本发明专利技术提供了一种过滤装置，包括过滤件和驱动机构；所述过滤件为空心结构，所述过滤件包括侧壁和设置于所述侧壁的滤孔；所述驱动机构连接所述过滤件，以驱动所述过滤件移动，使所述过滤件以一定距离围绕于所述晶圆，能够减少撕金工艺中金属碎屑粘附在腔室侧壁。本发明专利技术还提供了一种撕金设备。还提供了一种撕金设备。还提供了一种撕金设备。
【技术实现步骤摘要】
过滤装置和撕金设备
[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种过滤装置和撕金设备。
技术介绍
[0002]在半导体加工过程中，经常需要去除晶圆表面的不需要的金属，即进行撕金工艺。
[0003]现有技术中，撕金设备的在撕金过程中产生的金属碎屑会在晶圆旋转的离心力或冲洗液的冲击力作用下粘附在腔室的内壁面上，在设备维护时不仅需要拆除排废口的滤网还需要将腔室内壁上的金属碎屑清除，造成维护时间长，影响工艺效率。
[0004]因此，有必要开发一种新型过滤装置和撕金设备，以改善现有技术中存在的上述部分问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种过滤装置和撕金设备，能够减少撕金工艺中金属碎屑粘附在腔室侧壁。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供的过滤装置包括过滤件和驱动机构；所述过滤件为空心结构，所述过滤件包括侧壁和设置于所述侧壁的滤孔；所述驱动机构连接所述过滤件，以驱动所述过滤件移动。
[0007]本专利技术提供的过滤装置的有益效果在于：需要对晶圆进行撕金工艺时，所述驱动机构驱动所述过滤件移动，使空心的所述过滤件以一定距离围绕于所述晶圆的四周，当晶圆表面的大量金属碎屑被冲出或甩出晶圆时，金属碎屑会粘附在所述过滤件的侧壁上，液体从所述滤孔流出，实现金属碎屑的过滤和回收；同时，当撕金工艺完成时，所述驱动机构驱动所述过滤件返回原位，有利于避免了所述过滤件在其他工艺过程中干涉设备内的其他可活动机构的移动；此外，撕金过程中产生的金属碎屑数量多，当部分金属碎屑被粘附在所述过滤件侧壁时，从设备底部排废口排出的金属碎屑相对减少，有利于减少排废口被堵塞的风险，便于维护。
[0008]可选的，所述过滤件为柔性件，所述侧壁包括沿第一方向的第一端和第二端，所述第一端固定设置，所述驱动机构连接所述第二端，以驱动所述第二端沿所述第一方向或其反方向运动并使所述柔性件发生形变。其有益效果在于：由于所述过滤件可移动，当柔性件能够受力形变时，有利于需要移动的零部件的安装，刚性件在移动过程中可能发生机械干涉，柔性件相比刚性件不必预留出额外的用于移动的空间，有利于提升利用率减小设备体积。
[0009]可选的，所述过滤件还包括设置于所述第一端的第一支撑部和设置于所述第二端的第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部用于保持所述过滤件两端的形状。其有益效果在于：有利于柔性的所述过滤件维持自身形状。
[0010]可选的，所述过滤件还包括设置于所述第一端内侧的凸出部，所述第一支撑部设置于所述凸出部。其有益效果在于：便于未粘附在所述侧壁上的金属碎屑或从所述侧壁上
脱落的金属碎屑的回收。
[0011]可选的，所述过滤件还包括设置于所述第一端和所述第二端之间的第三支撑部，所述第三支撑部用于保持所述过滤件中部的形状。其有益效果在于：当所述过滤件较长时，有利于柔性的所述过滤件中间部分维持自身形状。
[0012]可选的，所述过滤件上所述第一支撑部至所述第三支撑部之间的部分柔性大于所述第三支撑部至所述第二支撑部的部分。其有益效果在于：当所述过滤件返回至初始位置时，所述过滤件上所述第一支撑部至所述第三支撑部的部分发生形变而折叠，使所述第一支撑部与所述第三支撑部之间的距离减小，而所述第三支撑部至所述第二支撑部的之间的部分不发生变化，继续维持原本的形状，实现在清洗液冲击力不大或旋转离心力不大时收集随液体流入晶圆下方的金属碎屑。
[0013]可选的，所述过滤件的材料为聚丙烯、聚四氟乙烯或不锈钢。其有益效果在于：有利于减小撕金所使用的工艺药剂腐蚀所述过滤件。
[0014]可选的，所述过滤装置还包括第二连接件，用于连接所述第二端和所述驱动机构；所述第二连接件的上表面为阶梯形，较低的阶梯面上开设有若干通孔，所述通孔用于排出积聚在所述第二连接件上表面的液体。其有益效果在于：有利于减小撕金药剂在所述第二连接件的表面积聚。
[0015]可选的，所述过滤装置还包括第一连接件，用于所述第一端固定连接于外部设备；所述第一连接件的上表面具有环形凸起部，所述环形凸起部与所述凸出部之间密封连接。其有益效果在于：所述环形凸起部有利于所述第一连接件与空心的所述过滤件相互定位并连接。
[0016]本专利技术还提供了一种撕金设备，包括上述的过滤装置，能够减少撕金工艺中金属碎屑粘附在腔室侧壁，便于金属的过滤和回收。
附图说明
[0017]图1为本专利技术实施例中过滤装置的结构示意图；
[0018]图2为图1所示的过滤件的结构示意图；
[0019]图3为图2所示的过滤件的结构透视图；
[0020]图4为图1所示的第二连接件的结构示意图；
[0021]图5为图1所示的第一连接件的结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]1、过滤装置；101、侧壁；1021、第一支撑部；1022、第二支撑部；1023、第三支撑部；103、凸出部；2、驱动机构；3、第一连接件；301、环形凸起部；4、第二连接件；401、第一阶梯面；402、第二阶梯面；5、晶圆。
具体实施方式
[0024]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术
语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0025]现有技术中，撕金设备的排废和回收金属方式是将金属碎屑连同药液一并通过排废管路排出，在排废管路的前端或末端设置过滤网进行金属碎屑的分离回收。由于滤网面积有限，大量的金属碎屑特别容易在滤网处累积并造成排废堵塞。
[0026]为解决现有技术存在的问题，本专利技术实施例提供了一种过滤装置。
[0027]图1为本专利技术实施例中过滤装置的结构示意图；图2为图1所示的过滤件的结构示意图；图3为图2所示的过滤件的结构透视图；图4为图1所示的第二连接件的结构示意图；图5为图1所示的第一连接件的结构示意图。
[0028]本专利技术一些实施例中，所述过滤装置应用于对半导体加工
，对固体材料进行回收。
[0029]本专利技术一些具体实施例中，所述过滤装置应用于对晶圆5进行撕金工艺的设备中，对金属碎屑进行回收。
[0030]本专利技术一些实施例中，参照图1和图2，所述过滤装置包括过滤件1和驱动机构2；所述过滤件1为空心结构，所述过滤件1包括侧壁101和设置于所述侧壁101的滤孔(图中未示出)；所述驱动机构2连接所述过滤件1，以驱动所述过滤件1移动。
[0031]本专利技术一些实施例中，参照图1和图2，所述过滤件1为圆筒状零件，其具有图示竖本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：过滤件和驱动机构；所述过滤件为空心结构，所述过滤件包括侧壁和设置于所述侧壁的滤孔；所述驱动机构连接所述过滤件，以驱动所述过滤件移动。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件为柔性件，所述侧壁包括沿第一方向的第一端和第二端，所述第一端固定设置，所述驱动机构连接所述第二端，以驱动所述第二端沿所述第一方向或其反方向运动并使所述柔性件发生形变。3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件还包括设置于所述第一端的第一支撑部和设置于所述第二端的第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部用于保持所述过滤件两端的形状。4.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件还包括设置于所述第一端内侧的凸出部，所述第一支撑部设置于所述凸出部。5.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件还包括设置于所述第一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈超，王一，戴红峰，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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