一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道制造技术

技术编号:35935879 阅读:7 留言:0更新日期:2022-12-14 10:22
本实用新型专利技术提供一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,属于氮化硅粉生产技术领域,该连续式氮化硅粉生产线用降温风道包括降温管道,所述降温管道上设置有降温装置,所述降温管道内部设置有平移机构,所述平移机构上设置有滑块,所述滑块上设置有用于清理管道两侧内壁的清理装置;通过驱动装置可带动丝杠进行转动,通过丝杠可带动滑块进行转动,通过限位柱可对滑块进行限位,使其在上进行滑动,通过滑块带动清理装置进行移动,通过清理装置带动齿轮进行滑动,通过齿条带动齿轮进行转动,通过齿轮带动清理装置进行转动,有效的对降温风道内部进行清理,避免了灰尘在风道内部积攒,提高了降温效果。高了降温效果。高了降温效果。

【技术实现步骤摘要】
一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道


[0001]本技术属于氮化硅粉生产
,具体涉及一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道。

技术介绍

[0002]氮化硅耐高温性能和化学稳定性好,致密性好,是强共价键化合物,有良好的抗氧化、抗腐蚀和耐高温等性能,并且不与熔融硅发生反应,非常符合提纯多晶硅过程中坩埚涂层的要求。但是作为涂层,要求氮化硅粉的纯度高,避免污染硅锭。
[0003]生产氮化硅粉会产生大量的灰尘,一般的降温管道里面会积攒大量灰尘,长时间会导致管道内部堵塞,降温效果不好。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,旨在解决现有技术中降温管道内部灰尘难以清理的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,包括:降温管道,所述降温管道上设置有降温装置,所述降温管道内部设置有平移机构,所述平移机构上设置有滑块,所述滑块上设置有清理管道两侧内壁的清理装置。
[0006]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有降温的作用,作为本技术一种优选的,所述降温装置包括固定连接在降温管道的机箱,所述机箱上固定连接有风扇。
[0007]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有将管道内部热气排出的作用,作为本技术一种优选的,所述机箱上设置有用于出气的出风口。
[0008]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有抽取车间内部空气的作用,作为本技术一种优选的,所述降温管道上设置有抽风口,所述抽风口上设置有用于过滤灰尘的过滤板,所述抽风口上设置有隔板。
[0009]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有带动装置平移的作用,作为本技术一种优选的,所述平移机构包括固定安装在降温管道的驱动装置,所述驱动装置的输出端固定连接有丝杠,所述丝杠上螺纹连接有滑块,所述降温管道上固定连接有安装块,所述安装块上固定连接有用于对滑块进行限位的限位柱。
[0010]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有驱动装置的作用,作为本技术一种优选的,所述驱动装置为电机。
[0011]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有清理装置的作用,作为本技术一种优选的,所述清理装置包括转动连接在滑块上的毛刷,所述毛刷上固定连接有齿轮,所述降温管道上固定连接有与齿轮啮合的齿条。
[0012]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有支撑装置的作用,作为本技术一种优选的,所述降温管道上固定连接有支撑杆,所述支撑杆上固定连接有支撑
柱。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0014]1、该连续式氮化硅粉生产线用降温风道,通过驱动装置可带动丝杠进行转动,通过丝杠可带动滑块进行转动,通过限位柱可对滑块进行限位,使其在上进行滑动,通过滑块带动清理装置进行移动,通过清理装置带动齿轮进行滑动,通过齿条带动齿轮进行转动,通过齿轮带动清理装置进行转动,有效的对降温风道内部进行清理,避免了灰尘在风道内部积攒,提高了降温效果。
[0015]2、该连续式氮化硅粉生产线用降温风道,通过风扇将降温管道内部的气体抽出,通过出风口可将气体带出,通过过滤板可过滤吸入管道内部的气体,通过支撑杆可支撑装置,通过支撑柱可将装置固定在天花板上,提高了装置的实用性。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0017]图1为本技术中的具体实施例的结构示意图;
[0018]图2为本技术中的具体实施例的结构示意图;
[0019]图3为本技术中的具体实施例降温管道内部的结构示意图;
[0020]图4为本技术中的具体实施例降温装置的结构示意图。
[0021]图中:1、降温管道;2、降温装置;3、平移机构;4、驱动装置;5、丝杠;6、滑块;7、清理装置;8、齿轮;9、齿条;10、安装块;11、限位柱; 12、机箱;13、风扇;14、出风口;15、抽风口;16、过滤板;17、隔板; 18、支撑杆;19、支撑柱;20、毛刷。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1

4,本技术提供以下技术方案:一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,包括:降温管道1,降温管道1上设置有降温装置2,降温管道1内部设置有平移机构3,平移机构3上设置有滑块6,滑块6两端设置有清理装置7。
[0024]在本技术的具体实施例中,通过降温装置2将车间内的空气抽取到降温管道1内,通过平移机构3带动滑块6进行移动,通过清理装置7对降温管道1内壁进行清理,有效的对降温风道内部进行清理,避免了灰尘在风道内部积攒,提高了降温效果。
[0025]具体的,降温装置2包括固定连接在降温管道1的机箱12,机箱12上固定连接有风扇13,通过风扇13将降温管道内部的气体抽出,通过出风口14 可将气体带出。
[0026]具体的,机箱12上设置有用于出气的出风口14,通过出风口14可将管道内部的气体带出。
[0027]具体的,降温管道1上设置有抽风口15,抽风口15上设置有用于过滤灰尘的过滤板16,抽风口15上设置有隔板17,通过抽风口15可将车间内部的气体带出,通过过滤板16可过
滤气体中的灰尘,通过隔板17可阻挡灰尘进入管道内部。
[0028]具体的,平移机构3包括固定安装在降温管道1的驱动装置4,驱动装置 4的输出端固定连接有丝杠5,丝杠5上螺纹连接有滑块6,降温管道1上固定连接有安装块10,安装块10上固定连接有用于对滑块6进行限位的限位柱 11,通过驱动装置4带动丝杠5进行转动,通过丝杠5对滑块6进行滑动,通过限位柱11对滑块6进行限位。
[0029]优选的,驱动装置4为电机。
[0030]具体的,清理装置7包括转动连接在滑块6上的毛刷20,毛刷20上固定连接有齿轮8,降温管道1上固定连接有与齿轮8啮合的齿条9,通过滑块6 带动毛刷20进行滑动,通过毛刷20带动齿轮8进行移动,通过齿条9带动齿轮8进行转动,通过齿轮8带动毛刷20进行转动。
[0031]具体的,降温管道1上固定连接有支撑杆18,支撑杆18上固定连接有支撑柱19,通过支撑杆18可支撑装置,通过支撑柱19可将装置固定在天花板上。
[0032]在本技术的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,其特征在于,包括:降温管道(1),所述降温管道(1)上设置有降温装置(2),所述降温管道(1)内部设置有平移机构(3),所述平移机构(3)上设置有滑块(6),所述滑块(6)上设置有清理管道两侧内壁的清理装置(7)。2.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,其特征在于:所述降温装置(2)包括固定连接在降温管道(1)的机箱(12),所述机箱(12)上固定连接有风扇(13)。3.根据权利要求2所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,其特征在于:所述机箱(12)上设置有用于出气的出风口(14)。4.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,其特征在于:所述降温管道(1)上设置有抽风口(15),所述抽风口(15)上设置有用于过滤灰尘的过滤板(16),所述抽风口(15)上设置有隔板(17)。5.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱俊杰
申请(专利权)人:河南中正宝明新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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