿轮27以及阀体齿轮28。
[0045]而且，当在电机齿轮27以及阀体齿轮28中分别形成磨损部29a以及磨损部29b时，在啮合区域14a中，电机齿轮27与阀体齿轮28无法相互啮合，导致本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷凝器，其特征在于，具备：冷凝部，其使第一流体与第二流体之间进行热交换以使该第一流体的温度降低；调整阀，其调整向该冷凝部流动的所述第二流体的流量；温度调整部，其调整向所述冷凝部流动的所述第二流体的温度；测量部，其测量从所述冷凝部流出的所述第一流体的预定物理量；以及控制部，在由所述测量部测量的所述第一流体的所述预定物理量脱离了预定范围时，所述控制部使所述调整阀动作以调整所述调整阀的开度，并且对该动作的次数进行计数，在所述调整阀的该动作的次数等于或大于第一次数时，所述控制部使所述温度调整部调整所述第二流体的所述温度。2.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，具备对所述第二流体的所述温度进行测量的温度传感器，在所述调整阀的所述动作的次数等于或大于所述第一次数时，如果由所述温度传感器测量的所述第二流体的所述温度等于或低于预定温度，则所述控制部使所述温度调整部调整所述第二流体的所述温度。3.根据权利要求2所述的冷凝器，其特征在于，在所述调整阀的所述动作的次数等于或大于所述第一次数时，如果由所述温度传感器测量的所述第二流体的所述温度大于所述预定温度，则所述控制部进行预定通知，并且使所述冷凝器的动作停止。4.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，所述调整阀被构造为，伴随着使与连接于阀体的第一齿轮在啮合区域中啮合的第二齿轮进行旋转而该第一齿轮进行旋转，以调整所述调整阀的所述开度，在对所述第二流体进行温度调整时，所述控制部使所述第二齿轮进行旋转，以使所述第一齿轮以及所述第二齿轮各自的形成所述啮合区域的齿变更。5.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，在所述调整阀的所述动作的次数等于或大于所述第一次数时，所述控制部进行预定通知。6.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，在对所述第二流体进行温度调整之后，在所述调整阀的所述动作的次数等于或大于第二次数时，所述控制部进行预定通知，并且使所述冷凝器的动作停止，所述第二次数大于所述第一次数。7.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，所述预定物理量为压力。8.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，所述温度调整部为对所述第二流体进行加温的加热器。9.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，所述温度调整部为三通阀，该三通阀连接于用于从所述冷凝部排出所述第二流体的排出路、用于向所述第二流体的供给部回收所述第二流体的回收路以及用于从该供给部供给所述第二流体的供给路。10.一种冷冻系统，其特征在于，具备：
根据权利要求1至9中的任一项所述的冷凝器；以及蒸发器，其使第一流体与第三流体之间进行热交换以使第三流体的温度降低。...
【专利技术属性】
技术研发人员：中道亨，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：
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