一种极高真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种极高真空泵，其包括：第一级真空组件，所述第一级真空组件包括：第一级活塞连杆组件，第一级双向伸缩液压缸，第一级左泵，第一级右泵；所述第一级活塞连杆组件的两端分别设置有第一左活塞和第一右活塞，所述第一左活塞和所述第一右活塞之间设置有第一驱动活塞；所述第一驱动活塞安装在所述第一级双向伸缩液压缸内；所述第一左活塞安装在所述第一级左泵内；所述第一右活塞安装在所述第一级右泵内；第二级真空组件，所述第二级真空组件可与所述第一级真空组件的结构一致，所述第一级真空组件与真空室连接，所述第二级真空组件与所述第一级真空组件串联并与外界连接；实现精简泵的制作工艺，降低制造成本，并且易于量产。且易于量产。且易于量产。

【技术实现步骤摘要】
一种极高真空泵


[0001]本技术涉及到真空泵技术设备领域，尤其涉及到一种极高真空泵。

技术介绍

[0002]在现代工业和科研领域中都离不开高真空环境，但现有的高端UHV和XHV真空技术都被国外垄断。
[0003]现有的真空泵为取得高真空环境，其制造工艺较为复杂、成本较高，部分更是难以量产，实施中的压缩比不能做得太大。
[0004]因此，亟需一种能够解决以上一种或多种问题的极高真空泵。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中存在的一种或多种问题，本技术提供了一种极高真空泵。本技术为解决上述问题采用的技术方案是：一种极高真空泵，其包括：第一级真空组件，所述第一级真空组件包括：第一级活塞连杆组件，第一级双向伸缩液压缸，第一级左泵，第一级右泵；
[0006]所述第一级活塞连杆组件的两端分别设置有第一左活塞和第一右活塞，所述第一左活塞和所述第一右活塞之间设置有第一驱动活塞；
[0007]所述第一驱动活塞安装在所述第一级双向伸缩液压缸内；
[0008]所述第一左活塞安装在所述第一级左泵内；
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种极高真空泵，其特征在于，第一级真空组件，所述第一级真空组件包括：第一级活塞连杆组件，第一级双向伸缩液压缸，第一级左泵，第一级右泵；所述第一级活塞连杆组件的两端分别设置有第一左活塞和第一右活塞，所述第一左活塞和所述第一右活塞之间设置有第一驱动活塞；所述第一驱动活塞安装在所述第一级双向伸缩液压缸内；所述第一左活塞安装在所述第一级左泵内；所述第一右活塞安装在所述第一级右泵内；所述第一级双向伸缩液压缸、所述第一级左泵、所述第一级右泵的中心轴在同一水平线上；所述第一级左泵和所述第一级右泵均设置有第一通气孔组，所述第一通气孔组至少包括：第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔组内设置有控制阀门，所述控制阀门用于控制通气孔的启闭；真空室，所述真空室与所述第一通气孔连接；第二级真空组件，所述第二级真空组件至少设置有一个，所述第二级真空组件包括：第二级活塞连杆组件，第二级双向伸缩液压缸，第二级左泵，第二级右泵；所述第二级活塞连杆组件的两端分别设置有第二左活塞和第二右活塞，所述第二左活塞和所述第二右活塞之间设置有第二驱动活塞；所述第二驱动活...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文星，
申请(专利权)人：九江市浩轩新能源开发有限公司，
类型：新型
国别省市：