【技术实现步骤摘要】
一种防止CMP机台马达电源线接头损坏的固定机构
[0001]本技术涉及的是一种防止CMP机台马达电源线接头损坏的固定机构。
技术介绍
[0002]现有技术中，半导体研磨设备如mirra mesa,mirra ontrak等CMP研磨设备都存在如下的情况：当机台在生产研磨过程中会出现拉扯马达(sweep motor)电源线接头导致接触不良的情况，接头接触不良会使机台报警，并且存在损坏晶圆以及研磨头的情况。而且此电源线更换成本较高，以及需要花费较大人力及时间成本，影响机台的工作效率，耽误产能。
[0003]具体的，现有技术电源线接头由于没有固定，在机台运动过程中接头会被拉扯到，由于接头部分是裸露的，比较脆弱，因此被拉扯后很容易出现接触不良的现象，一旦有接触不良的情况就需要把整根线全部换掉。
技术实现思路
[0004]本技术提出的是一种防止CMP机台马达电源线接头损坏的固定机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，使接头不随cross(旋转十字架)和马达的运动而晃动，避免拉扯电源线接头。
[0005]本技术的技术解决方案：一种防止CMP机台马达电源线接头损坏的固定机构，其结构包括四台呈矩形相邻设置且输出端垂直于矩形四条边的马达，每个马达连接一电源线接头，每个电源线接头两端分别通过一扎带固定在对应马达的顶面上，扎带绕过马达外侧面一圈。
[0006]优选的，为了对电源线接头进行有效固定，所述的电源线接头包括依次连接的接头本体、电源线U形部和电源线竖直部，接头本体平放在马达顶面上、一端连接马...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防止CMP机台马达电源线接头损坏的固定机构，其结构包括四台呈矩形相邻设置且输出端垂直于矩形四条边的马达(1)，每个马达(1)连接一电源线接头(2)，其特征在于，每个所述的电源线接头(2)两端分别通过一扎带(3)固定在对应马达(1)的顶面上，扎带(3)绕过马达(1)外侧面一圈。2.如权利要求1所述的一种防止CMP机台马达电源线接头损坏的固定机构，其特征在于，所述的电源线接头(2)包括依次连接的接头本体(4)、电源线U形部(5)和电源线竖直部(6)，接头本体...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨玉恒，吴正龙，李春，李峰，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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