本申请提供一种多区侦测的控温装置，其是于控温装置的内侧连通至少二个通道，并于该些个信道的内侧设置信道温度传感器，该些个通道更连通制程设备的内侧，于该些个通道的出风口设置制程温度传感器，再利用控制装置电性连接入风口温度传感器、加热器、信道温度传感器以及制程温度传感器，控制装置依据入风口温度传感器、信道温度传感器以及制程温度传感器的信号对应控制加热器，以调整流动于多区侦测的控温装置的流体的温度。温装置的流体的温度。温装置的流体的温度。
【技术实现步骤摘要】
多区侦测的控温装置
[0001]本申请是关于一种多区侦测的控温装置，尤其是指一种用于对应控制不同区域的流体温度的装置。
技术介绍
[0002]随着时代的发展，工业生产的品管要求逐渐提高，使得无尘环境的使用也越来越普及，产业界常使用的无尘空间，以光电半导体等相关领域设置的无尘室较为常见。
[0003]但是在无尘空间的使用中，除了无尘环境所需的污染过滤系统外，还需要能控制无尘空间的湿度以及温度，无尘空间的温度与湿度主要是依据产线的工艺要求来制定，其需要特殊的设备、装置，以精密控制制程内的环境。
[0004]由上述可知，光电半导体等相关领域对于环境的控制相当严格，为取得更好的良率与制程稳定性，对温度、湿度、微尘粒子以及酸、碱、有机等物染物都需要严加控管，温度是基本的环境控制，由此可知在光电半导体领域中因为制程需求，使产线整体需要能精密的控制温度。
[0005]而现有精密温控的做法是于需要精密温度控制的制程加装独立的温控设备，而大多数的温控设备只有一个传感器作为控制点，无法完整回馈制程区域内各空间真实的温度情况。再者，现有温控设备中，仅利用一个温度传感器对应一个温度设定，经过流体输送的过程中，流体的温度容易变化，并使制程端产生局部温差，偏离原先所设定的温度，因此产业界急需一种可对应调整多个温度的控温装置。
[0006]有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种多区侦测的控温装置，其利用二信道的入风口、出风口以及信道内侧设置温度传感器，二信道的二端连通控温装置以及制程设备，再以控制装置依据温度传感器的信号对应控制设置于入风口的加热器，以调整流动于多区侦测的控温装置的流体的温度。
技术实现思路
[0007]本申请所要解决的技术问题在于提供一种多区侦测的控温装置，其是于控温装置以二个信道连通制程设备，二个通道的入风口、出风口以及信道内侧设置温度传感器，并以控制装置依据温度传感器的信号对应控制设置于入风口的加热器，以调整流动于多区侦测的控温装置的流体的温度，解决现有制程端产生局部温差，偏离原先所设定的温度的问题。
[0008]为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种多区侦测的控温装置，其包含：一控温装置、一输送组件、一制程设备以及一控制装置，该控温装置包含一第一箱体、一第一加热器以及一第二加热器，该输送组件包含一第一信道、一第二信道、一第一信道温度传感器以及一第二信道温度传感器，该第一通道的一端连通该第一箱体的一内侧，该第一通道的一第一入风口设置该第一加热器，该第二通道设置于该第一通道的一侧，该第二通道的一第二入风口设置该第二加热器，该第二通道的一端连通该第一箱体的该内侧，该第一信道温度传感器设置于该第一通道的一内侧，该第二信道温度传感器设置于该第二通道
的一内侧，该制程设备包含一第二箱体、多个第一制程温度传感器以及多个第二制程温度传感器，该第二箱体的一内侧连通该第一通道的另一端以及该第二通道的另一端，该些个第一制程温度传感器由该第一通道的一第一出风口延伸设置于该第二箱体的该内侧，该些个第二制程温度传感器由该第二通道的一第二出风口延伸设置于该第二箱体的该内侧，该控制装置电性连接该第一入风口温度传感器、该第一加热器、该第二入风口温度传感器、该第二加热器、该第一信道温度传感器、该第二信道温度传感器、该些个第一制程温度传感器以及该些个第二制程温度传感器，其中，一第一流体进入该第一通道以及一第二流体进入该第二信道，该控制装置依据该第一入风口温度传感器、该第二入风口温度传感器、该第一信道温度传感器、该第二信道温度传感器、该些个第一制程温度传感器以及该些个第二制程温度传感器的信号对应控制该第一加热器以及该第二加热器，以控制该第一流体以及该第二流体的温度；利用此结构使精密控制不同区域的温度，进一步减少温差。
[0009]本申请的一实施例中，其中该控温装置更包含一送风装置，该送风装置设置于该第一箱体的该内侧，该送风装置输送该第一流体以及该第二流体。
[0010]本申请的一实施例中，其中该制程设备更包含一第三加热器以及一第四加热器，该第三加热器设置于该第一通道，该些个第一制程温度传感器设置于该第三加热器的一侧，该第四加热器设置于该第二通道，该些个第二制程温度传感器设置于该第四加热器的一侧。
[0011]本申请的一实施例中，其中该第三加热器设置于该第一通道的一第一出风口，该第四加热器设置于该第二通道的一第二出风口。
[0012]本申请的一实施例中，其中该第三加热器以及该第四加热器对应设置于该第二箱体的一箱体开口。
[0013]本申请的一实施例中，其中该控温装置更包含一第一入风口温度传感器以及一第二入风口温度传感器，该第一入风口温度传感器设置于该第一加热器的一侧，该第二入风口温度传感器设置于该第二加热器的一侧，该第一通道的该第一入风口设置该第一入风口温度传感器，该第二通道的该第二入风口设置该第二入风口温度传感器，该控制装置依据该第一入风口温度传感器、该第二入风口温度传感器的信号对应控制该第一加热器以及该第二加热器，以控制该第一流体以及该第二流体的温度。
[0014]本申请的一实施例中，其中该第一入风口温度传感器产生一第一入风口温度信号至该控制装置，该第二入风口温度传感器产生一第二入风口温度信号至该控制装置。
[0015]本申请的一实施例中，其中该第一信道温度传感器产生一第一信道温度信号至该控制装置，该第二信道温度传感器产生一第二信道温度信号至该控制装置。
[0016]本申请的一实施例中，其中该些个第一制程温度传感器产生一第一制程端温度信号至该控制装置，该些个第二制程温度传感器产生一第二制程端温度信号至该控制装置。
[0017]本申请的一实施例中，其中该控制装置发出一第一控制信号至该第一加热器，该控制装置发出一第二控制信号至该第二加热器。
[0018]本申请的一实施例中，其中该控制装置发出一第三控制信号至该第三加热器，该控制装置发出一第四控制信号至该第四加热器。
[0019]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0021]图1是本申请的一实施例的结构示意图；
[0022]图2是本申请的一实施例的电性连接示意图；
[0023]图3是本申请的一实施例的流体路径示意图；
[0024]图4是本申请的一实施例的制程端加热器结构示意图；
[0025]图5是本申请的另一实施例的制程端加热器结构示意图；
[0026]图6是本申请的另一实施例的电性连接示意图；
[0027]图7是本申请的一实施例的入风口温度传感器示意图；
[0028]图8是本申请的一实施例的入风口温本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多区侦测的控温装置，其特征在于，包含：一控温装置，其包含一第一箱体、一第一加热器以及一第二加热器；一输送组件，其包含一第一信道、一第二信道、一第一信道温度传感器以及一第二信道温度传感器，该第一通道的一端连通该第一箱体的一内侧，该第一通道的一第一入风口设置该第一加热器，该第二通道设置于该第一通道的一侧，该第二通道的一第二入风口设置该第二加热器，该第二通道的一端连通该第一箱体的该内侧，该第一信道温度传感器设置于该第一通道的一内侧，该第二信道温度传感器设置于该第二通道的一内侧；一制程设备，其包含一第二箱体、多个第一制程温度传感器以及多个第二制程温度传感器，该第二箱体的一内侧连通该第一通道的另一端以及该第二通道的另一端，该些个第一制程温度传感器由该第一通道的一第一出风口延伸设置于该第二箱体的该内侧，该些个第二制程温度传感器由该第二通道的一第二出风口延伸设置于该第二箱体的该内侧；以及一控制装置，其电性连接该第一入风口温度传感器、该第一加热器、该第二入风口温度传感器、该第二加热器、该第一信道温度传感器、该第二信道温度传感器、该些个第一制程温度传感器以及该些个第二制程温度传感器；其中，一第一流体进入该第一通道以及一第二流体进入该第二信道，该控制装置依据该第一信道温度传感器、该第二信道温度传感器、该些个第一制程温度传感器以及该些个第二制程温度传感器的信号对应控制该第一加热器以及该第二加热器，以控制该第一流体以及该第二流体的温度。2.根据权利要求1所述的多区侦测的控温装置，其特征在于，该控温装置更包含一送风装置，该送风装置设置于该第一箱体的该内侧，该送风装置输送该第一流体以及该第二流体。3.根据权利要求1所述的多区侦测的控温装置，其特征在于，该制程设备更包含一第三加热器以及一第四加热器，该第三加热器设置于该第一通道，该些个第一制程温度传感器设置于该第三加热器的一侧，该第四加热器设置于该第二通道，该些...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建凯，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。