一种真空环境下样品传存工具及其工作系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种真空环境下样品传存工具及其工作系统，样品传存工具包括固定连接的抓取头以及样品座，样品座与多维移动台固定连接，在多维移动台的带动下沿多维移动台的轴向发生移动和转动；本申请所设计的样品传存工具同时具备了样品的抓取和存放的功能。基于上述样品传存工具，本申请通过在多个真空腔体以及真空腔体内样品传存工具的组合，可以完成多个真空腔体之间样品的灵活传递。多个真空腔体之间样品的灵活传递。多个真空腔体之间样品的灵活传递。

【技术实现步骤摘要】
一种真空环境下样品传存工具及其工作系统


[0001]本技术属于真空环境设备
，尤其是一种真空环境下样品传存工具及其工作系统。

技术介绍

[0002]在真空环境中，样品在不同真空腔体或设备件之间的传递需要传样及存样结构进行配合，实现样品从一个位置移动到另一个位置。
[0003]在传递过程中需要将样品固定连接在样品托1上，样品托在传递过程中有两种固定方式，分别是抓取式和存样式。如图1抓取式是指得是通过特定结构设计的抓取头2，通过抓取头2固定样品托尾部的固定耳1a，固定住样品托1，形成“样品托1+抓取头2”这种固定方式。抓取头2固定在可线性移动
‑
转动的多维移动台3上组合成样品抓取工具11，可以实现对样品托移动、转动、固定等操作；但是抓取式固定方式每次只能固定一个样品托，即只能固定一个样品。
[0004]如图2存样式是利用样品座4固定样品托两侧一小部分区域；样品座4包括固定板4a和压紧件4b，样品托1的样品粘贴区1b边缘被压紧件4b和固定板4a配合，被固定在样品座4。样品座4可以堆叠多个样品托1，实现同时存放多个样品托1的结构。样品座4可以固定在另一个多维移动台3上组合成样品存样工具12，实现对样品座4和样品托1的移动、转动等操作。
[0005]通过样品抓取工具11、样品存样工具12以及多个真空腔体的组合，可实现样品托1在多个真空环境之间的传递。三个真空腔体分别是第一真空腔体5a、第二真空腔体5b、第三真空腔体5c，三个真空腔体用第一真空阀门6a和第二真空阀门6b分隔开。如图3，第一真空腔体5a内样品托1以存样台4的方式固定。第二真空腔体5b内采用抓取工具11的结构。第三真空腔体5c内采用样品存样工具12的结构。样品存样工具12从第三真空腔体5c送入到第二真空腔体5b中，再用抓取工具11将样品托1从存样工具12抓取下来。将样品存样工具12退回到第三真空腔体5c，此时样品托1固定在抓取工具11上。将抓取工具11送入到第一真空腔体5a中，与存样台4配合，将样品固定在存样台4上。退回抓取工具11到第二真空腔体5b。即完成了样品有第三真空腔体5c传递到第一真空腔体5a。反之类似。
[0006]但是目前的样品传存工具以及样品传递存在如下问题：
[0007](1)结构固化，不能任意拓展：前述案例可见，相邻真空腔体之前的样品传递必须采用抓取头2和样品座4交替的结构，才能进行相互连接。这限制了真空腔体之间的连接自由度，在某些特殊应用环境下，可能相互间无法匹配。例如，如果从设计上去掉第二真空腔体5b，那么此时第三真空腔体5c和第一真空腔体5a将无法配合。
[0008](2)调整复杂，成本高：问题1在现有结构下，可以通过在单个真空腔体上同时安装抓取工具11和样品存样工具12。这可以一定程度解决问题1拓展问题。但是它带来了增加了抓取工具11或样品存样工具12成本，同时占据了真空腔体法兰空间。

技术实现思路

[0009]为了解决现有技术中存在的不足，本申请提出了一种真空环境下样品传存工具及其工作系统，一方面本申请所设计的样品传存工具同时具备了样品的抓取和存放的功能，另一方面通过灵活组装真空腔以及样品传存工具，可以实现多个真空腔体中样品传递的灵活性。
[0010]本技术所采用的技术方案如下：
[0011]一种真空环境下样品传存工具，传存工具包括：
[0012]抓取头，所述抓取头的一端与样品托可拆卸连接，对样品托进行抓取和分离；
[0013]样品座，所述样品座上设置至少一个用于固定样品托的样品存储槽；样品座的一端与抓取头固定连接。
[0014]进一步，样品座的另一端与多维移动台固定连接。
[0015]进一步，组装后的所述抓取头、样品座和多维移动台同轴设置，在多维移动台的带动下沿多维移动台的轴向发生移动和转动。
[0016]进一步，多维移动台采用磁力杆、摇摆杆、4轴位移台、直线驱动器、角度调节波纹管、旋转机械手或者组合使用。
[0017]一种真空环境下样品传存的工作系统，包括：
[0018]至少设置2个真空腔体；真空腔体之间相互连接，在真空腔体的连接处设置真空阀门；
[0019]设置在真空腔体内的传存工具；所述传存工具在真空腔体内沿传存工具所在轴线移动或转动；相互连接的真空腔体内的传存工具之间相互垂直；在相互连接的真空腔体之间，传存工具之间互相利用抓取头、样品座，将样品托在传存工具之间相互传递；
[0020]设置在真空腔体内的多维移动台，所述多维移动台与传存工具固定连接。
[0021]进一步，所述真空腔体之间可拆卸连接。
[0022]进一步，沿传存工具所在轴线的周向，在该传存工具所在真空腔体的外壁连接一个或多个真空腔体，每个真空腔体内设置传存工具。
[0023]进一步，在其中一个真空腔体内仅设置一个样品座。
[0024]进一步，在其中一个真空腔体内同时设置一个样品座和一个传存工具。
[0025]进一步，所述真空腔体内的样品座配有多维移动台，调整样品座位置以及样品座上样品托抓取端的朝向。
[0026]本技术的有益效果：
[0027]1)结构自由，可自由连接：本技术的样品传存工具，同时具备了样品的抓取和存放的功能，因此腔体相互连接时，无需考虑配合关系可自由连接。
[0028]2)结构简单，成本低：只需一套样品传存工具即可完成两个腔体之间的任意传递方式，有效的降低成本。
[0029]3)降低了系统设计难度：因为改样品传存工具同时具备了样品的抓取和存放的功能，因此在系统设计上无需考虑多个腔体件的传存关系，大幅度降低了设计难度和时间成本。
[0030]4)兼容性高：本技术的结构可以与现有设计完美兼容，不需要做任何调整。
附图说明
[0031]图1是现有技术中抓取式样品传存工具结构示意图；
[0032]图2是现有技术中存样式样品传存工具结构示意图；
[0033]图3是现有技术中样式样品传存工具的工作系统示意图
[0034]图4是本技术样品传存工具结构示意图；
[0035]图5是本技术样品传存工具结构示意图；
[0036]图6是本技术样品传存工具的工作系统示意图；
[0037]图7是本技术样品传存工具的工作系统示意图；
[0038]图中，1、样品托，1a、固定耳，1b、样品粘贴区，2、抓取头，3、多维移动台，4、样品座，4a、固定板，4b、压紧件，5a、第一真空腔体，5b、第二真空腔体，5c、第三真空腔体，6a、第一真空阀门，6b、第二真空阀门，11、抓取工具，12、样品存样工具，13、样品传存工具。
具体实施方式
[0039]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，并不用于限定本技术。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空环境下样品传存工具，其特征在于，传存工具(13)包括：抓取头(2)，所述抓取头(2)的一端与样品托(1)可拆卸连接，对样品托(1)进行抓取和分离；样品座(4)，所述样品座(4)上设置至少一个用于固定样品托(1)的样品存储槽；样品座(4)的一端与抓取头(2)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种真空环境下样品传存工具，其特征在于，样品座(4)的另一端与多维移动台(3)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种真空环境下样品传存工具，其特征在于，组装后的所述抓取头(2)、样品座(4)和多维移动台(3)同轴设置，在多维移动台(3)的带动下沿多维移动台(3)的轴向发生移动和转动。4.根据权利要求2或3所述的一种真空环境下样品传存工具，其特征在于，多维移动台(3)采用磁力杆、摇摆杆、4轴位移台、直线驱动器、角度调节波纹管、旋转机械手或者组合使用。5.一种真空环境下样品传存的工作系统，其特征在于，包括：至少设置2个真空腔体；真空腔体之间相互连接，在真空腔体的连接处设置真空阀门；设置在真空腔体内的传存工具(13)；所述传存工具(13)在真空腔体内沿传存工具(13)所在轴线移动或转动；相互连接的真...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪晓平，王振中，
申请(专利权)人：长三角先进材料研究院，
类型：新型
国别省市：