基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统、车削装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统，包括原子力显微镜组件、X向运动轴、Y向运动轴、Z向运动轴、底座；X向运动轴、Y向运动轴设置于底座上；Z向运动轴连接于X向运动轴；原子力显微镜组件连接于Z向运动轴；Z向运动轴用以连接车削机床的安装待加工零件用的主轴；Y向运动轴用以安装刀具夹具；当进行刀具磨损测量时，调节X向运动轴、Y向运动轴、Z向运动轴，以使得原子力显微镜组件的测量部位对准刀具夹具夹持的车削刀。本实用新型专利技术还提供一种车削装置。原子力显微镜组件集成在车削机床上，在车削机床上直接进行刀具磨损测量，无需拆卸车削刀，再次车削加工时无需重新对刀，提高工作效率，避免重新对刀带来的加工误差。避免重新对刀带来的加工误差。避免重新对刀带来的加工误差。

【技术实现步骤摘要】
基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统、车削装置


[0001]本技术涉及数控加工设备
，尤其涉及一种基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统、车削装置。

技术介绍

[0002]超精密加工是20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到80年代初，其最高加工尺寸精度已可达10纳米级，表面粗糙度达1纳米，加工的最小尺寸达1微米，正在向纳米级加工尺寸精度的目标前进，纳米级的超精密加工也称为纳米工艺。超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。超精密加工对工件材质、加工设备、刀具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力，保证高度的尺寸稳定性，防止加工后发生变形。加工设备要有极高的运动精度，导轨直线性和主轴回转精度要达到0.1微米级，微量进给和定位精度要达到0.01微米级。加工刀具必须非常尖锐，刀尖的直径早已达到了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统，其特征在于，包括原子力显微镜组件(40)、X向运动轴(21)、Y向运动轴(22)、Z向运动轴(23)、底座(10)；所述X向运动轴(21)、所述Y向运动轴(22)设置于底座(10)上；所述Z向运动轴(23)连接于所述X向运动轴(21)；所述原子力显微镜组件(40)连接于所述Z向运动轴(23)；所述Z向运动轴(23)用以连接车削机床(100)的安装待加工零件用的主轴(30)；所述Y向运动轴(22)用以安装刀具夹具(50)；当进行刀具磨损测量时，调节X向运动轴(21)、Y向运动轴(22)、Z向运动轴(23)，以使得所述原子力显微镜组件(40)的测量部位对准所述刀具夹具(50)夹持的车削刀(200)，以实现磨损测量。2.根据权利要求1所述的基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统，其特征在于，还包括旋转盘(60)，设置于Y向运动轴(22)上；所述刀具夹具(50)固定于所述旋转盘(60)。3.根据权利要求1所述的基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统，其特征在于，还包括固定柱(70)，设置于所述X向运动轴(21)上；所述Z向运动轴(23)固定于所述固定柱(70)。4.根据权利要求1所述的基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统，其特征在于，还包括第一固定架(80)，连接于所述Z向运动轴(23)；所述原子力显微镜组件(40)安装于所述第一固定架(80)。5.根据权利要求4所述的基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统，其特征在于，所述原子力显微镜组件包括测量部件(42)、显微观察部件(41)；所述测量部件(42)包括电动趋近结构(421)、测量头(422)、探针架(42...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩雄，钱锋，王矛宏，
申请(专利权)人：苏州飞时曼精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：