一种用于半导体测试机的转接装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体测试机的转接装置，包括承载固定板，所述承载固定板上连接有用于支撑的支撑机构，所述承载固定板上设有用于承载零部件的承载机构，所述承载机构上设有用于转接的转接机构，所述转接机构上设有连接固定板，所述转接机构的一端延伸至连接固定板中，所述承载固定板上连接有两个旋转机构，两个所述旋转机构上均连接有限位机构，两个所述限位机构分别与连接固定板的端面相接触。本实用新型专利技术中工作人员可以直接使用压板组件和收缩弹簧的配合使用把连接固定板限位住，进一步的就可以把转接板限位住，从而避免了转接板的上下移动，进一步的能够使转接板更为稳定，间接的提高了芯片的测试精准度。间接的提高了芯片的测试精准度。间接的提高了芯片的测试精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体测试机的转接装置


[0001]本技术涉及半导体测试
，尤其涉及一种用于半导体测试机的转接装置。

技术介绍

[0002]在测试设备中，测试机用于检测芯片功能和性能，探针台与分选机实现被测芯片与测试机功能模块的连接，晶圆检测环节需要使用测试机和探针台，成品测试环节需要使用测试机和分选机，具体测试流程如下：晶圆检测环节，晶圆检测是指通过探针台和测试机的配合使用，对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试，其测试过程为：探针台将晶圆逐片自动传送至测试位置，芯片的Pad点通过探针、专用连接线与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号，判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求，测试结果通过通信接口传送给探针台，探针台据此对芯片进行打点标记，形成晶圆的Map图。
[0003]经检索，中国专利授权号 CN 210665818 U公开了 一种用于半导体测试机的转接装置，包括：至少两个呈相对设置的支撑定位件，支撑板，以及位于支撑板的背离测试机的一侧板面上的转接板，转接板上包括有用于放置待测试芯片的测试插座；支撑板上包括有镂空槽，该镂空槽被配置为可将测试机Loadboard板与测试插座电连接导通。本技术提供的转接装置可实现当Handler与测试机对接以对芯片进行测试时，Handler与测试机之间对接的作用力不全部全部直接施加在包括有测试插座的转接板上，该转接装置可将Handler对测试插座施加的作用力转移到Loadboard固定板上，保护了测试机上的Loadboard板使其不易变形损坏，保证了芯片测试的。
[0004]现有的装置在使用的时候会出现以下问题：现有的装置在使用的时候仅仅通过Loadboard固定板、连接固定板和转接板上的限位零部件对转接板上的测试插座进行水平限位，而在实际工作的过程中，转接板很容易出现上下移动的情况，进一步的影响了芯片测试信号。
[0005]因此我们提出了一种用于半导体测试机的转接装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于半导体测试机的转接装置。
[0007]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0008]一种用于半导体测试机的转接装置，包括承载固定板，所述承载固定板上连接有用于支撑的支撑机构，所述承载固定板上设有用于承载零部件的承载机构，所述承载机构上设有用于转接的转接机构，所述转接机构上设有连接固定板，所述承载固定板上连接有两个旋转机构，两个所述旋转机构上均连接有限位机构，两个所述限位机构分别与连接固定板的端面相接触。
[0009]优选地，所述支撑机构包括固定连接于承载固定板上的多根承载柱，所述承载固定板的端面上固定连接有用于缓冲的防护垫，所述承载固定板的上端固定连接有两根限位筒，两根所述限位筒的内侧壁上均固定连接有限位环。
[0010]优选地，所述承载机构包括设置于承载固定板上的支撑板，所述支撑板内设有两个与限位环相匹配的插柱，所述支撑板的上端固定连接有两根固定柱。
[0011]优选地，所述限位环的直径比两根插柱的直径略小，且两个限位环的材质为硅胶材质。
[0012]优选地，所述转接机构包括设置于支撑板上的转接板，所述转接板的下端面设有两个与所述固定柱相匹配的固定孔。
[0013]优选地，所述旋转机构包括固定连接于承载固定板上的支撑限位块，所述支撑限位块的上端固定连接有两个阻尼转轴，两个所述阻尼转轴上均连接有阻尼转杆。
[0014]优选地，所述限位机构包括分别套接于两根所述阻尼转杆上的两块限位板，两块所述限位板上均固定连接有收缩弹簧，两根所述阻尼转杆上均插设有压板组件，两个所述收缩弹簧的一端分别与压板组件的侧壁相连接。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0016]本装置中，通过支撑限位块、阻尼转轴、阻尼转杆、限位板、收缩弹簧和压板组件的使用，工作人员可以直接使用压板组件和收缩弹簧的配合使用把连接固定板限位住，进一步的就可以把转接板限位住，从而避免了转接板的上下移动，进一步的能够使转接板更为稳定，间接的提高了芯片的测试精准度。
[0017]通过限位筒、防护垫、限位环、支撑板、擦互助、固定柱和连接板的使用，工作人员把支撑板覆盖到承载固定板上的时候，就可以把插柱插入到限位筒中，其中限位环能够对插柱进行限位，并且固定柱能够对转接板进行限位，同时防护垫能够增加支撑板的缓冲力，从而能够避免转接板的水平位置发生移动，同时也能够对转接板进行缓冲，进一步的提高了转接板的缓冲和支撑效果，间接的提高了装置的实用性。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种用于半导体测试机的转接装置的结构示意图；
[0019]图2为图1中A处局部放大结构示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种用于半导体测试机的转接装置的爆炸结构示意图；
[0021]图4为图3的仰视结构示意图；
[0022]图5为本技术提出的一种用于半导体测试机的转接装置中限位筒、限位环和插柱的局部连接结构示意图；
[0023]图6为图3的俯视结构示意图。
[0024]图中：1承载固定板、2连接固定板、3承载柱、4防护垫、5限位筒、6限位环、7支撑板、8插柱、9固定柱、10转接板、11固定孔、12压板组件、13支撑限位块、14阻尼转轴、15阻尼转杆、16限位板、17收缩弹簧。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]参照图1
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6，一种用于半导体测试机的转接装置，包括承载固定板1，尤为注意的是，承载固定板1与对比文件中CN 210665818 U公开了 一种用于半导体测试机的转接装置中的测试机相配合使用，此为现有技术，在此不过多陈述。
[0027]承载固定板1上连接有用于支撑的支撑机构，支撑机构包括固定连接于承载固定板1上的多根承载柱3，其中尤为注意的是承载柱3的形状为折弯状，从而能够对连接固定板2进行支撑，从而能够使转接板10所受到的压力随之转移分散，承载固定板1的端面上固定连接有用于缓冲的防护垫4，其中尤为注意的是防护垫4是充满气体的气垫，从而增加了支撑板7的缓冲力，承载固定板1的上端固定连接有两根限位筒5，两根限位筒5的内侧壁上均固定连接有限位环6，限位环6的直径比两根插柱8的直径略小，且两个限位环6的材质为硅胶材质，其中当插柱8插入到限位筒5中的时候，限位环6能够对插柱8进行限位，进一步的就可以使支撑板7得到水平方向的限位。
[0028]承载固定板1上设有用于承载零部件的承载机构，承载机构包括设置于承载固定板1上的支撑板7，其中支撑板7的下端面大多与承载固定板1的端面相接触，从而能够使支撑板7所受到的支撑更为均匀，支撑板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体测试机的转接装置，包括承载固定板（1），其特征在于，所述承载固定板（1）上连接有用于支撑的支撑机构，所述承载固定板（1）上设有用于承载零部件的承载机构，所述承载机构上设有用于转接的转接机构，所述转接机构上设有连接固定板（2），所述承载固定板（1）上连接有两个旋转机构，两个所述旋转机构上均连接有限位机构，两个所述限位机构分别与连接固定板（2）的端面相接触。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试机的转接装置，其特征在于，所述支撑机构包括固定连接于承载固定板（1）上的多根承载柱（3），所述承载固定板（1）的端面上固定连接有用于缓冲的防护垫（4），所述承载固定板（1）的上端固定连接有两根限位筒（5），两根所述限位筒（5）的内侧壁上均固定连接有限位环（6）。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试机的转接装置，其特征在于，所述承载机构包括设置于承载固定板（1）上的支撑板（7），所述支撑板（7）内设有两个与限位环（6）相匹配的插柱（8），所述支撑板（7）的上端固定连接有两根固定柱（9）。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维繁星，
申请(专利权)人：弘润半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：