【技术实现步骤摘要】
一种阵列式音圈电机装配工艺
[0001]本专利技术涉及阵列式音圈电机
，具体涉及一种阵列式音圈电机装配工艺。
技术介绍
[0002]因阵列式音圈电机定子是由许多片强磁永磁体组成，对装配方法要求很高，如果装配方法不当，可能会造成磁体发生不可逆退磁，使电机输出的磁性能会下降。由于阵列式音圈电机在光刻机应用中，对阵列式音圈电机的尺寸大小有严格的要求，而当前在阵列式音圈电机的装配过程中，经常发生装配的阵列式音圈电机的尺寸大小不符合光刻机的要求，究其原因，大都是因阵列式音圈电机装配方式不正确所产生的。不论是阵列式音圈电机的磁性能还是阵列式音圈电机的尺寸，其装配工艺能够直接对其造成不可逆的影响，基于此，有必要提出一种新的装配工艺，通过该装配工艺不仅能够防止磁体发生不可逆退磁，而且还能够保证阵列式音圈电机的尺寸符合光刻机的要求。
技术实现思路
[0003]针对阵列式音圈电机装配过程中磁体产生不可逆退磁及装配后的整体尺寸发生变化的问题，本申请提供一种阵列式音圈电机装配工艺，旨在解决阵列式音圈电机发生不可逆退磁及整体尺寸
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阵列式音圈电机装配工艺，其特征在于，所述阵列式音圈电机包括磁体组件、线圈组件和导轨组件；所述磁体组件包括磁轭、顶部固定板、底部固定板、边缘永磁体和若干中间永磁体；所述导轨组件包括固定基架、若干个导轨、导轨支架；所述阵列式音圈电机装配工艺包括步骤：装配磁体组件形成阵列式音圈电机的定子组件：根据阵列式音圈电机的宽度尺寸约束关系装配所述磁轭、底部固定板和顶部固定板，并按照预设磁体安装方式装配所述边缘永磁体和中间永磁体，使装配后的磁体组件满足宽度尺寸约束关系，且装配过程中防止磁体发生不可逆退磁；装配线圈组件形成阵列式音圈电机的动子组件；装配导轨组件：根据阵列式音圈电机的高度尺寸约束关系将导轨装配于导轨支架上，及将装配导轨后的导轨支架装配于固定基架上，装配后的各个导轨支架的顶部相对于固定基架处于同一水平高度；将动子组件安装至导轨组件上，及将已安装动子组件的导轨组件放入定子组件内，完成阵列式音圈电机的装配。2.如权利要求1所述的阵列式音圈电机装配工艺，其特征在于，所述根据阵列式音圈电机的宽度尺寸约束关系装配所述磁轭、底部固定板和顶部固定板，具体包括步骤：将所述底部固定板固定于两磁轭底部之间，且两磁轭底部之间的距离满足所述宽度尺寸约束关系；将所述顶部固定板定位于两磁轭顶部之间，所述顶部固定板与两磁轭顶部之间设置塞片，使两磁轭顶部之间的距离大于两磁轭底部之间的距离，以增加中间永磁体装配过程中使两磁轭顶部发生位置偏移的空间余量。3.如权利要求2所述的阵列式音圈电机装配工艺，其特征在于，所述顶部固定板和底部固定板分别开设有两端开口的磁体限位槽，及所述顶部固定板...
【专利技术属性】
技术研发人员：张学成，程伟林，王振，任冰强，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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