在包括第一以及第二截止阀(11、13)、槽(12)、压力传感器(14)以及控制器(15)的脉冲喷射式流量调整装置(1)，进行多次过程。控制器(15)在各过程中，重复使第一截止阀(11)和第二截止阀(13)交替进行开关动作的脉冲喷射，基于填充后压力(P1)和喷出后压力(P2)的压差(ΔP)而改变脉冲喷射的方式，调整体积流量(QA)(S503
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脉冲喷射式流量调整装置、调整方法、以及程序
[0001]本专利技术有关用于调整气体的体积流量的脉冲喷射式流量调整装置、脉冲喷射式流量调整方法、以及程序。
技术介绍
[0002]以往，在半导体制造装置等气体供给系统中，为了正确地控制气体的流量，例如，使用热式质量流量控制器。但是，近年来，100℃以上的高温气体成为控制对象。热式质量流量控制器在这样的高温气体的控制上有困难。
[0003]例如在专利文献1，公开了可控制高温气体的流量的脉冲喷射式流量调整装置。脉冲喷射式流量调整装置包括，连接气体源的第一截止阀、连接第一截止阀的第二截止阀、位于第一截止阀和第二截止阀之间的气体填充容器、测定气体填充容器的压力的压力传感器、以及控制器。
[0004]脉冲喷射式流量调整装置的控制器，如图9所示，重复在使第一截止阀进行开关动作之后，使第二截止阀进行开关动作的脉冲喷射。与此同时，控制器，使用压力传感器，基于在使第一截止阀进行开关动作之后的已填充气体的气体填充容器的压力(填充后压力)P1、以及在第二截止阀进行开关动作之后的已喷出气体的气体填充容器的压力(喷出后压力)P2的压力差D1，通过改变下一个脉冲喷射中的维持第一截止阀的开启操作而进行气体的填充的填充时间，改变脉冲喷射的方式，将气体的流量调整为目标流量。
[0005]现有专利文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特许第4197648号公报
技术实现思路
[0008]本专利技术所要解决的问题：
[0009]然而，在现有技术中存在问题。换句话说，现有的脉冲喷射式流量调整装置，例如，在重复脉冲喷射而重复供给气体的过程的情况下，气体的使用条件在每个过程相异。另一方面，现有的脉冲喷射式流量调整装置，使在各过程中的最初的脉冲喷射的方式为相同，如图10所示，根据脉冲喷射中的压力差D1而使脉冲喷射的方式缓慢地改变。因此，现有的脉冲喷射式流量调整装置，从过程开始至将气体的流量调整至目标流量为止的响应时间变长。
[0010]本专利技术用于解决上述问题，其目的在于提供一种能够改善响应性的技术，该技术用于通过重复脉冲喷射将气体流量控制为目标流量的脉冲射式流量调整装置。
[0011]用于解决问题的手段：
[0012]本专利技术的一种方式，具有如下结构。(1)其特征在于，在包括连接气体源的第一截止阀、连接所述第一截止阀的第二截止阀、位于所述第一截止阀与所述第二截止阀之间的气体填充容器、以及测量所述气体填充容器的压力的压力传感器的脉冲喷射式流量调整装置中，进行多次将气体控制至目标流量的过程。所述第一截止阀和所述第二截止阀和所述
压力传感器可通信地连接控制所述脉冲喷射式流量调整装置的动作的控制器。所述控制器，在各过程中执行：流量控制处理，基于在使所述第一截止阀进行开关的动作之后、重复使所述第二截止阀进行开关动作的脉冲喷射的同时、使所述第一截止阀进行开关动作、在填充气体至所述气体填充容器后、使用所述压力传感器测量出的填充后压力，以及在使所述第二截止阀进行开关动作、从所述气体填充容器喷出气体之后、使用所述压力传感器测量出的喷出后压力，通过一方面算出所述气体填充容器喷出的气体的体积流量，一方面变化重复进行所述脉冲喷射的方式，将所述气体流量调整至目标流量。此外，所述控制器：执行最佳填充时间存储处理，在所述流量控制处理中，当进行已将所述流量调整至目标流量的脉冲喷射时，使所述第一截止阀进行开关动作，将已填充所述气体到气体填充容器的填充时间作为最佳填充时间而存储；以及执行填充时间控制处理，在已执行所述最佳填充时间存储处理的过程的下一个进行的过程之前的所述流量控制处理中，在进行最初的脉冲喷射的情况下，使用已存储在所述最佳填充时间存储处理中的所述最佳填充时间而使所述第一截止阀进行开关动作。
[0013]具有上述结构的脉冲式流量调整装置，在执行过程的情况下的最初的脉冲喷射，使用在前一次的过程所存储的最佳填充时间而使第一截止阀进行开关动作。由此，在最初的脉冲喷射，将适合于将从第二截止阀13喷出的气体的体积流量调整为目标流量的气体填充至气体填充容器，从第二截止阀喷出的气体的体积流量被调整至目标流量，或者，被调整至近似目标流量的值的可能性变高。因此，根据具有上述结构的脉冲喷射式流量调整装置，从过程开始至使气体稳定成为目标流量为止的响应时间变短，可改善响应性。
[0014](2)在如(1)所记载的脉冲喷射式流量调整装置，优选地，在所述最佳填充时间存储处理中，将最后的脉冲喷射的所述填充时间作为所述最佳填充时间而存储。
[0015]具有上述结构的脉冲喷射式流量调整装置，通过将很有可能将体积流量调整至目标流量的最后的脉冲喷射中所测量的填充时间，作为最佳填充时间而存储，可减轻存储最佳填充时间时的处理负载与内存负载。
[0016](3)在如(1)或(2)中所记载的脉冲喷射式流量调整装置中，优选地，所述控制器执行气体置换处理，通过同时使所述第一截止阀和所述第二截止阀进行开启动作置换残留在所述气体填充容器中的气体。
[0017]具有上述结构的脉冲喷射式流量调整装置，在进行气体置换的情况下，通过使第一截止阀和第二截止阀同时地进行开启动作，从气体源被供给的气体流通至气体填充容器，容易与残存在气体填充容器中的气体置换。由此，比起第一截止阀与第二截止阀交互地开启关闭而进行气体置换的情况，可较快地置换气体。
[0018](4)在如(3)记载的脉冲喷射式流量调整装置中，优选地，所述控制器执行压力调整处理，在所述气体置换处理之后，以将所述气体填充容器的压力调整至在执行所述流量控制处理的情况下的所述气体填充容器的目标压力的方式，使正在开启动作的所述第一截止阀和所述截止阀进行关闭动作。
[0019]具有上述结构的脉冲喷射式流量调整装置，在使第一截止阀和第二截止阀同时进行开启动作、置换气体填充容器的气体之后，视使第一截止阀和第二截止阀进行关闭动作的时间点，而将气体填充容器的压力，调整至执行流量控制处理的情况的气体填充容器的目标压力。由此，在置换气体之后的过程中，因为从最初的脉冲喷射就将气体填充容器的压
力控制为目标压力，可抑制因气体填充容器的压力偏差的响应时间的延迟。
[0020](5)在如(1)至(4)中任一项所记载的脉冲喷射式流量调整装置中，优选地，所述控制器：执行学习处理，在进行所述第二截止阀的开关动作而使从所述气体填充容器喷出所述气体的喷出时间为一定的状态下，使所述第一截止阀进行开关动作而填充所述气体至所述气体填充容器之前的所述填充时间可变、重复进行脉冲喷射的同时，算出每个从所述第二截止阀被喷出的气体的体积流量的所述填充时间，学习所述填充时间与所述体积流量的关系；在所述流量控制处理中，执行修正处理，在所述目标流量从前一个的过程中使用的目标流量改变的情况下，或者是，在所述目标流量在所述流量控制处理的执行途中被改变的情况下，基于在所述学习处理中已学习的所述填充时间与所述体积流量的关系，根据目标流量与改变后的目标流量的差异来修正所述最佳填充本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种脉冲喷射式流量调整装置，其特征在于，包括：第一截止阀，连接气体源；第二截止阀，连接所述第一截止阀；气体填充容器，位于所述第一截止阀与所述第二截止阀之间；以及压力传感器，测量所述气体填充容器的压力；所述调整装置进行多次将气体控制至目标流量的过程；所述第一截止阀、所述第二截止阀以及所述压力传感器，可通信地连接控制所述脉冲喷射式流量调整装置的动作的控制器；所述控制器在各过程中执行：流量控制处理，基于在使所述第一截止阀进行开关动作之后、重复使所述第二截止阀进行开关动作的脉冲喷射的同时、使所述第一截止阀进行开关动作、在填充气体至所述气体填充容器后、使用所述压力传感器测量出的填充后压力，以及在使所述第二截止阀进行开关动作、从所述气体填充容器喷出气体之后、使用所述压力传感器测量出的喷出后压力，通过一方面算出所述气体填充容器喷出的气体的体积流量，一方面改变重复进行所述脉冲喷射的方式，将所述体积流量调整至目标流量；此外，所述控制器：执行最佳填充时间存储处理，在所述流量控制处理中，当进行已将所述流量调整至目标流量的脉冲喷射时，使所述第一截止阀进行开关动作，将已填充气体到所述气体填充容器中的填充时间作为最佳填充时间而存储；以及执行填充时间控制处理，在已执行所述最佳填充时间存储处理的过程的下一个进行的过程的所述流量控制处理中，在进行最初的脉冲喷射的情况下，使用已存储于所述佳填充时间存储处理中的所述最佳填充时间而使所述第一截止阀进行开关动作。2.根据权利要求1所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，在所述最佳填充时间存储处理中，将最后的脉冲喷射的所述填充时间作为所述最佳填充时间而存储。3.根据权利要求1或2所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，所述控制器执行气体置换处理，通过同时使所述第一截止阀和所述第二截止阀进行开启动作置换残留在所述气体填充容器中的气体。4.根据权利要求3所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，所述控制器执行压力调整处理，在所述气体置换处理之后，以将所述气体填充容器的压力调整至在执行所述流量控制处理的情况下的所述气体填充容器的目标压力的方式，使正在开启动作的所述第一截止阀与所述截止阀进行关闭动作。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，所述控制器：执行学习处理，在进行所述第二截止阀的开关动作而从所述气体填充容器喷出所述气体的喷出时间一定的状态下，使所述第一截止阀进行开关动作而填充所述气体至所述气体填充容器的所述填充时间为可变、重复进行脉冲喷射的同时，算出每个从所述第二截止阀被喷出的气体的体积流量的所述填充时间，学习所述填充时间与所述体积流量的关系；在所述流量控制处理中，执行修正处理，在所述目标流量从前一个的过程使用的目标流量被改变的情况下，或者在所述目标流量在所述流量控制处理的执行途中被改变的情况
下，基于在所述学习处理中已学习的所述填充时间与所述体积流量的关系，根据目标流量与改变后的目标流量之差修正所述最佳填充时间。6.根据权利要求3或4所述的脉冲喷射式流量调整装置，其特征在于，所述控制器：执行学习处理，在进行所述第二截止阀的开关动作而从所述气体填充容器喷出所述气体的喷出时间为一定的状态下，使所述第一截止阀进行开关动作而填充所述气体至所述气体填充容器的所述填充时间为可变、重复进行脉冲喷射的同时，算出每个从所述第二截止阀喷出的气体的体积流量的所述填充时间，学习所述填充时间与所述体积流量的关系；在所述流量控制处理过程中，执行修正处理，在所述目标流量从前一个...
【专利技术属性】
技术研发人员：角谷宏树，西村康典，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：
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