【技术实现步骤摘要】
一种氮化硅悬浮液制备方法
[0001]本专利技术涉及氮化硅悬浮液
,具体是指一种氮化硅悬浮液制备方法。
技术介绍
[0002]石英陶瓷坩埚是太阳能多晶硅铸锭过程中用来装载多晶硅原料并在1550℃的高温下使之 熔化结晶并生产出多晶硅锭的容器,生产多晶硅锭时,在硅料熔化和长晶过程中,硅溶体和 坩埚长时间接触会产生黏滞性。由于两种材料的热膨胀系数不同,在冷却时造成硅锭或坩埚 破裂,而坩埚和溶体长时间接触还会造成石英坩埚的腐蚀,使多晶硅中的氧浓度升高。为解 决这些问题,工艺上一般采用氮化硅作为涂层附在坩埚内壁,隔离硅溶体和坩埚的直接接触。 为保证太阳能硅锭的制备,对氮化硅涂层提出纯度,厚度、黏结性均匀和致密的要求。
[0003]浆料的制备是氮化硅涂层制备过程中非常重要的一个环节,均匀、分散性能良好的氮化 硅浆料有助于获得均匀致密度较高的氮化硅涂层。
[0004]在专利CN107185790A,CN107876362A中提到,制备石英陶瓷坩埚涂层氮化硅浆料的 制备方法为,氮化硅、纯水、硅溶胶等混合后进行搅拌,强力 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮化硅悬浮液制备方法,其特征在于,包括如下操作步骤:步骤一:将氮化硅粉在空气或氧气气氛下进行煅烧处理,包括如下三个阶段:阶段一、温度范围在600摄氏度以下时,升温速度为15
‑
30摄氏度/分钟,升温至600摄氏度时,保温1
‑
3小时;阶段二、温度范围在600
‑
800摄氏度时,升温速度为5
‑
15摄氏度/分钟;阶段三、温度范围在800摄氏度至煅烧温度时,升温速度为0.1
‑
5摄氏度/分钟,到达煅烧温度后,继续保温1
‑
8小时;步骤二:将煅烧后的氮化硅、纯水、水基硅溶胶、醇基硅溶胶和粘结剂,加入到球磨机中进行球磨15
‑
30分钟后,即得到PH值8
‑
9之间的氮化硅悬浮液;步骤三:球磨后的氮化硅悬浮液转移至搅拌装置中,根据喷涂或涂刷需要进行...
【专利技术属性】
技术研发人员:王海果,苏成,裴迎,邓亮亮,
申请(专利权)人:徐州协鑫太阳能材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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