一种防止酸液倒吸的机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种防止酸液倒吸的机构，包括位于机构上端的反酸罐，以及设于所述反酸罐下端的储液罐，所述反酸罐用于防止酸液腐蚀硅片，并防止硅片破裂吸入发生管路，所述储液罐用于接收酸液；其中，所述反酸罐的顶端设有真空输出管口，所述真空输出管口外部连接真空吸盘，用于吸取硅片置入酸液中进行处理，以及所述反酸罐的侧端设有真空输入管口，所述真空输入管口连接真空发生器，用于产生负压吸附硅片。本实用新型专利技术的有益效果是实现真空发生管路的气液分离，防止酸液倒卷，有效保护真空发生组件；设置液位传感器，避免罐内液位过高，及时排出反酸罐内液体，防止反酸罐失去气液分离的作用。作用。作用。

【技术实现步骤摘要】
一种防止酸液倒吸的机构


[0001]本技术属于化学反应领域，尤其是涉及一种防止酸液倒吸的机构。

技术介绍

[0002]在现有的技术中，在硅片制备的工艺过程中，需要对硅片进行药液的填充，在药液填充过程现采用机械自动填充和制备的方式，无需人工操作；然而在机械填充的过程中，需要对填充的酸类药液进行排液处理，在排液流程中，会出现酸液倒吸的的情况，如果发生酸液倒吸现场，则会污染硅片，影响硅片的质量，甚至会造成硅片破裂，严重影响硅片的质量。
[0003]为了克服上述的问题，现在需要改进一种防止酸液倒吸的装置，主要目的在于防止酸液倒吸，防止硅片破裂，达到有效地气液分离的技术成果。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的问题是提供一种防止酸液倒吸的机构，尤其适合防止机构中的反应酸液倒吸。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0006]一种防止酸液倒吸的机构，包括：位于机构上端的反酸罐，以及设于所述反酸罐下端的储液罐，所述反酸罐用于防止酸液腐蚀硅片，并防止硅片破裂吸入发生管路，所述储液罐用于接收酸液；
[0007]其中，所述反酸罐的顶端设有真空输出管口，所述真空输出管口外部连接真空吸盘，用于吸取硅片置入酸液中进行处理，以及
[0008]所述反酸罐的侧端设有真空输入管口，所述真空输入管口连接真空发生器，用于产生负压吸附硅片。
[0009]进一步的，所述真空输出管口上端设有圆柱形吸附管，所述圆柱形吸附管用于连接硅片吸盘的管路，以及
[0010]所述真空输出管口的下端设有六棱柱形管口，所述六棱柱形管口的口径大于所述圆柱形吸附管的口径。
[0011]进一步的，所述真空输入管口为L型，L型的所述真空输入管口的短边开口与所述反酸罐的侧壁垂直连接，所述短边开口用于将所述反酸罐内的气体吸出形成负压，长边开口与侧壁平行，所述长边开口用于将负压传递至硅片吸盘。
[0012]进一步的，所述反酸罐上设有旁通管路，所述旁通管路与所述储液罐连通，用于显示所述储液罐内的液位高低。
[0013]进一步的，所述旁通管路的侧壁上设有液位检测装置，所述液位检测装置用于检测所述旁通管路内的液位高低，从而检测所述储液罐内的液位高低。
[0014]进一步的，所述储液罐的底端设有连通管，所述连通管用于将所述储液罐内的储液排出。
[0015]进一步的，所述连通管为三通管，所述三通管的上下端连通所述储液罐，用于将所
述储液罐内的酸液排出，另一端连通所述旁通管路，用于将所述旁通管路内的液体排出。
[0016]进一步的，所述反酸罐与所述储液罐的连接部设有法兰片，所述法兰片上开设安装孔，用于连接所述反酸罐的外部安装支架。
[0017]本技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，
[0018](1)实现真空发生管路的气液分离，防止酸液倒卷，有效保护真空发生组件。
[0019](2)设置液位传感器，避免罐内液位过高，及时排出反酸罐内液体，防止反酸罐失去气液分离的作用。
附图说明
[0020]图1是本技术一实施方案的一种防止酸液倒吸的机构示意图。
[0021]图2是本技术一实施方案的一种防止酸液倒吸的机构主视图。
[0022]图3是本技术一实施方案的一种防止酸液倒吸的机构侧视图。
[0023]图4是本技术一实施方案的一种防止酸液倒吸的机构俯视图。
[0024]图中：
[0025]1、反酸罐
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2、储液罐
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3、法兰片
[0026]4、真空输出管口
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5、真空输入管口
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6、旁通管路
[0027]7、液位检测装置
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8、连通管
具体实施方式
[0028]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]如图1
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4所示，出示了本技术实施例的结构，本技术实施例涉及一种防止酸液倒吸的机构，在结构上特点上，包括：位于该实施例机构上端的反酸罐1，以及设于反酸罐1下端的储液罐2，反酸罐1用于防止酸液倒吸，避免硅片被酸液腐蚀，储液罐2用于接收填充后的酸液，需要注意的是，酸液填充至硅片后,填充后的酸液，会由于重力的作用掉入储液罐2中；储液罐2与反酸罐1之间并非全部贯通，而是在二者的结合部开设公用的孔洞，有效的防止酸液快速掉落，控制了酸液滴入的流速，提高了酸液制备硅片的反应程度，使得反应过程更加充分，提高了硅片制备效率。
[0030]优选的，在储液罐2与反酸罐1之间的连接部的外端安装有法兰片3，法兰片3选用不锈钢材料，既能加强罐体的抗变形能力，又不易弯折。
[0031]根据本技术实施例的一种防止酸液倒吸的机构，反酸罐1的顶端安装有真空输出管口4，此处的真空输出管口4外部连接真空吸盘，真空吸盘的作用是吸取硅片吸入酸液中进行处理，实现硅片及酸液入罐的自动化。
[0032]进一步的优化方案，反酸罐1的侧端安装有与真空输出管口4相对应的真空输入管口5，真空输入管口5连接真空发生器，真空发生器的作用与真空吸盘的作用相结合，目的在于产生负压，吸取硅片。
[0033]优选的，真空输出管口4上端设有圆柱形吸附管，圆柱形吸附管用于套接注入酸液
的管路，以及真空输出管口4的下端设有六棱柱形管口，六棱柱形管口的口径大于圆柱形吸附管的口径；再者，真空输入管口5为L型，L 型的真空输入管口5的短边开口与反酸罐1的侧壁垂直连接，短边开口用于将反酸罐1内的气体排出形成负压，长边开口与侧壁平行，长边开口用于将罐内负压传递至硅片吸盘，同时，真空输出管口4的高度略高于真空输入管口5的高度，方便形成不同的气压差。
[0034]根据本技术实施例的一种防止酸液倒吸的机构，反酸罐1上还安装有旁通管路6，旁通管路6与储液罐2连通，用于显示储液罐2内的液位高低，可以理解的是，旁通管路6类似于U型管路，液位与罐内的酸液液位持平，一直观的方式显示罐内的液位。
[0035]优选的，旁通管路6的侧壁上设有液位检测装置7，液位检测装置7用于检测旁通管路6内的液位高低，从而检测储液罐2内的液位，此处，液位检测装置7为信号传感器，提前设定了不可越过的液位平面，当达到该设定平面后，该机构便会将储液罐2内的液体排出。
[0036]优选的，储液罐2的底端设有连通管8，连通管8用于将储液罐1内的储液排出。可以理解的是，连通管8为三通管，三通管的上下端连通储液罐2，用于将储液罐2内的酸液排出，另一端连通旁通管路7，用于将旁通管路7 内的液体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止酸液倒吸的机构，其特征在于，包括：位于机构上端的反酸罐，以及设于所述反酸罐下端的储液罐，所述反酸罐用于防止酸液腐蚀硅片，并防止硅片破裂吸入发生管路，所述储液罐用于接收酸液；其中，所述反酸罐的顶端设有真空输出管口，所述真空输出管口外部连接真空吸盘，用于吸取硅片置入酸液中进行处理，以及所述反酸罐的侧端设有真空输入管口，所述真空输入管口连接真空发生器，用于产生负压吸附硅片。2.根据权利要求1所述的一种防止酸液倒吸的机构，其特征在于，所述真空输出管口上端设有圆柱形吸附管，所述圆柱形吸附管用于连接硅片吸盘的管路，以及所述真空输出管口的下端设有六棱柱形管口，所述六棱柱形管口的口径大于所述圆柱形吸附管的口径。3.根据权利要求1所述的一种防止酸液倒吸的机构，其特征在于，所述真空输入管口为L型，L型的所述真空输入管口的短边开口与所述反酸罐的侧壁垂直连接，所述短边开口用于将所述反酸罐内的气体吸出形成负压，长边开口与侧壁平行，所述长边开口用于将负...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，丁天时，吕原杰，杨亮，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：