一种扩散炉门定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种扩散炉门定位装置，包括：支撑座，在所述支撑座的一侧通过第一连接件连接一可支撑炉门并与所述支撑座活动连接的炉门支撑架；控制气缸组件，设置在所述支撑座上远离所述炉门支撑架的一端，并通过第二连接件与所述炉门支撑架连接，用于移动所述炉门支撑架。本实用新型专利技术的有益效果是使用炉门旋转气缸带动气缸伸缩杆，进而带动气缸伸缩加长杆，最终带动炉门支撑架进行左右移动，并且在气缸伸缩加长杆上标注有刻度，能够实时监测伸缩杆的移动距离，进而判定炉门的移动位置。进而判定炉门的移动位置。进而判定炉门的移动位置。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉门定位装置


[0001]本技术属于太阳能电池制造机械
，尤其是涉及一种扩散炉门定位装置。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，在太阳能电池的制造过程中，需要将硅片放置于高温扩散炉中，在高温下扩散并在硅片表面形成PN结。
[0003]其中在使用扩散炉的过程中，需要调节扩散炉门的位置或更换扩散炉门，在现有技术中，只能通过人工来进行换门或调节炉门的位置，不仅浪费人力，还可能会造成炉门和石英炉管的撞击，导致炉门或者炉管损坏，增加生产成本，并且炉内温度较高，对工作人员存在烫伤隐患。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的问题是提供一种扩散炉门定位装置，有效的解决在现有技术中，只能通过人工来进行换门或调节炉门的位置，不仅浪费人力，还可能会造成炉门和石英炉管的撞击，导致炉门或者炉管损坏，增加生产成本，并且炉内温度较高，对工作人员存在烫伤隐患的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种扩散炉门定位装置，其特征在于，包括：
[0006]支撑座，在所述支撑座的一侧通过第一连接件连接一可支撑炉门并与所述支撑座活动连接的炉门支撑架；
[0007]控制气缸组件，设置在所述支撑座上远离所述炉门支撑架的一端，并通过第二连接件与所述炉门支撑架连接，用于移动所述炉门支撑架。
[0008]较佳的，所述支撑座包括底座以及设置在所述底座上的承载台；所述底座支撑所述承载台，所述控制气缸组件贯穿所述承载台，并能够相对所述承载台伸缩移动。
[0009]较佳的，在所述承载台上还设有一用于进入润滑油的通道并在所述通道的顶部安装一进油口，用以润滑所述控制气缸组件。
[0010]较佳的，所述底座靠近所述炉门支撑架的一端安装所述第一连接件，并通过所述第一连接件连接所述炉门支撑架。
[0011]较佳的，所述控制气缸组件包括炉门旋转气缸、气缸伸缩杆以及气缸伸缩加长杆，所述炉门旋转气缸的一端连接所述气缸伸缩杆，所述气缸伸缩杆的另一端连接所述气缸伸缩加长杆，所述气缸伸缩加长杆的另一端连接所述第二连接件，并通过所述第二连接件连接所述炉门支撑架。
[0012]较佳的，所述炉门旋转气缸带动所述气缸伸缩杆移动，所述气缸伸缩杆带动所述
气缸伸缩加长杆移动，进而带动所述炉门支撑架移动，调整所述炉门的位置。
[0013]较佳的，在所述气缸伸缩加长杆上标注有刻度。
[0014]采用上述技术方案，使用机械替代人工来进行调节或者更换炉门的工作，能够节省人力，同时解除对工作人员的安全隐患，还能够减少人为影响因素，使得炉门更精确的进行位置调整。
[0015]采用上述技术方案，使用炉门旋转气缸带动气缸伸缩杆，进而带动气缸伸缩加长杆，最终带动炉门支撑架进行左右移动，并且在气缸伸缩加长杆上标注有刻度，能够实时监测伸缩杆的移动距离，进而判定炉门的移动位置。
附图说明
[0016]图1是本技术实施例一种扩散炉门定位装置结构示意图
[0017]图中：
[0018]1、底座
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2、承载台
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3、炉门旋转气缸
[0019]4、气缸伸缩杆
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5、气缸伸缩加长杆
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6、第一连接件
[0020]7、第二连接件
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8、炉门支撑架
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9、进油口
具体实施方式
[0021]下面结合实施例和附图对本技术作进一步说明：
[0022]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]如图1一种扩散炉门定位装置结构示意图所示，一种扩散炉门定位装置，包括：
[0024]支撑座，在支撑座的一侧通过第一连接件6连接一可支撑炉门并与支撑座活动连接的炉门支撑架8；支撑座包括底座1和承载台2，炉门支撑架8整体呈“厂”字型，底部的一端与底座1靠近炉门支撑架8的一端通过第一连接件6连接，第一连接件6能够随炉门支撑架8旋转，第一连接件6为炉门支撑架8的旋转支撑点，只旋转，不位移，即炉门支撑架8的底端只相对底座1的一端旋转，不进行位移；
[0025]控制气缸组件，设置在支撑座上远离炉门支撑架8的一端，并通过第二连接件7与炉门支撑架8连接，用于移动炉门支撑架8。
[0026]具体的，支撑座包括底座1以及设置在底座1上的承载台2；底座1的形状可为矩形、圆形等其他形状，其大小能够承载其他部件即可；承载台2的形状可为矩形、圆柱形等其它形状，其高度高于气缸伸缩加长杆5所处的高度，并且在与气缸伸缩加长杆5平行的位置开设有一通孔(未画出)，供气缸伸缩加长杆5穿过，通孔大小与气缸伸缩加长杆5的横截面积一致或略大于气缸伸缩加长杆5的横截面积，使得气缸伸缩加长杆5能够前后伸缩移动即
可，气缸伸缩加长杆5通过通孔贯穿承载台2，并能够相对承载台2伸缩移动。
[0027]一些可行的实施例中，在承载台2上还设有一用于进入润滑油的通道，通道的一端与外界接触，另一端贯通至通孔处，并能够将润滑油运送至通孔中，在通道与外界接触的一侧，即通道的顶部安装一进油口9，润滑油通过进油口进入通道中，再通过通道运送至通孔中，用以润滑气缸伸缩加长杆5与通孔之间的接触位置，保证气缸伸缩加长杆5能够正常进行前后移动。
[0028]控制气缸组件包括炉门旋转气缸3、气缸伸缩杆4以及气缸伸缩加长杆5，炉门旋转气缸3的一端连接气缸伸缩杆4，气缸伸缩杆4的另一端连接气缸伸缩加长杆5，气缸伸缩加长杆5的另一端连接第二连接件7，并通过第二连接件7连接炉门支撑架8，具体的，
[0029]气缸伸缩加长杆5穿过承载台2上的通道，承载台2为控制气缸组件的支撑点，用于支撑气缸伸缩杆4和气缸伸缩加长杆5，防止由于气缸伸缩加长杆5过长而容易造成断裂或形变的问题出现，给予一定的支撑；
[0030]炉门旋转气缸3带动气缸伸缩杆4移动，气缸伸缩杆4带动气缸伸缩加长杆5移动，气缸伸缩加长杆5与第二连接件7连接，进而带动炉门支撑架移动，调整炉门的位置。第二连接件7安装在炉门支撑架8上，并能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉门定位装置，其特征在于，包括：支撑座，在所述支撑座的一侧通过第一连接件连接一可支撑炉门并与所述支撑座活动连接的炉门支撑架；控制气缸组件，设置在所述支撑座上远离所述炉门支撑架的一端，并通过第二连接件与所述炉门支撑架连接，用于移动所述炉门支撑架。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉门定位装置，其特征在于：所述支撑座包括底座以及设置在所述底座上的承载台；所述底座支撑所述承载台，所述控制气缸组件贯穿所述承载台，并能够相对所述承载台伸缩移动。3.根据权利要求2所述的一种扩散炉门定位装置，其特征在于：在所述承载台上还设有一用于进入润滑油的通道并在所述通道的顶部安装一进油口，用以润滑所述控制气缸组件。4.根据权利要求2或3所述的一种扩散炉门定位装置，其特征在于：所述底座...

【专利技术属性】
技术研发人员：任亚寅，仇慧生，马擎天，
申请(专利权)人：环晟光伏江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：