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本实用新型提供基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统,包括原子力显微镜组件、X向运动轴、Y向运动轴、Z向运动轴、底座;X向运动轴、Y向运动轴设置于底座上;Z向运动轴连接于X向运动轴;原子力显微镜组件连接于Z向运动轴;Z向运动轴用以连接车削机...该专利属于苏州飞时曼精密仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州飞时曼精密仪器有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供基于原子力显微镜的刀具磨损在线测量系统,包括原子力显微镜组件、X向运动轴、Y向运动轴、Z向运动轴、底座;X向运动轴、Y向运动轴设置于底座上;Z向运动轴连接于X向运动轴;原子力显微镜组件连接于Z向运动轴;Z向运动轴用以连接车削机...