一种用于LDSE光斑缺失的自检装置及方法制造方法及图纸

技术编号:35937986 阅读:34 留言:0更新日期:2022-12-14 10:25
本发明专利技术公开一种用于LDSE光斑缺失的自检装置及方法,包括移动滑轨;移动滑轨上连接有镜架;镜架上安装有光闸板;光闸板上设置有光信号感应器;光信号感应器与系统连接;系统设置在主机台上;主机台上设置有报警模块,其通过在光路中加入一道可以移动的光闸(工作时,光闸移开;不工作时,光闸移动过来阻挡光路&检测光斑的完整度)。根据光闸反馈的信号给系统(光斑是否完整)进而传递出报警信号,操作员反馈处理异常。本发明专利技术通过机台自检能及时发现以及处理异常,从而提高电池片激光掺杂工序的效率及成品率。率及成品率。率及成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于LDSE光斑缺失的自检装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种用于LDSE光斑缺失的自检装置及方法,属于太阳能电池加工设备


技术介绍

[0002]日渐枯竭的传统化石能源意味着光伏能源市场的崛起,行业的发展日新月异,对高效电池的需求进一步增强。在LDSE(激光掺杂工序)中,由于激光对精度的高敏感性,机台在制造的过程避免不了产生机械振动,尘埃等进一步影响了光斑的聚焦&遮挡,导致了光斑缺失甚至于不出光的情况,且光斑缺失甚至于无光,机台并无报警机制仍持续的产生不良,容易造成大量的不良品影响电池片的效率。
[0003]在研究和实线高效电池片的过程中,光斑的缺失会有以下问题:1.机械振动:固定的扩束镜&整形镜组,已经调整好了确定的聚焦光斑点,随着机械振动,长时间的会导致各固定模块产生一定的偏移,从而导致光斑缺失无法聚焦2.灰尘:长时间的加工&车间环境会有部分的灰尘沉积到镜面等元件上,从而阻挡光线的照射,进而导致光斑产生缺失等情况。

技术实现思路

[0004]针对上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于LDSE光斑缺失的自检装置,其特征在于,装置包括移动滑轨(1);所述移动滑轨(1)上连接有镜架(2);所述镜架(2)上安装有光闸板(3);所述光闸板(3)上设置有光信号感应器(4);所述光信号感应器(4)与系统连接;所述系统设置在主机台上;所述主机台上设置有报警模块;所述报警模块用于对接收到的光信号进行判定是否报警。2.根据权利要求1所述的一种用于LDSE光斑缺失的自检装置,其特征在于,所述光信号感应器(4)设置有4个,其分别布置在方形光斑所在的四个角上。3.根据权利要求1所述的一种用于LDSE光斑缺失的自检装置,其特征在于,所述报警模块为蜂鸣报警装置。4.一种用于LDSE光斑缺失的自检方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:激光在加工硅片时,光源经过扩束镜组、整形镜组、反光镜片、振镜,最终发散到扩散后硅片,此时光闸装置通过移动滑轨(1)远...

【专利技术属性】
技术研发人员:王文健胡伟伟张校清
申请(专利权)人:南通苏民新能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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